문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 반응가스 공급부 및 상기 전하빔 조사장치가 상기 반응챔버의 상부에 위치하여, 상기 반응가스가상기기판쪽공급되는것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
제1항에 있어서,상기 반응가스 공급부 및 상기 전하빔 조사장치가 상기 반응챔버의 상부에 위치하여, 상기 반응가스가상기기판쪽공급되는것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
[청구항3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 광원부가레이저광원부또는할로겐등의램프 광원부인것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 광원부가레이저광원부또는할로겐등의램프 광원부인것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
[청구항4]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 전하빔 조사장치가이온빔조사장치전자빔 조사장치인것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 전하빔 조사장치가이온빔조사장치전자빔 조사장치인것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
[청구항5]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 빔조사부를 거쳐 상기 반응챔버로 들어가는 이온화된 분해입자들이 상기 기판으로 끌려가도록 상기 기판에 전기장 인가장치연결되는것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 빔조사부를 거쳐 상기 반응챔버로 들어가는 이온화된 분해입자들이 상기 기판으로 끌려가도록 상기 기판에 전기장 인가장치연결되는것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 전기장 인가장치가 상기 기판의 상부에 이격되게 설치한 전극과 이에 연결된전원포함하여이루어지는것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
제5항에 있어서,상기 전기장 인가장치가 상기 기판의 상부에 이격되게 설치한 전극과 이에 연결된전원포함하여이루어지는것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 기판의 상부에 이격되게 설치한 전극이그물망형태인것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
제6항에 있어서,상기 기판의 상부에 이격되게 설치한 전극이그물망형태인것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
[청구항8]
제1항에 있어서,상기 빔조사부가 상기 반응챔버 내에 위치하도록상기전하빔조사장치설치된것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
[청구항9]
제8항에 있어서,상기 전하빔 조사장치가 상기 기판 전면을 스캔하면서 증착할 수있는것을특징으로 하는광 유도 화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
이온화된 분해입자들이 기판으로 끌려가도록 하는 전기장 인가장치는 어떠한 구성요소로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation이온화된 분해입자의 이동을 유도하는 전기장 인가장치의 구성요소를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5항에서 이온화된 분해입자가 기판으로 끌려가도록 기판에 전기장 인가장치가 연결됨을 확인한다.
- 이온화된 분해입자들이 상기 기판으로 끌려가도록 상기 기판에 전기장 인가장치연결되는것
-
3근거 선택
evidence_selection전기장 인가장치의 세부 구성을 명시한 청구항 6항의 내용을 선택한다.
- 상기 전기장 인가장치가 상기 기판의 상부에 이격되게 설치한 전극과 이에 연결된전원포함하여이루어지는것
-
4논리 통합
logical_integration전기장 인가장치는 전극과 전원을 포함하여 구성된다는 논리를 도출한다.
- 전극과 이에 연결된전원포함하여이루어지는것
-
5결론 도출
conclusion_formulation전기장 인가장치는 기판 상부에 이격 설치된 전극과 이에 연결된 전원으로 구성된다는 결론을 내린다.
- 상기 전기장 인가장치가 상기 기판의 상부에 이격되게 설치한 전극과 이에 연결된전원포함하여이루어지는것
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 상기 전기장 인가장치가 상기 기판의 상부에 이격되게 설치한 전극과 이에 연결된전원포함하여이루어지는것
근거 (evidence)
- 이온화된 분해입자들이 상기 기판으로 끌려가도록 상기 기판에 전기장 인가장치연결되는것
- 상기 전기장 인가장치가 상기 기판의 상부에 이격되게 설치한 전극과 이에 연결된전원포함하여이루어지는것
- 전극과 이에 연결된전원포함하여이루어지는것
최종 답변 (final_answer)
이온화된 분해입자들이 기판으로 끌려가도록 하는 전기장 인가장치는 상기 기판의 상부에 이격되게 설치된 전극과 이에 연결된 전원을 포함하여 이루어진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
전기장 인가장치는 기판 상부에 이격 설치된 전극과 전원의 결합으로 구성되어 입자의 이동을 제어한다.