문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 상부 전극의 오목 가공nan은인것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
[청구항4]
제 3 항에 있어서,상기 볼트는크로스배열체결인것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
[청구항5]
제 3 항에 있어서,상기 볼트는 체결 부위가 15~17개부위인것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
[청구항6]
제 3 항에 있어서,상기 볼트는알루미늄으로이루어진것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
[청구항8]
제 7 항에 있어서,상기 상부 전극의 오목 가공nan은인것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
제 7 항에 있어서,상기 상부 전극의 하부면의 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게가공된것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
[청구항9]
제 7 항에 있어서,상기 볼트는크로스배열체결인것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
[청구항10]
제 7 항에 있어서,상기 볼트는 체결 부위가 15~17개부위인것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
제 7 항에 있어서,상기 볼트는 체결 부위가 15~17개부위인것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
[청구항11]
제 7 항에 있어서,상기 볼트는알루미늄으로이루어진것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
제 7 항에 있어서,상기 볼트는알루미늄으로이루어진것을특징으로 하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
상부 전극의 하부면 센터는 어떠한 방식으로 가공되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation상부 전극 하부면 센터의 가공 방식과 수치를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 상부 전극의 하부면 센터에 관한 기술 내용을 추출한다.
- 상기 상부 전극의 하부면의 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게가공된것
-
3근거 선택
evidence_selection가공 방식과 수치를 포함한 문구를 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 상부 전극의 하부면의 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게가공된것
-
4논리 통합
logical_integration상부 전극 하부면 센터가 2.5mm에서 4.5mm 범위로 오목하게 가공되었다는 사실을 결합한다.
- 상기 상부 전극의 하부면의 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게가공된것
-
5결론 도출
conclusion_formulation상부 전극의 하부면 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게 가공되어 있다는 결론을 도출한다.
- 상기 상부 전극의 하부면의 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게가공된것
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 상부 전극의 하부면의 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게가공된것
근거 (evidence)
- 상기 상부 전극의 하부면의 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게가공된것
최종 답변 (final_answer)
상부 전극의 하부면의 센터는 2.5mm ~ 4.5mm 오목하게 가공되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
상부 전극의 하부면 센터에 대한 구체적인 오목 가공 수치(2.5mm ~ 4.5mm)를 명시하고 있다.