문맥 (context)
[청구항8]
제7항에 있어서,상기 가스분사부는 2 종의 제1 소스가스가 분사되는 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역으로 분할 형성되고,상기 어닐부는 상기 공전하는 각 기판에 대해 동일한 시간 동안 플라즈마를 제공할 수 있도록 상기 가스분사부의 일부 면적구비된원자층 증착장치.
제7항에 있어서,상기 가스분사부는 서로 다른 2 종의 소스가스가 분사되는 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역으로 분할 형성되고,상기 어닐부는 상기 공전하는 각 기판에 대해 동일한 시간 동안 플라즈마를 제공할 수 있도록 상기 가스분사부의 일부 면적구비된원자층 증착장치.
[청구항9]
제8항에 있어서,닐부는 상기 기판의 이동 방향을 따라 상기 제2 소스영역과 상기 제1 소스영역 사이의 일 영역구비된원자층 증착장치.
제8항에 있어서,닐부는 상기 기판의 이동 방향을 따라 상기 제2 소스영역과 상기 제1 소스영역 사이의 일 영역구비된원자층 증착장치.
[청구항10]
제8항에 있어서,닐부는 상기 기판의 이동 방향을 따라 상기 제1 소스영역과 상기 제2 소스영역 사이의 일 영역 및 상기 제2 소스영역과 상기 제1 소스영역 사이의 일 영역에 2개의 영역구비된원자층 증착장치.
제8항에 있어서,닐부는 상기 기판의 이동 방향을 따라 상기 제1 소스영역과 상기 제2 소스영역 사이의 일 영역 및 상기 제2 소스영역과 상기 제1 소스영역 사이의 일 영역에 2개의 영역구비된원자층 증착장치.
[청구항11]
제7항에 있어서,닐부는 상기 서셉터에 안착된 기판 전체에 대해 동시에 동일하게플라즈마제공할수구비된원자층 증착장치.
제7항에 있어서,닐부는 상기 서셉터에 안착된 기판 전체에 대해 동시에 동일하게플라즈마제공할수구비된원자층 증착장치.
[청구항12]
제7항에 있어서,상기 어닐링 단계는 아르곤(ar), 헬륨(he)을 포함하는 불활성 기체, 산소(o2), 질소(n2), 수소(h2) 중 선택된 적어도 어느 하나의 가스사용하는원자층 증착장치.
제7항에 있어서,상기 어닐링 단계는 아르곤(ar), 헬륨(he)을 포함하는 불활성 기체, 산소(o2), 질소(n2), 수소(h2) 중 선택된 적어도 어느 하나의 가스사용하는원자층 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가스분사부는 어떠한 영역들로 분할 형성되며, 퍼지가스는 어느 위치에서 분사되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation가스분사부의 구성 영역과 퍼지가스의 분사 위치를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 8항에서 가스분사부의 구성과 퍼지가스 분사 위치에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 가스분사부는 2 종의 제1 소스가스가 분사되는 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역으로 분할 형성되고
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3근거 선택
evidence_selection가스분사부의 분할 영역(제1 소스영역, 제2 소스영역, 2개의 퍼지영역)과 퍼지가스 분사 위치(제1 소스영역과 제2 소스영역 사이)를 근거로 선택한다.
- 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역으로 분할 형성
-
4논리 통합
logical_integration가스분사부는 소스영역과 퍼지영역으로 나뉘어 있으며, 퍼지영역은 두 소스영역 사이에 위치함을 결합한다.
- 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역
-
5결론 도출
conclusion_formulation가스분사부는 제1 소스영역, 제2 소스영역, 그리고 그 사이에 위치한 2개의 퍼지영역으로 구성되며, 퍼지가스는 이 2개의 퍼지영역에서 분사된다는 결론을 도출한다.
- 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역으로 분할 형성
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 가스분사부는 2 종의 제1 소스가스가 분사되는 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역으로 분할 형성되고
- 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역으로 분할 형성
- 제1 소스영역과 제2 소스영역, 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비되어 퍼지가스가 분사되는 2개의 퍼지영역
최종 답변 (final_answer)
가스분사부는 제1 소스영역, 제2 소스영역, 그리고 상기 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 구비된 2개의 퍼지영역으로 분할 형성된다. 퍼지가스는 제1 소스영역과 제2 소스영역 사이에 위치한 2개의 퍼지영역에서 분사된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스분사부는 소스가스가 분사되는 두 영역과 그 사이에 배치되어 퍼지가스를 분사하는 두 개의 퍼지영역으로 구성된다.