문맥 (context)
[청구항 1]
진공챔버;
진공챔버 상부에 배치되어 상하로 이동하며, 유리기판을 지지하고 정렬된 섀도우마스크를 유리기판상에 밀착시키기 위한 영구자석을 구비하는 섀도우마스크 홀더유닛,
섀도우마스크를 탑재하기 위하여 섀도우마스크 홀더유닛 하부에 배치되고, 상부에 있는 섀도우마스크와 탑재된 유리기판을 정렬하기 위하여 외부에 연결된 제어부에 의하여 제어되는 3축 위치이동수단과, 1 이상의 영구자석 및 전자석을 포함하는 섀도우마스크 안착테이블
상기 유리기판과 섀도우마스크의 정렬상태를 확인하기 위한 광학 정렬확인수단
진공챔버 내에서 상기 섀도우마스크 안착테이블을 좌우로 이동시키기 위한 선형가이드수단
진공챔버 외부에 배치되어 상기 3축 위치이동수단, 선형가이드수단, 및 전자석에 인가되는 전류의 극성과 크기를 제어하기 위한 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제작용 증착장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 섀도우마스크 홀더유닛은, 영구자석을 포함하는 자석블록과, 자석블록 상부에 고정되어 자석블록을 챔버내에서 상하 이동시키는 지지봉과, 상기 자석블록에 대하여 상하로 탄성이동할 수 있는 기판홀더로 이루어지며, 상기 기판홀더는 자석블록의 네 모퉁이에 형성된 관통홈 내에 삽입되는 4개의 탄성스프링과, 탄성스프링 내부에 삽입되어 자석블록에 대하여 탄성적으로 상하 이동하는 4개의 상하이동봉과, 두 개의 상하이동봉에 결합되어 있고 유리기판의 가장자리를 걸기 위한 걸림턱을 가지는 2개의 기판지지바이루어지는것을특징으로 하는유기전계발광소자 제작용 증착장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 자석블록은 저면측에 소정 간격마다 자석안착홈이 형성된 상판과, 상기 상판에 대응하여 소정 간격을 두고 이격된 하판과, 상기 상판 및 하판 사이에 수직방향으로 개재되는 다수의 영구자석과, 상기 상판과 하판 사이에 설치되어 이들의 가장자리를 지지해주는이격프레임으로이루어진것을특징으로 하는유기전계발광소자 제작용 증착장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 섀도우마스크 안착테이블은 하나 이상의 전자석·영구자석 어셈블리를 구비하고 3축 위치이동수단에 의하여 이동하는 전자석블록과, 섀도우마스크를 안착하기 위한 마스크 안착판으로 이루어지며, 상기 각각의 전자석·영구자석 어셈블리는 전자석코어와, 전자석코어 하부에 배치되는 영구자석과, 전자석코어 및 영구자석을 둘러싸는 롤과, 롤 주위에 권취되어 있는코일로이루어지는것을특징으로 하는유기전계발광소자 제작용 증착장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 선형가이드 수단은 안착테이블이 안착되는 선형레일, 및 상기 제어부의 제어에 따라 선형레일을 따라 안착테이블을 좌우로 이동시키기 위한구동수단으로이루어진것을특징으로 하는유기전계발광소자 제작용 증착장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 섀도우마스크 홀더유닛은, 중공블록과, 상기 중공블록 내부에 배치되고 영구자석을 포함하는 자석블록과, 중공블록 상부에 고정되어 중공블록을 챔버내에서 상하 이동시키는 제 1 지지봉과, 상기 제 1 지지봉에 삽입되고 일단이 자석블록 상부에 고정되어 자석블록을 중공블록 내부에서 상하로 이동시키기 위한 제 2 지지봉과, 상기 중공블록에 대하여 상하로 탄성이동할 수 있는 기판홀더로 이루어지며, 상기 기판홀더는 중공블록의 네 모퉁이에 형성된 관통홈 내에 삽입되는 4개의 탄성스프링과, 탄성스프링 내부에 삽입되어 자석블록에 대하여 탄성적으로 상하 이동하는 4개의 상하이동봉과, 두 개의 상하이동봉에 결합되어 있고 유리기판의 가장자리를 걸기 위한 걸림턱을 가지는 2개의 기판지지바이루어지는것을특징으로 하는유기전계발광소자 제작용 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
유기전계발광소자 제작용 증착장치에서 섀도우마스크 홀더유닛의 기판홀더가 자석블록에 대하여 탄성적으로 상하 이동하기 위해 구성되는 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation섀도우마스크 홀더유닛의 기판홀더가 자석블록에 대해 탄성적으로 상하 이동하기 위해 구성되는 구성 요소들을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 기판홀더의 세부 구성과 탄성 이동을 가능하게 하는 요소들을 확인한다.
- 상기 섀도우마스크 홀더유닛은, 영구자석을 포함하는 자석블록과, 자석블록 상부에 고정되어 자석블록을 챔버내에서 상하 이동시키는 지지봉과, 상기 자석블록에 대하여 상하로 탄성이동할 수 있는 기판홀더로 이루어지며, 상기 기판홀더는 자석블록의 네 모퉁이에 형성된 관통홈 내에 삽입되는 4개의 탄성스프링과, 탄성스프링 내부에 삽입되어 자석블록에 대하여 탄성적으로 상하 이동하는 4개의 상하이동봉과, 두 개의 상하이동봉에 결합되어 있고 유리기판의 가장자리를 걸기 위한 걸림턱을 가지는 2개의 기판지지바이루어지는것을특징으로 하는유기전계발광소자 제작용 증착장치
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3근거 선택
evidence_selection기판홀더를 구성하며 탄성 이동과 관련된 4개의 탄성스프링, 4개의 상하이동봉, 2개의 기판지지바를 선택한다.
- 상기 기판홀더는 자석블록의 네 모퉁이에 형성된 관통홈 내에 삽입되는 4개의 탄성스프링과, 탄성스프링 내부에 삽입되어 자석블록에 대하여 탄성적으로 상하 이동하는 4개의 상하이동봉과, 두 개의 상하이동봉에 결합되어 있고 유리기판의 가장자리를 걸기 위한 걸림턱을 가지는 2개의 기판지지바이루어지는것을특징
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4논리 통합
logical_integration기판홀더는 탄성스프링, 상하이동봉, 기판지지바로 구성되며, 이들이 결합되어 자석블록에 대해 탄성적인 상하 이동을 수행함을 파악한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 구성 요소들을 리스트 형식으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 섀도우마스크 홀더유닛은, 영구자석을 포함하는 자석블록과, 자석블록 상부에 고정되어 자석블록을 챔버내에서 상하 이동시키는 지지봉과, 상기 자석블록에 대하여 상하로 탄성이동할 수 있는 기판홀더로 이루어지며, 상기 기판홀더는 자석블록의 네 모퉁이에 형성된 관통홈 내에 삽입되는 4개의 탄성스프링과, 탄성스프링 내부에 삽입되어 자석블록에 대하여 탄성적으로 상하 이동하는 4개의 상하이동봉과, 두 개의 상하이동봉에 결합되어 있고 유리기판의 가장자리를 걸기 위한 걸림턱을 가지는 2개의 기판지지바이루어지는것을특징으로 하는유기전계발광소자 제작용 증착장치
- 상기 기판홀더는 자석블록의 네 모퉁이에 형성된 관통홈 내에 삽입되는 4개의 탄성스프링과, 탄성스프링 내부에 삽입되어 자석블록에 대하여 탄성적으로 상하 이동하는 4개의 상하이동봉과, 두 개의 상하이동봉에 결합되어 있고 유리기판의 가장자리를 걸기 위한 걸림턱을 가지는 2개의 기판지지바이루어지는것을특징
최종 답변 (final_answer)
4개의 탄성스프링, 4개의 상하이동봉, 2개의 기판지지바
핵심 해석 (core_interpretation)
기판홀더가 탄성스프링, 상하이동봉, 기판지지바의 결합을 통해 자석블록에 대하여 탄성적으로 상하 이동할 수 있도록 설계된 구조를 나타낸다.