반도체 제조설비의 개스 역류방지장치

[청구항 1] 개스용기를 함께 사용하는 복수의 공정설비를 구비한 반도체 제조설비의 개스 역류방지장치에 있어서, 상기 개스용기에 연결된 다수의 개스공급라인 상에 설치되어 개스의 역류상태를 감지하는 개스역류감지센서와, 상기 개스역류감지센서로부터 개스역류 감지신호를 받아 밸브구동 제어신호를 출력하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러로부터 출력된 밸브구동 제어신호에 의해 다운스트림밸브로 에어를 공급하여 개스공급을 차단하도록 제어하는 밸브구동부와, 상기 밸브구동부로의 제어에 의해 개스공급을 차단하는 다운스트림밸브를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 개스 역류방지장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 다운스트림밸브는개스역류감지센서의전단설치됨을특징으로 하는반도체 제조설비의 개스 역류방지장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 역류감지센서는 chf3개스공급라인상설치됨을특징으로 하는반도체 제조설비의 개스 역류방지장치. [청구항 4] 개스용기를 함께 사용하는 복수의 공정설비를 구비한 반도체 제조설비의 개스 역류방지장치에 있어서, 상기 복수의 공정설비는; mfc교체 시 유해성 개스용기나 무해성 개스용기로부터 각종 개스가 공급되지 않도록 차단시키는 복수의 업스트림밸브와, 상기 복수의 업스트림밸브를 통해 인입되는 각 개스라인의 개스압력을 각각 조절하는 복수의 mfc와, 상기 mfc교체 시 공정쳄버에 연결된 개스라인으로 개스가 유출되지 않도록 차단시키는 복수의 다운스트림밸브와, 상기 복수의 mfc로부터 개스라인을 통해 공급되는 유해성 개스를 공급 또는 차단하기 위한 제1 벤트밸브와, 상기 복수의 mfc로부터 개스라인을 통해 공급되는 무해성 개스를 공급 또는 차단하기 위한 제2 벤트밸브와, 상기 제1 및 제2 벤트밸브를 통해 공급되는 개스를 상기 공정챔버로 공급하거나 차단하는 제3 벤트밸브와, 상기 복수의 다운스트림밸브 중에 개스압력이 가장낮은 개스공급 라인 상에 설치되어 개스의 역류상태를 감지하는 개스역류감지센서와, 상기 개스역류감지센서로부터 개스역류 감지신호를 받아 밸브구동 제어신호를 출력하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러로부터 출력된 밸브구동 제어신호에 의해 다운스트림밸브로 에어를 공급하여 개스공급을 차단하도록 제어하는 밸브구동부와, 상기 밸브구동부로의 제어에 의해 개스공급을 차단하는 다운스트림밸브를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 개스 역류방지장치 [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 다운스트림밸브는, 무해성 개스를 일방향으로 공급하고 서로 연통되는 개스공급라인으로부터 다른 혼합개스가 압력이 낮은개스공급라인역류되지특징으로 하는반도체 제조설비의 개스 역류방지장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 역류감지센서는, chf3개스공급라인설치됨을특징으로 하는반도체 제조설비의 개스 역류방지장치.