문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 기판;
상기 반도체 기판 상부에 형성되는 제 1 층간 절연막
상기 제 1 층간 절연막 내부에 형성되며, 보잉(bowing) 형태의 상부 측벽을 갖는 콘택 플러그; 및
상기 콘택 플러그 상부에 형성되는 콘택 패드를 포함하는 반도체 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 콘택 플러그는 상기 상부 측벽으로부터 상기 반도체 기판쪽으로 연장되는 하부 측벽을 더 포함하고, 상기 하부 측벽은 상기 반도체 기판 표면에 대해 네가티브 슬로프형성되는반도체 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 콘택 플러그의 상부는 상기 콘택 패드 내부쪽돌출되어 있는반도체 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 콘택 플러그의 상부 측벽중 상기 콘택 패드 내부로 돌출되어진 부분은 포지티브 슬로프갖는반도체 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 콘택 패드는 상기 콘택 플러그의 직경보다 큰 직경갖는반도체 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 콘택 패드 양측에, 상기 콘택 패드간을 절연시키기 위한 제 2 층간 절연막이더 형성되는반도체 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 콘택 패드는 구리 금속막구성되는반도체 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 콘택 플러그는 텅스텐 포함 금속막구성되는반도체 장치.
[청구항 9]
반도체 기판;
상기 반도체 기판상에 형성되는 제 1 층간 절연막
상기 제 1 층간 절연막 내부에 형성되고, 상부 측벽 및 상기 상부 측벽으로부터 상기 반도체 기판 쪽으로 향해 연속적으로 연장되는 하부 측벽을 갖는 콘택 플러그
상기 콘택 플러그 상부면 및 그 주변부를 노출시키는 홀을 포함하는 제 2 층간 절연막; 및
상기 제 2 층간 절연막 내부의 홀 내에 매립되어 구성되는 구리 콘택 패드를 포함하며,
상기 콘택 플러그의 상부면 및 상기 상부 측벽의 일부는 상기 구리 콘택 패드 내부로 돌출되어 구성되고,
상기 구리 콘택 패드 내부에 위치하는 상기 콘택 플러그의 상기 상부 측벽은 포지티브 슬로프를 갖는 반도체 장치
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 콘택 플러그의 상부 측벽은 보잉 형태갖는반도체 장치.
[청구항 11]
제 9 항에 있어서,상기 콘택 플러그의 하부 측벽은 상기 반도체 기판에 대해 네거티브 슬로프를 갖는 형태갖는반도체 장치.
[청구항 12]
제 9 항에 있어서,상기 제 1 층간 절연막은 비등방성 식각 성향을 갖는 제 1 서브 층간 절연막, 및 상기 제 1 서브 층간 절연막 상부에 형성되며 상기 제 1 서브 층간 절연막에 비해 등방성 식각 성향을 갖는 제 2 서브 층간 절연막구성되는반도체 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 9항에 기재된 반도체 장치에서, 콘택 플러그의 상부 측벽 및 상부면이 구리 콘택 패드 내부로 돌출될 때 해당 상부 측벽이 갖는 경사 형태는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 9항에 기재된 반도체 장치에서 구리 콘택 패드 내부로 돌출된 콘택 플러그 상부 측벽의 경사 형태를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9항에서 콘택 플러그의 상부면 및 상부 측벽 일부가 구리 콘택 패드 내부로 돌출된다는 점과 해당 측벽의 경사 형태에 관한 기술 내용을 추출한다.
- 상기 콘택 플러그의 상부면 및 상기 상부 측벽의 일부는 상기 구리 콘택 패드 내부로 돌출되어 구성되고, 상기 구리 콘택 패드 내부에 위치하는 상기 콘택 플러그의 상기 상부 측벽은 포지티브 슬로프를 갖는
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '구리 콘택 패드 내부로 돌출될 때 해당 상부 측벽이 갖는 경사 형태'를 직접적으로 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 구리 콘택 패드 내부에 위치하는 상기 콘택 플러그의 상기 상부 측벽은 포지티브 슬로프를 갖는
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4논리 통합
logical_integration청구항 9항의 문맥을 종합하면, 콘택 플러그의 상부 측벽 일부가 구리 콘택 패드 내부로 돌출되어 위치할 때, 그 측벽은 포지티브 슬로프를 가진다.
- 상기 구리 콘택 패드 내부에 위치하는 상기 콘택 플러그의 상기 상부 측벽은 포지티브 슬로프를 갖는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 해당 측벽의 경사 형태는 '포지티브 슬로프'임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 콘택 플러그의 상부면 및 상기 상부 측벽의 일부는 상기 구리 콘택 패드 내부로 돌출되어 구성되고, 상기 구리 콘택 패드 내부에 위치하는 상기 콘택 플러그의 상기 상부 측벽은 포지티브 슬로프를 갖는
- 상기 구리 콘택 패드 내부에 위치하는 상기 콘택 플러그의 상기 상부 측벽은 포지티브 슬로프를 갖는
최종 답변 (final_answer)
구리 콘택 패드 내부로 돌출된 콘택 플러그의 상부 측벽은 포지티브 슬로프를 갖는다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 콘택 플러그의 상부 측벽이 구리 콘택 패드 내부로 돌출될 때 포지티브 슬로프를 갖도록 구성하여 콘택 구조를 형성하는 기술에 관한 것이다.