문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 샤워플레이트의 열교환부분의 면적은 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 면적의 2.4 배 이상이고, 상기 샤워플레이트가 대기압력하에서 단위면적당 28.4kgf/㎠ 이상의 힘으로 막형성조 상부덮개에 가압되고 있고, 상기 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 두께가 5㎜ 이하로 되도록 구성되어 있고, 샤워플레이트와 막형성조 상부덮개와의 열교환부분에 있어서의 샤워플레이트의 두께가샤워플레이트의막형성가스통과부분의두께있는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항4]
제 3 항에 있어서,상기 샤워플레이트의 열교환부분의 면적이 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 면적의 2.4배이상인것을특징으로 하는박막제조장치.
제 3 항에 있어서,상기 샤워플레이트의 열교환 부분의 면적이 상기 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 면적의 2.4배이상인것을특징으로 하는박막제조장치.
[청구항5]
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 샤워플레이트가 대기압력하에서 단위면적당 28.4kgf/㎠ 이상의 힘으로막형성조상부덮개가압되고있는것을특징으로 하는박막제조장치.
제 3 항에 있어서,상기 샤워플레이트가 대기압력하에서 단위면적당 28.4kgf/㎠ 이상의 힘으로상기막형성조상부덮개가압되고있는것을특징으로 하는박막제조장치.
[청구항6]
제 3 항에 있어서,상기 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 두께가 5㎜이하구성되어있는것을특징으로 하는박막제조장치.
제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 두께가 5㎜이하구성되어있는것을특징으로 하는박막제조장치.
[청구항7]
제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 샤워플레이트와 막형성조 상부덮개와의 열교환부분에서의 샤워플레이트의 두께가,샤워플레이트의막형성가스통과부분의두께있는것을특징으로 하는박막제조장치.
제 3 항에 있어서,상기 샤워플레이트와 상기 막형성조 상부덮개와의 열교환 부분에서의 상기 샤워플레이트의 두께가,상기샤워플레이트의막형성가스통과부분의두께있는것을특징으로 하는박막제조장치.
[청구항8]
제 3 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 막형성조의 내직경이 샤워헤드 표면의 직경보다 크고, 또 샤워헤드 표면의 직경이 막형성조내의 상부공간의 내직경보다 큰 것특징으로 하는박막제조장치.
제 3 항에 있어서,상기 막형성조의 내직경이 상기 샤워헤드 표면의 직경보다 크고, 또 상기 샤워헤드 표면의 직경이 상기 막형성조 내의 상부공간의 내직경보다 큰 것특징으로 하는박막제조장치.
[청구항9]
제 8 항에 있어서,상기 막형성조의 내직경과 샤워헤드 표면의 직경과의차이이내인것을특징으로 하는박막제조장치.
제 8 항에 있어서,상기 막형성조의 내직경과 상기 샤워헤드 표면의 직경과의차이이내인것을특징으로 하는박막제조장치.
[청구항10]
제 3 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 막형성조내의 온도를 실온∼250℃ 의 범위로 온도제어할 수 있는수단을추가구비하고있는것을특징으로 하는박막제조장치.
제 3 항에 있어서,상기 막형성조 내의 온도를 실온∼250℃ 의 범위로 온도제어할 수 있는수단을추가구비하고있는것을특징으로 하는박막제조장치.
[청구항11]
제 3 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 샤워플레이트와 막형성조 상부덮개에는 연통된 관통홀이 형성되고, 그 홀에 압력측정기를 연결하여형성한것을특징으로 하는박막제조장치.
제 3 항에 있어서,상기 샤워플레이트와 상기 막형성조 상부덮개에는 연통된 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에 압력측정기를 연결하여형성한것을특징으로 하는박막제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막제조장치에서 샤워플레이트의 열교환부분 면적과 대기압력하에서의 가압 조건은 각각 어떻게 구성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation박막제조장치의 샤워플레이트 면적 조건과 가압 조건을 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 4 및 5에서 면적과 가압에 관한 수치 정보를 추출한다.
- 상기 샤워플레이트의 열교환부분의 면적이 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 면적의 2.4배이상
- 상기 샤워플레이트가 대기압력하에서 단위면적당 28.4kgf/㎠ 이상의 힘으로막형성조상부덮개가압되고있는것
-
3근거 선택
evidence_selection면적 조건(2.4배 이상)과 가압 조건(28.4kgf/㎠ 이상)을 핵심 근거로 선택한다.
- 2.4배이상
- 28.4kgf/㎠ 이상의 힘
-
4논리 통합
logical_integration면적은 열교환부분과 막형성가스 통과부분 간의 비율로, 가압은 대기압 상태에서 단위면적당 힘의 크기로 정리한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation샤워플레이트의 열교환부분 면적은 막형성가스 통과부분 면적의 2.4배 이상이며, 대기압력하에서 단위면적당 28.4kgf/㎠ 이상의 힘으로 막형성조 상부덮개에 가압된다는 결론을 도출한다.
- 상기 샤워플레이트의 열교환부분의 면적이 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 면적의 2.4배이상
- 상기 샤워플레이트가 대기압력하에서 단위면적당 28.4kgf/㎠ 이상의 힘으로막형성조상부덮개가압되고있는것
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 샤워플레이트의 열교환부분의 면적이 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분의 면적의 2.4배이상
- 상기 샤워플레이트가 대기압력하에서 단위면적당 28.4kgf/㎠ 이상의 힘으로막형성조상부덮개가압되고있는것
- 2.4배이상
- 28.4kgf/㎠ 이상의 힘
최종 답변 (final_answer)
샤워플레이트의 열교환부분 면적은 샤워플레이트의 막형성가스 통과부분 면적의 2.4배 이상이어야 하며, 대기압력하에서 단위면적당 28.4kgf/㎠ 이상의 힘으로 막형성조 상부덮개에 가압되어야 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
박막제조장치의 샤워플레이트는 특정 면적 비율(2.4배 이상)과 특정 가압 강도(28.4kgf/㎠ 이상)를 갖는 구성 요건을 가진다.