서셉터 및 이를 구비하는 원자층 증착장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 리프트 핀 어셈블리는,상기 베이스 플레이트를 관통하여 구비되며 상기 웨이퍼를 3점 지지하도록 삼각형 형태로 배열된 리프트 핀; 및상기 베이스 플레이트 하부에 구비되어 상기 리프트 핀을 승강시키는 승강부;를 포함하고,이웃하는 2장의 웨이퍼가 안착되는 6개의 리프트 핀이 동시에 승강되도록상기리프트 핀과상기승강부가연결된것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. 제1항에 있어서,상기 리프트 핀 어셈블리는,상기 베이스 플레이트를 관통하여 구비되며 상기 웨이퍼를 3점 지지하도록 삼각형 형태로 배열된 리프트 핀; 및상기 베이스 플레이트 하부에 구비되어 상기 리프트 핀을 승강시키는 승강부;를 포함하고,이웃하는 2장의 웨이퍼가 안착되는 6개의 리프트 핀이 동시에 승강되도록상기리프트 핀과상기승강부가연결된것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 동시에 승강되는 6개의 리프트 핀이 형성하는 2개의 삼각형의 밑변이 기준선 상에 위치하도록배치된것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. 제2항에 있어서,상기 동시에 승강되는 6개의 리프트 핀이 형성하는 2개의 삼각형의 밑변이 기준선 상에 위치하도록배치된것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. [청구항4] 제3항에 있어서,상기 베이스 플레이트는 원반 형태를 갖고, 상기 베이스 플레이트의 원주 방향을 따라 상기 복수장의 웨이퍼가 방사상으로 배치되며,상기 기준선은 상기 베이스 플레이트의 직경 방향에 대해 수직한직선인것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. 제3항에 있어서,상기 베이스 플레이트는 원반 형태를 갖고, 상기 베이스 플레이트의 원주 방향을 따라 상기 복수장의 웨이퍼가 방사상으로 배치되며,상기 기준선은 상기 베이스 플레이트의 직경 방향에 대해 수직한직선인것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. [청구항5] 제3항에 있어서,상기 축 결합홈은 모서리가 상기 기준선과 평행하게 형성된다각형형태갖는것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. 제3항에 있어서,상기 축 결합홈은 모서리가 상기 기준선과 평행하게 형성된다각형형태갖는것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 축 결합홈은 삼각형 형태를 갖고, 상기 얼라인 핀은 상기 축 결합홈의 각모서리의중앙부분구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. 제5항에 있어서,상기 축 결합홈은 삼각형 형태를 갖고, 상기 얼라인 핀은 상기 축 결합홈의 각모서리의중앙부분구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. [청구항7] 제1항에 있어서,상기 구동축의 단부에는 상기 축 결합홈과 대응되는 형태를 갖고 상기 축 결합홈에 삽입 결합되는결합플랜지구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. 제1항에 있어서,상기 구동축의 단부에는 상기 축 결합홈과 대응되는 형태를 갖고 상기 축 결합홈에 삽입 결합되는결합플랜지구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. [청구항8] 제7항에 있어서,상기 축 결합홈은 상기 베이스 플레이트의 중심과 무게중심 위치가 일치하는정삼각형형태갖는것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. 제7항에 있어서,상기 축 결합홈은 상기 베이스 플레이트의 중심과 무게중심 위치가 일치하는정삼각형형태갖는것을특징으로 하는원자층 증착장치용 서셉터. [청구항10] 제9항에 있어서,셉터는 상기 복수장의 웨이퍼가 안착되는 베이스 플레이트를 포함하고, 상기 축 결합홈은 상기 베이스 플레이트 하부면에 요입 형성되며, 상기 얼라인 핀은 상기 축 결합홈 내부에서 상기 축 결합홈의 외주연부를 따라구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치. 제9항에 있어서,셉터는 상기 복수장의 웨이퍼가 안착되는 베이스 플레이트를 포함하고, 상기 축 결합홈은 상기 베이스 플레이트 하부면에 요입 형성되며, 상기 얼라인 핀은 상기 축 결합홈 내부에서 상기 축 결합홈의 외주연부를 따라구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치. [청구항11] 제10항에 있어서,셉터는 6장의 웨이퍼가 안착되고, 상기 구동축이 120° 간격으로 회전함에 따라 상기 서셉터가 상기 웨이퍼의 로딩/언로딩 위치에 정렬되도록 상기 얼라인 핀은 3개가정삼각형형태배치된것을특징으로 하는원자층 증착장치. 제10항에 있어서,셉터는 6장의 웨이퍼가 안착되고, 상기 구동축이 120° 간격으로 회전함에 따라 상기 서셉터가 상기 웨이퍼의 로딩/언로딩 위치에 정렬되도록 상기 얼라인 핀은 3개가정삼각형형태배치된것을특징으로 하는원자층 증착장치. [청구항12] 제11항에 있어서,상기 축 결합홈은 삼각형 형태를 갖고, 상기 얼라인 핀은 상기 축 결합홈의 각모서리의중앙부분구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치. 제11항에 있어서,상기 축 결합홈은 삼각형 형태를 갖고, 상기 얼라인 핀은 상기 축 결합홈의 각모서리의중앙부분구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 이송부는 동시에 2장의 웨이퍼를 파지하여 이송하도록 2개의 핸들링 암을 포함하여 구성되고,상기 축 결합홈은 상기 웨이퍼의 로딩/언로딩 위치에 정렬되었을 때 상기 축 결합홈의 모서리가 상기 핸들링 암의 이동 방향에 대해수직형성된것을특징으로 하는원자층 증착장치. 제12항에 있어서,상기 이송부는 동시에 2장의 웨이퍼를 파지하여 이송하도록 2개의 핸들링 암을 포함하여 구성되고,상기 축 결합홈은 상기 웨이퍼의 로딩/언로딩 위치에 정렬되었을 때 상기 축 결합홈의 모서리가 상기 핸들링 암의 이동 방향에 대해수직형성된것을특징으로 하는원자층 증착장치. [청구항14] 제10항에 있어서,상기 구동축의 단부에는 상기 축 결합홈에 대응되는 형태를 갖고, 상기 축 결합홈에 삽입 결합되는결합플랜지구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치. 제10항에 있어서,상기 구동축의 단부에는 상기 축 결합홈에 대응되는 형태를 갖고, 상기 축 결합홈에 삽입 결합되는결합플랜지구비된것을특징으로 하는원자층 증착장치.