문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 토출홀nan은상기분사노즐의측면제공되는것을특징으로 하는분사유닛.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 커버는상기분사노즐의외측면제공되는것을특징으로 하는분사유닛.
제1항에 있어서,상기 커버는상기분사노즐의외측면제공되는것을특징으로 하는분사유닛.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 토출홀nan은상기분사노즐의저면제공되는것을특징으로 하는분사유닛.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 커버는상기분사노즐의저면제공되는것을특징으로 하는분사유닛.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 토출홀nan은상기분사노즐의측면제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항8]
제7항에 있어서,상기 커버는상기분사노즐의외측면제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
제6항에 있어서,상기 커버는상기분사노즐의외측면제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항9]
제8항에 있어서,상기 토출홀은 상기 분사노즐의 원주방향을 따라링형상제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
제8항에 있어서,상기 토출홀은 상기 분사노즐의 원주방향을 따라링형상제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항10]
제9항에 있어서,상기 링 형상은 상하방향으로복수개제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
제9항에 있어서,상기 링 형상은 상하방향으로복수개제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항11]
제6항 및 8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,셉터의 상면에는 상기 기판을 지지하는 홀더 안착홈이 복수로 제공되고, 상기 홀더 안착홈들은 상기 서셉터의중심축제공된것을특징으로 하는기판처리장치.
제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,셉터의 상면에는 상기 기판을 지지하는 홀더 안착홈이 복수로 제공되고, 상기 홀더 안착홈들은 상기 서셉터의중심축제공된것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항12]
제11항에 있어서,상기 분사노즐은 상기 서셉터의 상부에 배치되고, 상부에서 바라볼때상기분사노즐과상기홀더안착홈들서로중첩되지않는것을특징으로 하는기판처리장치.
제11항에 있어서,상기 분사노즐은 상기 서셉터의 상부에 배치되고, 상부에서 바라볼때상기분사노즐과상기홀더안착홈들서로중첩되지않는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항13]
제6항에 있어서,상기 토출홀nan은상기분사노즐의저면제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항14]
제13항에 있어서,상기 커버는상기분사노즐의저면제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치에서 분사노즐과 서셉터 상면에 제공된 홀더 안착홈들은 상부에서 바라볼 때 어떠한 배치 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation분사노즐과 홀더 안착홈 사이의 공간적 배치 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction분사노즐의 위치와 홀더 안착홈의 위치, 그리고 두 구성요소 간의 중첩 여부를 추출한다.
- 상기 분사노즐은 상기 서셉터의 상부에 배치되고
- 상기 홀더 안착홈들은 상기 서셉터의중심축제공된것
- 상부에서 바라볼때상기분사노즐과상기홀더안착홈들서로중첩되지않는것
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3근거 선택
evidence_selection분사노즐과 홀더 안착홈의 중첩 여부를 명시한 청구항 12항의 내용을 핵심 근거로 선택한다.
- 상부에서 바라볼때상기분사노즐과상기홀더안착홈들서로중첩되지않는것
-
4논리 통합
logical_integration분사노즐은 서셉터 상부에 있고, 홀더 안착홈은 서셉터 상면에 있으나, 상부 투영 시 두 요소는 겹치지 않는 관계임을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation분사노즐과 홀더 안착홈은 상부에서 보았을 때 서로 중첩되지 않는 배치를 가진다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 비존대 의문형에 대응하는 서술형 답변을 생성한다.
근거 (evidence)
- 상기 분사노즐은 상기 서셉터의 상부에 배치되고
- 상기 홀더 안착홈들은 상기 서셉터의중심축제공된것
- 상부에서 바라볼때상기분사노즐과상기홀더안착홈들서로중첩되지않는것
최종 답변 (final_answer)
기판처리장치에서 분사노즐은 서셉터의 상부에 배치되며, 상부에서 바라볼 때 분사노즐과 서셉터 상면에 제공된 홀더 안착홈들은 서로 중첩되지 않는 관계를 갖는다.
핵심 해석 (core_interpretation)
분사노즐과 홀더 안착홈은 서셉터라는 동일한 기반 위에 존재하지만, 상부에서 투영했을 때 서로 겹치지 않도록 배치되어 있다.