문맥 (context)
[청구항1]
제 1가스가 토출되는 제 1토출로와, 상기 제 1토출로로부터 이격되어 제 2가스가 토출되는 제 2토출로가 형성되되,
상기 제 1토출로와 상기 제 2토출로는
상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 서로 다른 공급면을 통해 상기 제1 토출로와 상기 제 2토출로로 각각 공급되고,
상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 동일한 토출면을 통해 상기 제 1토출로와 상기 제 2토출로로부터 각각 토출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드용 토출관
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 제 2가스의 토출량은 상기 제 1가스의 토출량보다 많으며,상기 제 2토출로의 개수는 상기 제 1토출로의 개수보다 많게 형성되는 것을 의특징으로 하는샤워헤드용 토출관.
[청구항3]
제 2항에 있어서,상기 제 2토출로는 상기 제1 토출로의 주변부에복수개형성되는것을특징으로 하는샤워헤드용 토출관.
[청구항4]
본체와,
상기 본체의 내부에 마련되어 제 1가스가 공급되는 제 1가스챔버와,
상기 제 1가스챔버의 하부에 마련되어 제 2가스가 공급되는 제 2가스챔버와,
상기 제 1가스챔버에 연통되는 제 1토출로와, 상기 제 1토출로와 이격되고 상기 제2 가스챔버에 연통되는 토출로가 각각 형성되는 토출관을 포함하며,
상기 제1 토출로와 상기 제 2토출로는 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 동일한 토출면을 통해 상기 제 1토출로와 상기 제 2토출로로부터 각각 토출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드
[청구항5]
제 4항에 있어서,상기 제 2가스의 토출량은 상기 제 1가스의 토출량보다 많으며,상기 제 2토출로의 개수는 상기 제 1토출로의 개수보다 많게 형성되는 것을 의특징으로 하는샤워헤드.
[청구항6]
제 5항에 있어서,상기 제 2토출로는 상기 제1 토출로의 주변부에복수개형성되는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항7]
제 4항에 있어서,상기 제 1가스챔버에 연통되어 상기 제 1가스챔버로 상기 제 1가스를 공급하는 제 1가스공급관과,상기 제 2가스챔버에 연통되어 상기 제 2가스챔버로 상기 제 2가스를 공급하는제2가스공급관더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항8]
제 4항에 있어서,상기 제 2가스챔버의 하부에 마련되어 내부에 냉매가 순환되는냉각챔버더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항9]
공정챔버와,
상기 공정챔버의 내부에 배치되어 기판을 지지하는 서셉터와,
상기 공정챔버의 내부로 제 1가스와 제 2가스를 분사하는 샤워헤드를 포함하되,
상기 샤워헤드는
본체와,
상기 본체의 내부에 마련되어 제 1가스가 공급되는 제 1가스챔버와,
상기 제 1가스챔버의 하부에 마련되어 제 2가스가 공급되는 제 2가스챔버와,
상기 제 1가스챔버에 연통되는 제 1토출로와, 상기 제 1토출로와 이격되고 상기 제2 가스챔버에 연통되는 토출로가 각각 형성되는 토출관을 포함하며,
상기 제1 토출로와 상기 제 2토출로는 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 동일한 토출면을 통해 상기 제 1토출로와 상기 제 2토출로로부터 각각 토출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착장치
[청구항10]
제 9항에 있어서,상기 제 2가스의 토출량은 상기 제 1가스의 토출량보다 많으며,상기 제 2토출로의 개수는 상기 제 1토출로의 개수보다 많게 형성되는 것을 의특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항11]
제 10항에 있어서,상기 제 2토출로는 상기 제1 토출로의 주변부에복수개형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항12]
제 10항에 있어서,상기 제 1가스는 ⅲ족 가스이며, 상기 제 2가스는ⅴ족가스인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항13]
제 9항에 있어서,상기 샤워헤드는상기 제 1가스챔버에 연통되어 상기 제 1가스챔버로 상기 제 1가스를 공급하는 제 1가스공급관과,상기 제 2가스챔버에 연통되어 상기 제 2가스챔버로 상기 제 2가스를 공급하는제2가스공급관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항14]
제 9항에 있어서,상기 샤워헤드는상기 제 2가스챔버의 하부에 마련되어 내부에 냉매가 순환되는냉각챔버더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
샤워헤드용 토출관에서 제 1가스와 제 2가스는 각각 어떠한 공급면과 토출면을 통해 전달되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation제 1가스와 제 2가스의 공급 및 토출 방식에 관한 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction가스의 공급 방식과 토출 방식에 대한 청구항 내용을 추출한다.
- 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 서로 다른 공급면을 통해 상기 제1 토출로와 상기 제 2토출로로 각각 공급되고
- 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 동일한 토출면을 통해 상기 제 1토출로와 상기 제 2토출로로부터 각각 토출되도록 형성되는
-
3근거 선택
evidence_selection공급면과 토출면에 대한 직접적인 기술 문구를 선택한다.
- 서로 다른 공급면
- 동일한 토출면
-
4논리 통합
logical_integration공급 시에는 서로 다른 면을 사용하지만, 토출 시에는 하나의 동일한 면을 사용한다는 점을 연결한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation제 1가스와 제 2가스는 서로 다른 공급면을 통해 각각의 토출로로 공급되며, 동일한 토출면을 통해 각각 토출된다는 결론을 도출한다.
- 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 서로 다른 공급면을 통해 상기 제1 토출로와 상기 제 2토출로로 각각 공급되고
- 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 동일한 토출면을 통해 상기 제 1토출로와 상기 제 2토출로로부터 각각 토출되도록
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 서로 다른 공급면을 통해 상기 제1 토출로와 상기 제 2토출로로 각각 공급되고
- 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 동일한 토출면을 통해 상기 제 1토출로와 상기 제 2토출로로부터 각각 토출되도록 형성되는
- 서로 다른 공급면
- 동일한 토출면
- 상기 제 1가스와 상기 제 2가스가 동일한 토출면을 통해 상기 제 1토출로와 상기 제 2토출로로부터 각각 토출되도록
최종 답변 (final_answer)
제 1가스와 제 2가스는 서로 다른 공급면을 통해 각각의 토출로(제 1토출로 및 제 2토출로)로 공급되며, 토출될 때는 동일한 토출면을 통해 각각 토출된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스의 공급 단계에서는 독립된(서로 다른) 공급면을 사용하지만, 토출 단계에서는 통합된(동일한) 토출면을 사용하는 구조적 특징을 가진다.