문맥 (context)
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 차폐막은가스공급구가 형성되어 상기 반응가스의 공급경로가 확보되는 플레이트;및상기 플레이트의 둘레를 지지하는측벽포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항3]
제 2항에 있어서,상기 측벽nan은상기서셉터지지되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 1항에 있어서,상기 측벽nan은상기서셉터지지되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항4]
제 3항에 있어서,상기 측벽과 상기 서셉터의 사이에 배치되어 상기 측벽과 상기 서셉터를 이격시키는이격돌기더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 3항에 있어서,상기 측벽과 상기 서셉터의 사이에 배치되어 상기 측벽과 상기 서셉터를 이격시키는이격돌기더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항5]
제 2항에 있어서,상기 반응챔버 내벽에 지지되고 상기 측벽을 지지하는지지링더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 1항에 있어서,상기 반응챔버 내벽에 지지되고 상기 측벽을 지지하는지지링더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항6]
제 5항에 있어서,상기 지지링은 상기 서셉터의 상단면보다상측배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 5항에 있어서,상기 지지링은 상기 서셉터의 상단면보다상측배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항7]
제 6항에 있어서,상기 지지링에는 상하로 관통되는배기구형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 6항에 있어서,상기 지지링에는 상하로 관통되는배기구형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항8]
제 2항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 가스공급구에 연통되어 상기 차폐막의 내부로 제 1반응가스와 제 2반응가스를 공급하는반응가스 공급부포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항9]
제 8항에 있어서,상기 반응가스 공급부는상기 제 1반응가스가 공급되고 상기 가스공급구에 연통되는 제 1반응가스챔버;및상기 제 2반응가스가 공급되고 상기 가스공급구에 연통되는제2반응가스챔버포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항10]
제 8항에 있어서,상기 반응가스 공급부는상기 제 1반응가스와 상기 제 2반응가스가 공급되고 상기 가스공급구에 연통되는반응가스챔버포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 1항에 있어서,상기 반응가스 공급부는상기 제 1반응가스와 상기 제 2반응가스가 공급되고 상기 가스공급구에 연통되는반응가스챔버포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항11]
제 10항에 있어서,상기 반응가스 공급부는상기 반응가스챔버에 결합되고 냉매가 공급되는냉각챔버더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 10항에 있어서,상기 반응가스 공급부는상기 반응가스챔버에 결합되고 냉매가 공급되는냉각챔버더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항12]
제 8항에 있어서,상기 반응가스 공급부는상기 서셉터를 향하는 상기 샤워헤드의 일면으로부터 돌출되어 상기 차폐막의 내부에서 상기 반응가스가 토출되도록 하는돌출면포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 1항에 있어서,상기 반응가스 공급부는상기 서셉터를 향하는 상기 샤워헤드의 일면으로부터 돌출되어 상기 차폐막의 내부에서 상기 반응가스가 토출되도록 하는돌출면포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항13]
제 2항에 있어서,상기 샤워헤드는상기 가스공급구의 주변으로 퍼지가스를 공급하는퍼지가스 공급부더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 1항에 있어서,상기 샤워헤드는상기 가스공급구의 주변으로 퍼지가스를 공급하는퍼지가스 공급부더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항14]
제 1항에 있어서,셉터에 설치되고 발열되는 제 1히터; 상기 샤워헤드에 설치되어 발열되는 제 2히터;를 더 포함하며,상기 기판은 상기 제 1히터와 상기 제 2히터에 의해함께가열되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 1항에 있어서,셉터에 설치되고 발열되는 제 1히터; 상기 샤워헤드에 설치되어 발열되는 제 2히터;를 더 포함하며,상기 기판은 상기 제 1히터와 상기 제 2히터에 의해함께가열되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항15]
제 1항에 있어서,상기 차폐막은쿼츠로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 1항에 있어서,상기 차폐막은쿼츠로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항16]
제 13항에 있어서,상기 반응챔버 벽 및 상기 샤워헤드를 관통하는 뷰 포트;및상기 반응챔버의 외측에 배치되고 상기 뷰포트를 통해 광을 입사시켜 상기 기판의 온도를 측정하는온도센서더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 13항에 있어서,상기 반응챔버 벽 및 상기 샤워헤드를 관통하는 뷰 포트;및상기 반응챔버의 외측에 배치되고 상기 뷰포트를 통해 광을 입사시켜 상기 기판의 온도를 측정하는온도센서더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상 증착장치에서 차폐막은 어떠한 구성 요소로 이루어져 있으며, 반응가스 공급부는 어떠한 방식으로 반응가스를 공급하는 구조를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation차폐막의 구성 요소와 반응가스 공급부의 작동 및 구조적 특징을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2항에서 차폐막의 구성을, 청구항 8항 및 10항에서 반응가스 공급부의 기능을 추출한다.
- 상기 차폐막은가스공급구가 형성되어 상기 반응가스의 공급경로가 확보되는 플레이트;및상기 플레이트의 둘레를 지지하는측벽포함하는것을특징으로 하는
- 상기 샤워헤드는 상기 가스공급구에 연통되어 상기 차폐막의 내부로 제 1반응가스와 제 2반응가스를 공급하는반응가스 공급부포함하는것을특징으로 하는
-
3근거 선택
evidence_selection차폐막 구성(플레이트, 측벽)과 공급부 기능(가스공급구 연통, 차폐막 내부로 가스 공급)에 관한 문구를 선택한다.
- 차폐막은가스공급구가 형성되어 상기 반응가스의 공급경로가 확보되는 플레이트;및상기 플레이트의 둘레를 지지하는측벽포함
- 상기 샤워헤드는 상기 가스공급구에 연통되어 상기 차폐막의 내부로 제 1반응가스와 제 2반응가스를 공급하는반응가스 공급부포함하는것을특징으로 하는
-
4논리 통합
logical_integration차폐막은 플레이트와 측벽으로 구성되며, 반응가스 공급부는 가스공급구를 통해 차폐막 내부로 가스를 전달하는 구조임을 연결한다.
- 플레이트;및상기 플레이트의 둘레를 지지하는측벽
- 상기 가스공급구에 연통되어 상기 차폐막의 내부로 제 1반응가스와 제 2반응가스를 공급
-
5결론 도출
conclusion_formulation차폐막의 구성과 공급부의 메커니즘을 종합하여 답변을 구성한다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 구조화된 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 차폐막은가스공급구가 형성되어 상기 반응가스의 공급경로가 확보되는 플레이트;및상기 플레이트의 둘레를 지지하는측벽포함하는것을특징으로 하는
- 상기 샤워헤드는 상기 가스공급구에 연통되어 상기 차폐막의 내부로 제 1반응가스와 제 2반응가스를 공급하는반응가스 공급부포함하는것을특징으로 하는
- 차폐막은가스공급구가 형성되어 상기 반응가스의 공급경로가 확보되는 플레이트;및상기 플레이트의 둘레를 지지하는측벽포함
- 플레이트;및상기 플레이트의 둘레를 지지하는측벽
- 상기 가스공급구에 연통되어 상기 차폐막의 내부로 제 1반응가스와 제 2반응가스를 공급
최종 답변 (final_answer)
차폐막은 가스공급구가 형성되어 반응가스의 공급경로를 확보하는 플레이트와, 해당 플레이트의 둘레를 지지하는 측벽으로 구성된다. 반응가스 공급부는 샤워헤드의 가스공급구에 연통되어 차폐막의 내부로 제 1반응가스와 제 2반응가스를 공급하는 구조를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
차폐막은 플레이트와 측벽의 결합체이며, 반응가스 공급부는 가스공급구를 통해 차폐막 내부로 가스를 유입시키는 역할을 수행한다.