문맥 (context)
[청구항1]
복수의 투과영역 및 차단영역을 포함하는 마스크 기판; 및
상기 마스크 기판 상에 보호막을 포함하는 쉐도우 마스크
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 보호막은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속 및 금속으로 이루어진군선택된하나인쉐도우 마스크.
[청구항3]
제 1항에 있어서,상기 보호막은 1 내지인쉐도우 마스크.
[청구항4]
제 1항에 있어서,상기 투과영역은 슬릿형상인쉐도우 마스크.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
쉐도우 마스크의 보호막은 어떠한 재질들로 구성될 수 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation쉐도우 마스크의 보호막 재질을 파악하는 것이 과제이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 보호막의 재질에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 보호막은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속 및 금속으로 이루어진군선택된하나인쉐도우 마스크
-
3근거 선택
evidence_selection재질을 나타내는 구체적인 성분들을 선택한다.
- 실리콘 산화물
- 실리콘 질화물
- 세라믹금속
- 금속
-
4논리 통합
logical_integration선택된 재질들이 보호막을 구성하는 선택적 그룹임을 확인한다.
- 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속 및 금속으로 이루어진군선택된하나
-
5결론 도출
conclusion_formulation보호막의 재질은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속, 금속 중 하나이다.
- 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속 및 금속
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 리스트 형식으로 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 보호막은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속 및 금속으로 이루어진군선택된하나인쉐도우 마스크
- 실리콘 산화물
- 실리콘 질화물
- 세라믹금속
- 금속
- 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속 및 금속으로 이루어진군선택된하나
- 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속 및 금속
최종 답변 (final_answer)
실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속, 금속
핵심 해석 (core_interpretation)
쉐도우 마스크의 보호막은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 세라믹금속, 금속 중 하나로 구성된다.