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실리콘 웨이퍼의 최종 연마용 슬러리 조성물

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출원번호
1020020077852
출원연도
2002
IPC
C09G
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 아민 화합물이 모노에탄올아민(monoethanolamine), 디에틸렌 글리콜아마민(diethylene glycolamine), 디에탄올아민(diethanolamine),트리에탄올아민(triethanolamine), (디메틸아미노)에톡시에탄올((dimethylamino)ethoxyethanol), 아미노에틸에탄올아민 (aminoethylethanolamine)또는피페리딘에탄올인것을특징으로 하는슬러리 조성물. 제 1항에 있어서,상기 아민 화합물이 모노에탄올아민(monoethanolamine), 디에틸렌 글리콜아마민(diethylene glycolamine), 디에탄올아민(diethanolamine),트리에탄올아민(triethanolamine), 디메틸아미노에톡시에탄올(dimethylaminoethoxyethanol:{(ch3)2nch2ch2och2ch2oh}), 아미노에틸에탄올아민 (aminoethylethanolamine)또는피페리딘에탄올인것을특징으로 하는슬러리 조성물. [청구항3] 제 1항에 있어서,상기 사급 암모늄염기는 테트라메틸암모늄 히드록사이드(tetramethylammonium hydroxide), 테트라에틸암모늄 히드록사이드(tetraethylammonium hydroxide), 트리메틸(에톡시)암모늄 히드록사이드(trimethyl(ethoxy)ammonium hydroxide) 또는 n,n-디메틸피페리딘히드록사이드인것을특징으로 하는슬러리 조성물. 제 1항에 있어서,상기 사급 암모늄염기는 테트라메틸암모늄 히드록사이드(tetramethylammonium hydroxide), 테트라에틸암모늄 히드록사이드(tetraethylammonium hydroxide), 트리메틸(에톡시)암모늄 히드록사이드({(ch3)3noch2ch3}: trimethyl(ethoxy)ammonium hydroxide) 또는 n,n-디메틸피페리딘히드록사이드인것을특징으로 하는슬러리 조성물. [청구항4] 제 1항에 있어서,상기 수용성 고분자 증점제로 분자량이 20만∼150만인 히드록시프로필셀룰로오스, 히드록시부틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스 또는 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스를 단독으로 또는 이들의 이종 이상을 혼합하여 사용하여슬러리의점도조절하는것을특징으로 하는슬러리 조성물.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
슬러리 조성물의 점도를 조절하기 위해 사용되는 수용성 고분자 증점제의 종류와 분자량 범위를 기술하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    슬러리 조성물 내 수용성 고분자 증점제의 종류와 분자량 조건을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4에서 증점제의 종류와 분자량, 사용 방식에 관한 정보를 추출한다.

    • 수용성 고분자 증점제로 분자량이 20만∼150만인 히드록시프로필셀룰로오스, 히드록시부틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스 또는 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스를 단독으로 또는 이들의 이종 이상을 혼합하여 사용하여슬러리의점도조절하는것을특징으로 하는슬러리 조성물
  3. 3근거 선택evidence_selection

    분자량 범위(20만~150만)와 구체적인 화합물 명칭들을 선택한다.

    • 분자량이 20만∼150만인
    • 히드록시프로필셀룰로오스, 히드록시부틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스 또는 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 정보를 결합하여 분자량 조건과 성분 리스트를 정리한다.

    • 분자량이 20만∼150만인
    • 히드록시프로필셀룰로오스, 히드록시부틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스 또는 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    증점제는 분자량 20만~150만 범위의 특정 셀룰로오스 계열 화합물임을 도출한다.

    • 분자량이 20만∼150만인 히드록시프로필셀룰로오스, 히드록시부틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스 또는 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 적합한 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 수용성 고분자 증점제로 분자량이 20만∼150만인 히드록시프로필셀룰로오스, 히드록시부틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스 또는 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스를 단독으로 또는 이들의 이종 이상을 혼합하여 사용하여슬러리의점도조절하는것을특징으로 하는슬러리 조성물
  • 분자량이 20만∼150만인
  • 히드록시프로필셀룰로오스, 히드록시부틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스 또는 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스
  • 분자량이 20만∼150만인 히드록시프로필셀룰로오스, 히드록시부틸메틸셀룰로오스, 히드록시프로필메틸셀룰로오스, 히드록시에틸셀룰로오스 또는 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스, 히드록시메틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스
최종 답변 (final_answer)
수용성 고분자 증점제의 분자량 범위는 20만~150만이며, 종류는 다음과 같다. - 히드록시프로필셀룰로오스 - 히드록시부틸메틸셀룰로오스 - 히드록시프로필메틸셀룰로오스 - 히드록시에틸셀룰로오스 - 친유성으로 조절된 히드록시에틸셀룰로오스 - 히드록시메틸셀룰로오스 - 메틸셀룰로오스
핵심 해석 (core_interpretation)
슬러리 점도 조절을 위한 수용성 고분자 증점제는 분자량 20만~150만 사이의 특정 셀룰로오스 유도체들로 구성된다.