문맥 (context)
[청구항1]
기판이 안착된 서셉터
상기 서셉터 와 대향 배치된 캐소드
상기 캐소드 상에 부착된 타켓
상기 캐소드를 지지하는 지지대; 및
상기 서셉터, 캐소드 및 지지대에 의해 플라즈마 형성 공간이 결정되고, 상기 플라즈마 형성 공간에 직접 가스가 분사되도록 상기 지지대에 연결된 분사 노즐
을 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 지지대는,상기 가스가 상기 지지대의 내부로 흐르도록 형성된 관통 유로; 및상기 관통 유로에서 분기된적어도하나이상의관통홀포함하는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 지지대는 상기 캐소드의 테두리를 따라 형성되고, 상기 관통 유로는 상기 테두리를 따라 형성된상기지지대내부형성되는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 지지대가 4각의 변을 갖는 경우, 상기 각 변의 관통 유로로부터적어도하나이상의관통홀형성되는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항5]
제2항에 있어서,상기 관통홀에 의해상기관통유로와상기플라즈마형성공간연결되는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항6]
제2항에 있어서,상기 관통홀은 입구와 출구가 동일한직경형성되는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항7]
제2항에 있어서,상기 관통홀은 입구의 직경보다출구의직경형성되는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스퍼터링 장치에서 지지대의 내부 구조는 어떠하며, 가스가 플라즈마 형성 공간으로 전달되는 경로는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation지지대의 내부 구조와 가스 전달 경로를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction지지대는 관통 유로와 관통홀을 포함하며, 관통 유로에서 관통홀이 분기된다.
- 상기 지지대는,상기 가스가 상기 지지대의 내부로 흐르도록 형성된 관통 유로; 및상기 관통 유로에서 분기된적어도하나이상의관통홀포함하는것을특징으로 하는스퍼터링 장치
-
3근거 선택
evidence_selection가스 전달 경로를 설명하는 관통홀의 역할을 선택한다.
- 상기 관통홀에 의해상기관통유로와상기플라즈마형성공간연결되는것을특징으로 하는스퍼터링 장치
-
4논리 통합
logical_integration가스는 지지대 내부의 관통 유로를 통해 흐르고, 분기된 관통홀을 통해 플라즈마 형성 공간으로 연결된다.
- 상기 가스가 상기 지지대의 내부로 흐르도록 형성된 관통 유로
- 상기 관통 유로에서 분기된적어도하나이상의관통홀
- 상기 관통홀에 의해상기관통유로와상기플라즈마형성공간연결
-
5결론 도출
conclusion_formulation지지대는 관통 유로와 관통홀로 구성되며, 가스는 유로에서 분기된 홀을 통해 공간으로 전달된다.
- 상기 지지대는,상기 가스가 상기 지지대의 내부로 흐르도록 형성된 관통 유로; 및상기 관통 유로에서 분기된적어도하나이상의관통홀포함
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 지지대는,상기 가스가 상기 지지대의 내부로 흐르도록 형성된 관통 유로; 및상기 관통 유로에서 분기된적어도하나이상의관통홀포함하는것을특징으로 하는스퍼터링 장치
- 상기 관통홀에 의해상기관통유로와상기플라즈마형성공간연결되는것을특징으로 하는스퍼터링 장치
- 상기 가스가 상기 지지대의 내부로 흐르도록 형성된 관통 유로
- 상기 관통 유로에서 분기된적어도하나이상의관통홀
- 상기 관통홀에 의해상기관통유로와상기플라즈마형성공간연결
- 상기 지지대는,상기 가스가 상기 지지대의 내부로 흐르도록 형성된 관통 유로; 및상기 관통 유로에서 분기된적어도하나이상의관통홀포함
최종 답변 (final_answer)
지지대는 가스가 내부로 흐를 수 있도록 형성된 관통 유로와, 해당 관통 유로에서 분기된 적어도 하나의 관통홀을 포함하는 구조를 가진다. 가스는 지지대 내부의 관통 유로를 통해 흐르다가, 분기된 관통홀을 거쳐 플라즈마 형성 공간으로 연결되어 전달된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
지지대는 관통 유로와 관통홀로 구성되며, 관통홀은 유로와 플라즈마 형성 공간을 연결하는 통로 역할을 한다.