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LCD 스퍼터링 공정수행을 위한 서셉터 고정용 절연클램프

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출원번호
1020120002173
출원연도
2012
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 절연클램프에는 서셉터와 기판유지 플레이트 간의 고정 홀딩력 증대를 위해 보강홀더가 더 결합되는 것을 특징으로 하는 lcd 스퍼터링 공정수행위한서셉터 고정용 절연클램프. 제 1항에 있어서,상기 절연클램프는 'ㄷ' 형상의 상부판, 하부판 및 연결판으로 이루어지되, 상기 상, 하부판은 연결판에서 연장되되 내측으로 일정각도 내입되도록 연결판으로부터 절곡형성되는 내입부와, 상기 내입부에서 연장되며 서셉터와 평행하도록 평행면을 형성하는 중앙부와, 상기 중앙부에서 연장되며 일정각도 외측으로 절곡형성되는 단면부로 구성되는 것을 특징으로 하는 lcd 스퍼터링 공정수행위한서셉터 고정용 절연클램프. [청구항3] 제 2항에 있어서,상기 중앙부에는 서셉터의 상부면 또는 기판유지 플레이트의 저면부에 절연상태로 밀착되도록 절연재질의 절연볼트와 결합하기 위한 관통홀이 형성되어 이에 결합된 절연볼트가 서셉터의 상부면 또는 기판유지 플레이트의 저면부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 lcd 스퍼터링 공정수행위한서셉터 고정용 절연클램프. 제 2항에 있어서,상기 보강홀더는 상기 절연클램프 상, 하부판의 내입부에 길이방향을 따라 하부측으로 함몰 형성되는 안착침몰로 상에 'ㄷ'형상으로 형성되어 끼움결합되는 보강봉과, 상기 보강봉의 양단을 관통수용하도록 한 쌍의 관통홀이 형성되는 판상의 결합판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 lcd 스퍼터링 공정수행위한서셉터 고정용 절연클램프. [청구항4] 제 3항에 있어서,상기 절연클램프에는 서셉터와 기판유지 플레이트 간의 고정 홀딩력 증대를 위해 보강홀더가 더 결합되는 것을 특징으로 하는 lcd 스퍼터링 공정수행위한서셉터 고정용 절연클램프. [청구항5] 제 4항에 있어서,상기 보강홀더는 상기 절연클램프 상, 하부판의 내입부에 길이방향을 따라 하부측으로 함몰 형성되는 안착침몰로 상에 'ㄷ'형상으로 형성되어 끼움결합되는 보강봉과, 상기 보강봉의 양단을 관통수용하도록 한 쌍의 관통홀이 형성되는 판상의 결합판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 lcd 스퍼터링 공정수행위한서셉터 고정용 절연클램프.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
절연클램프에 결합되는 보강홀더의 세부 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    보강홀더를 구성하는 구체적인 요소들을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항에서 보강홀더의 구성을 설명하는 문구를 추출한다.

    • 상기 보강홀더는 상기 절연클램프 상, 하부판의 내입부에 길이방향을 따라 하부측으로 함몰 형성되는 안착침몰로 상에 'ㄷ'형상으로 형성되어 끼움결합되는 보강봉과, 상기 보강봉의 양단을 관통수용하도록 한 쌍의 관통홀이 형성되는 판상의 결합판으로 이루어지는 것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    보강홀더의 구성 요소인 보강봉과 결합판에 관한 내용을 선택한다.

    • 보강봉
    • 결합판
  4. 4논리 통합logical_integration

    보강홀더는 보강봉과 결합판이라는 두 가지 주요 구성 요소로 이루어져 있음을 확인한다.

    • 보강봉과, 상기 보강봉의 양단을 관통수용하도록 한 쌍의 관통홀이 형성되는 판상의 결합판으로 이루어지는 것
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    보강홀더는 'ㄷ'형상의 보강봉과 판상의 결합판으로 구성된다는 결론을 도출한다.

    • 보강봉
    • 결합판
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 구성 요소를 정리하여 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 보강홀더는 상기 절연클램프 상, 하부판의 내입부에 길이방향을 따라 하부측으로 함몰 형성되는 안착침몰로 상에 'ㄷ'형상으로 형성되어 끼움결합되는 보강봉과, 상기 보강봉의 양단을 관통수용하도록 한 쌍의 관통홀이 형성되는 판상의 결합판으로 이루어지는 것
  • 보강봉
  • 결합판
  • 보강봉과, 상기 보강봉의 양단을 관통수용하도록 한 쌍의 관통홀이 형성되는 판상의 결합판으로 이루어지는 것
최종 답변 (final_answer)
보강홀더는 다음과 같은 구성으로 이루어진다. 1. 보강봉: 상기 절연클램프 상, 하부판의 내입부에 길이방향을 따라 하부측으로 함몰 형성되는 안착침몰로 상에 'ㄷ'형상으로 형성되어 끼움결합됨. 2. 결합판: 판상 형태이며, 상기 보강봉의 양단을 관통수용하도록 한 쌍의 관통홀이 형성됨.
핵심 해석 (core_interpretation)
보강홀더는 'ㄷ'형상의 보강봉과 이를 관통수용하는 관통홀이 형성된 판상의 결합판으로 구성된다.