균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와유도가열방식에 의해 서셉터 상부의 온도를 균일하게가열하는 수직형 화학기상증착 반응기

[청구항2] 청구항 1 에 있어서,상기 유도코일지지대의 상부에 구비된 유도코일은,높이조절나사를 정·역회전시킴에 따라 상기 나사부가 형성된 유도코일지지대가 나사공을 따라 상하로 승하강 작동하면서 유도코일과 서셉터와의 간격을 조절하고, 좁은간격의 높이조절나사를 위치하기 위하여 높이를 달리하여 위치시킴을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. 청구항 1 에 있어서,상기 유도코일지지대의 상부에 구비된 유도코일은,높이조절나사를 정·역회전시킴에 따라 상기 나사부가 형성된 유도코일지지대가 나사공을 따라 상하로 승하강 작동하면서 유도코일과 서셉터와의 간격을 조절하고, 좁은간격의 높이조절나사를 위치하기 위하여 높이를 달리하여 위치시킴을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. [청구항3] 청구항 1 에 있어서,상기 유도코일은 서셉터의 전체를 가열하게 접시형으로 구비함은 물론 중심부는 전기장을 강하게 하기 위해 나선형으로 구비됨을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. 청구항 1 에 있어서,상기 유도코일은 서셉터의 전체를 가열하게 접시형으로 구비함은 물론 중심부는 전기장을 강하게 하기 위해 나선형으로 구비됨을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. [청구항4] 청구항 1 에 있어서,셉터의 중심부 두께를 두껍게 하여 발열량을 높이도록 하는 동시에 서셉터의 외측의 두께를 내측의 두께 보다 두껍게 하여 전류밀도를 낮도록 함을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. 청구항 1 에 있어서,셉터의 중심부 두께를 두껍게 하여 발열량을 높이도록 하는 동시에 서셉터의 외측의 두께를 내측의 두께 보다 두껍게 하여 전류밀도를 낮도록 함을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. [청구항5] 청구항 1 에 있어서,상기 샤워헤드의 균일한 가스 공급을 위하여 하나의 가스 공급핀에 다수의 가스 분출구멍을 구비하여 가스 공급핀의 개수를 줄이고, 제2가스실의 압력차를 줄이기 위하여 가스 공급핀 좌우에 홈을 제작하여 균일하게 가스를 분출할 수 있도록 함을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. 청구항 1 에 있어서,상기 샤워헤드의 균일한 가스 공급을 위하여 하나의 가스 공급핀에 다수의 가스 분출구멍을 구비하여 가스 공급핀의 개수를 줄이고, 제2가스실의 압력차를 줄이기 위하여 가스 공급핀 좌우에 홈을 제작하여 균일하게 가스를 분출할 수 있도록 함을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. [청구항6] 청구항 1 에 있어서,상기 헤드의 하부에 요철을 만들어 챔버 내부로 유입되는 퍼지가스(purge gas)가 샤워헤드에서 분출되는 가스의 흐름을 방해하지 않게 하고, 샤워헤드에서 분출된 가스가 서셉터로 방향성을 가질수 있도록 구비함을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기. 청구항 1 에 있어서,상기 헤드의 하부에 요철을 만들어 챔버 내부로 유입되는 퍼지가스(purge gas)가 샤워헤드에서 분출되는 가스의 흐름을 방해하지 않게 하고, 샤워헤드에서 분출된 가스가 서셉터로 방향성을 가질수 있도록 구비함을 특징으로 하는 균일하게 가스분사가 이루어지는 샤워헤드와 유도가열방식에 의해 서셉터상부의온도균일하게가열하는수직형 화학기상증착 반응기.