문맥 (context)
[청구항1]
내부면에 다수의 방착판이 분리 가능한 상태로 장착되는 챔버, 챔버 내에 위치하며, 인가된 전원에 의하여 가열되어 그 내부에 수용된 증착 재료로 열을 전달하는 증발원을 포함하여, 증발원 내에서 생성된 증착 재료의 증기를 기판 표면으로 유동시켜 기판 표면에 증착 재료의 증착층을 형성하는 진공 증착 장치에 있어서,
상기 각 방착판에는 다수의 자석을 각각 포함하는 다수의 유니트가 각각 구성되며, 상기 챔버는 그 내부 표면에 각 방착판의 각 자석 유니트에 대응하는 위치에 상기 방착판의 자석들과 각각 대응하는 다수의 자석을 포함하는 유니트가 각각 구성되어, 상기 각 방착판을 챔버의 내부 표면에 대응, 접촉시키면, 각 방착판의 각 자석이 상기 챔버에 구성된 각 자석 유니트의 자석과 자력에 의하여 서로 결합되는 진공 증착 장치
[청구항2]
제 1 항에 있어서,방착판의 각 자석 유니트는 방착판 표면에 고정되고, 그 표면에 다수의 상기 자석들이 고정되는 베이스를 더 포함하며, 상기 챔버의 각 자석 유니트는 챔버 표면에 고정된 베이스 및 베이스에 고정되어 그 내부에 자석이 고정된 다수의 프레임을 더 포함하여 상기 방착판의 각 자석이 챔버의 자석 유니트의 프레임 내에 위치한 상태에서 상기 방착판의 자석이 대응하는 자석결합되는진공 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
진공 증착 장치에서 방착판이 챔버의 내부 표면에 접촉될 때, 자력을 통해 결합이 이루어지는 구체적인 구성 요소와 그 결합 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation방착판과 챔버 사이의 자력 결합 메커니즘과 관련 구성 요소를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction방착판의 구성(자석 유니트)과 챔버 내부 표면의 구성(대응하는 자석 유니트)을 추출한다.
- 상기 각 방착판에는 다수의 자석을 각각 포함하는 다수의 유니트가 각각 구성되며
- 상기 챔버는 그 내부 표면에 각 방착판의 각 자석 유니트에 대응하는 위치에 상기 방착판의 자석들과 각각 대응하는 다수의 자석을 포함하는 유니트가 각각 구성되어
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3근거 선택
evidence_selection결합이 일어나는 주체인 방착판의 자석과 챔버의 자석 유니트 관련 문구를 선택한다.
- 상기 각 방착판을 챔버의 내부 표면에 대응, 접촉시키면, 각 방착판의 각 자석이 상기 챔버에 구성된 각 자석 유니트의 자석과 자력에 의하여 서로 결합되는
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4논리 통합
logical_integration방착판의 자석 유니트와 챔버 내부의 대응하는 자석 유니트가 서로 마주 보며 접촉할 때 자력으로 결합됨을 논리적으로 연결한다.
- 각 방착판의 각 자석 유니트에 대응하는 위치에 상기 방착판의 자석들과 각각 대응하는 다수의 자석을 포함하는 유니트가 각각 구성되어
- 각 방착판의 각 자석이 상기 챔버에 구성된 각 자석 유니트의 자석과 자력에 의하여 서로 결합되는
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5결론 도출
conclusion_formulation방착판의 자석 유니트와 챔버 내부 표면의 대응하는 자석 유니트가 자력에 의해 결합된다는 결론을 도출한다.
- 각 방착판의 각 자석이 상기 챔버에 구성된 각 자석 유니트의 자석과 자력에 의하여 서로 결합되는
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 구성 요소와 결합 방식을 정리하여 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 각 방착판에는 다수의 자석을 각각 포함하는 다수의 유니트가 각각 구성되며
- 상기 챔버는 그 내부 표면에 각 방착판의 각 자석 유니트에 대응하는 위치에 상기 방착판의 자석들과 각각 대응하는 다수의 자석을 포함하는 유니트가 각각 구성되어
- 상기 각 방착판을 챔버의 내부 표면에 대응, 접촉시키면, 각 방착판의 각 자석이 상기 챔버에 구성된 각 자석 유니트의 자석과 자력에 의하여 서로 결합되는
- 각 방착판의 각 자석 유니트에 대응하는 위치에 상기 방착판의 자석들과 각각 대응하는 다수의 자석을 포함하는 유니트가 각각 구성되어
- 각 방착판의 각 자석이 상기 챔버에 구성된 각 자석 유니트의 자석과 자력에 의하여 서로 결합되는
최종 답변 (final_answer)
방착판은 다수의 자석을 포함하는 유니트로 구성되며, 챔버의 내부 표면에는 방착판의 자석 유니트 위치에 대응하여 방착판의 자석과 대응하는 다수의 자석을 포함하는 유니트가 구성되어 있다. 따라서 방착판을 챔버 내부 표면에 접촉시키면, 방착판의 각 자석과 챔버에 구성된 각 자석 유니트의 자석이 자력에 의해 서로 결합된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
방착판의 자석 유니트와 챔버 내부 표면의 대응하는 자석 유니트 간의 자력을 이용한 결합 구조