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플라즈마 증착 장비의 구조

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4e9961c1-72f8-57a5-a9b5-68a4cf01a405
출원번호
1020010047751
출원연도
2001
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항1] 플라즈마 증착 장비에 있어서, 플라즈마 증착 반응실 내부는 애노드 및 챔버 역할을 담당하는 dss와, 증착되는 금속막질의 근원이 되는 타겟과 증착 하고자 하는 lcd 기판과, 상기 lcd 기판이 놓이게 되는 서셉터와, lcd 기판의 가장자리 부분에 메탈이 증착 되는 것을 막기 위해 서셉터 양쪽 측면 상단에 설치된 s/f와, 상기 s/f를 지지하기 위하여 s/f 하부에 장착된 소정의 높이를 가진 원통형 모형의 s/f 지지대로 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 증착 장비의 내부 반응실 구조 [청구항2] 제 1 항에 있어서,상기s/f 지지대는 금속막 증착 도중 lcd 기판과 s/f 사이에 정전기를 발생을 방지할 수 있는높이가진것을특징으로 하는플라즈마 증착 장비의 내부 반응실 구조. [청구항3] 제 1 항에 있어서,상기s/f지지대하부의높이이상인것을특징으로 하는플라즈마 증착 장비의 내부 반응실 구조. [청구항4] 제 1 항에 있어서,상기s/f와 증착 하고자 하는 기판이 올려지는서셉터사이의높이이상인것을특징으로 하는플라즈마 증착 장비의 내부 반응실 구조. [청구항5] 제 1 항에 있어서,를 지지해주고 있는 s/f 지지대는 원통형으로 원모형을 가지는상부면의지름이상인것을특징으로 하는플라즈마 증착 장비의 내부 반응실 구조. [청구항6] 제 1 항에 있어서,상기s/f는 금속막 증착 도중 lcd 기판 상에 미끄러지지 않고 s/f 지지대에안정적장착되어있는것을특징으로 하는플라즈마 증착 장비의 내부 반응실 구조. [청구항7] 제 1 항에 있어서,지지대 하부의 높이가 1.7 mm 이하가 되면 새로운 s/f지지대교체하는것을특징으로 하는플라즈마 증착 장비의 내부 반응실 구조.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 증착 장비에서 s/f 지지대의 높이가 갖는 기능적 목적과, 지지대의 높이가 어떠한 기준을 충족해야 하는지 상세히 설명하라.
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    s/f 지지대의 높이와 관련된 기능적 목적 및 높이 조건에 대해 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 2, 3, 4, 5, 7에서 지지대의 높이와 관련된 정보를 추출한다.

    • s/f 지지대는 금속막 증착 도중 lcd 기판과 s/f 사이에 정전기를 발생을 방지할 수 있는높이가진것
    • s/f지지대하부의높이이상인것
    • s/f와 증착 하고자 하는 기판이 올려지는서셉터사이의높이이상인것
    • s/f 지지대는 원통형으로 원모형을 가지는상부면의지름이상인것
    • 지지대 하부의 높이가 1.7 mm 이하가 되면 새로운 s/f지지대교체
  3. 3근거 선택evidence_selection

    목적에 해당하는 문구와 높이 조건에 해당하는 문구를 선별한다.

    • 정전기를 발생을 방지할 수 있는높이가진것
    • s/f와 증착 하고자 하는 기판이 올려지는서셉터사이의높이이상인것
    • 지지대 하부의 높이가 1.7 mm 이하가 되면 새로운 s/f지지대교체
  4. 4논리 통합logical_integration

    지지대의 높이는 정전기 방지를 목적으로 하며, 서셉터와 s/f 사이의 높이 이상이어야 하고, 1.7mm 이하일 경우 교체해야 한다는 논리를 구성한다.

    • 정전기를 발생을 방지할 수 있는높이가진것
    • s/f와 증착 하고자 하는 기판이 올려지는서셉터사이의높이이상인것
    • 지지대 하부의 높이가 1.7 mm 이하가 되면 새로운 s/f지지대교체
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    지지대의 높이는 정전기 발생 방지를 위해 서셉터와 s/f 사이의 높이 이상을 유지해야 하며, 1.7mm 이하 시 교체가 필요하다는 결론을 도출한다.

    • 정전기를 발생을 방지할 수 있는높이가진것
    • s/f와 증착 하고자 하는 기판이 올려지는서셉터사이의높이이상인것
    • 지지대 하부의 높이가 1.7 mm 이하가 되면 새로운 s/f지지대교체
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.

    • 정전기를 발생을 방지할 수 있는높이가진것
    • s/f와 증착 하고자 하는 기판이 올려지는서셉터사이의높이이상인것
    • 지지대 하부의 높이가 1.7 mm 이하가 되면 새로운 s/f지지대교체
근거 (evidence)
  • s/f 지지대는 금속막 증착 도중 lcd 기판과 s/f 사이에 정전기를 발생을 방지할 수 있는높이가진것
  • s/f지지대하부의높이이상인것
  • s/f와 증착 하고자 하는 기판이 올려지는서셉터사이의높이이상인것
  • s/f 지지대는 원통형으로 원모형을 가지는상부면의지름이상인것
  • 지지대 하부의 높이가 1.7 mm 이하가 되면 새로운 s/f지지대교체
  • 정전기를 발생을 방지할 수 있는높이가진것
최종 답변 (final_answer)
s/f 지지대의 높이는 금속막 증착 과정에서 lcd 기판과 s/f 사이에 정전기가 발생하는 것을 방지하는 목적을 가진다. 이를 위한 높이 조건은 s/f와 증착하고자 하는 기판이 놓이는 서셉터 사이의 높이 이상이어야 하며, 지지대 하부의 높이가 1.7 mm 이하가 될 경우에는 새로운 s/f 지지대로 교체해야 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
s/f 지지대의 높이는 정전기 방지라는 기능적 목적을 수행하기 위해 특정 임계값(서셉터-s/f 사이 높이) 이상을 유지해야 하며, 마모 등으로 인해 1.7mm 이하가 되면 교체 대상이 된다.