물체표면의 윤곽 정보 결정 장치 및 방법

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 광 차폐체내의 구멍이 반사된 광 에너지가 통과하는 유일한 구멍이며 상기 상위치 출력이표면높이표시하는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,위치 저장 회로가 위치 래치 회로이며, 그 위치 입력이상기주사구동신호인것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 보조 시스템이 상기 광빔의 각 주사때마다 상기 감지기 출력의 피이크치를 검출하여 상기 저장입력에 대한 피이크 검출 신호를 출력하는 피이크검출기갖는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기 위치 저장회로가 상기 광빔의 각 주사때마다 한개의상위치출력내보내는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 표면에 y방향으로 상기 광빔을 주사하는데 사용되는 y방향주사기구비하는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 구멍이 반사 광 에너지를 통과시키는 상기 차폐체에 있는 유일한 구멍이며 상기 상 위치 출력은표면높이표시하는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,방향 주사체는 표면에 비추어지는상기 광빔의 반사광 에너지에 바탕을 두고 상기 광선의 y-방향 변화와 무관한 반 주사 광 출력을 보내는데 사용되는주사반주사수단인것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 구멍의 지름이500미크론구멍인것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 10] 제 8 항에 있어서,상기 감지기가 반사 광에너지를 감지하는데 사용되는 유일한감지기인것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 상 위치 출력이 주사 구동 신호 기준점 중 하나와 상기 구멍을 통과한 상기 광빔상의 출현과의 사이에 있는시간간격대응하는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 13] 제 11 항에 있어서,상기 보조 시스템은 상기 광빔의 각 주사때마다 한개의상위치출력내보내는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 14] 제 11 항에 있어서,상기 위치 저장 회로의 상기 위치 입력은 상기 주사 구동신호인것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 15] 제 11 항에 있어서,상기 보조 시스템이 상기 광빔의 각 주사때마다 상기 감지기 출력의 피이크치를 검출하여 상기 저장 입력에 대해 피이크 검출 신호를 출력하는데 사용하는 피이크검출기갖는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 위치 저장 회로는 위치 래치 회로이며 그것의 위치 입력은상기주사구동신호인것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 17] 제 11 항에 있어서,방향으로 상기 표면에 상기 광빔을 주사하는데 사용하는 y-방향주사기구비하는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기y-방향 주사기가 표면에서 반사된 상기 광빔의 광 에너지에 따라 반 주사되는 광 출력을 내보내며 y-방향에 무관한주사반주사수단인것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일러. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 광빔의 y-방향 변화에 무관한 반 주사광 출력을 제공하기 위해 상기 표면에 상기 광빔의 반사된 광 에너지를 반대로 주사하는단계구비하는것을특징으로 하는스위프 구멍 비점 프로파일 결정 방법.