문맥 (context)
[청구항1]
기판 표면으로의 증착막 형성 공정이 진행되는 챔버 및 내부에 다수의 증착원들이 위치한 리볼버를 포함하는 증착 장치에 있어서,
리볼버의 외측에 수평 이동 가능하게 설치된 본체
본체에 설치되어 수직 왕복 이동 및 자전 운동하는 아암을 포함하는 증착 재료 응고물 제거 수단을 더 포함하는 증착 장치
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 증착 장치는리볼버의 상부에 설치되며 표면에 형성되는 증착막의 질량 변화에 따라 변화되는 진동 주파수 정보를 생성하는 센서; 및 센서로부터 전송된 신호에 따라 본체 및 아암의 이동을 제어하는 제어부더 포함하는증착 장치.
[청구항3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 아암은,본체에 수직 상태로 설치되고 구동부에 의하여 자전 및 수직 왕복 운동하는 수직 아암; 및 수직 아암에 고정되며, 선단에는 팁이 장착된 수평아암으로 이루어진증착 장치.
[청구항4]
제 3 항에 있어서,팁은 수평 아암의 선단에 고정되는 고정부 및 하단의 경사부로 이루어지며, 경사부에는 발열 수단구비되어 있는증착 장치.
[청구항5]
제 1 항에 있어서,상기 본체는 서로 이격된 상태로 설치된 2개의 리볼버 사이를 왕복 이동하며, 아암이 선택된 리볼버 내의 증착원 개구삽입되는증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증착 재료 응고물 제거 수단은 어떠한 구성요소로 이루어져 있으며, 각 구성요소는 어떠한 운동을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation증착 재료 응고물 제거 수단의 구성요소와 각 구성요소의 운동 특성을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 증착 재료 응고물 제거 수단의 구성과 운동에 관한 정보를 추출한다.
- 증착 재료 응고물 제거 수단을 더 포함하는 증착 장치
- 리볼버의 외측에 수평 이동 가능하게 설치된 본체
- 본체에 설치되어 수직 왕복 이동 및 자전 운동하는 아암
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3근거 선택
evidence_selection제거 수단을 구성하는 '본체'와 '아암'에 대한 설명 및 각각의 운동 방식을 나타내는 문구를 선택한다.
- 본체에 설치되어 수직 왕복 이동 및 자전 운동하는 아암
- 리볼버의 외측에 수평 이동 가능하게 설치된 본체
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4논리 통합
logical_integration제거 수단은 본체와 아암으로 구성되며, 본체는 리볼버 외측에서 수평 이동하고, 아암은 본체에 설치되어 수직 왕복 및 자전 운동을 한다는 관계를 정리한다.
- 리볼버의 외측에 수평 이동 가능하게 설치된 본체
- 본체에 설치되어 수직 왕복 이동 및 자전 운동하는 아암
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5결론 도출
conclusion_formulation증착 재료 응고물 제거 수단은 본체와 아암으로 구성되며, 본체는 수평 이동을 하고 아암은 수직 왕복 및 자전 운동을 수행한다.
- 리볼버의 외측에 수평 이동 가능하게 설치된 본체
- 본체에 설치되어 수직 왕복 이동 및 자전 운동하는 아암
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 구성요소와 운동 방식을 명확히 기술하여 답변을 생성한다.
- 리볼버의 외측에 수평 이동 가능하게 설치된 본체
- 본체에 설치되어 수직 왕복 이동 및 자전 운동하는 아암
근거 (evidence)
- 증착 재료 응고물 제거 수단을 더 포함하는 증착 장치
- 리볼버의 외측에 수평 이동 가능하게 설치된 본체
- 본체에 설치되어 수직 왕복 이동 및 자전 운동하는 아암
최종 답변 (final_answer)
증착 재료 응고물 제거 수단은 본체와 아암으로 구성된다. 본체는 리볼버의 외측에 수평 이동 가능하게 설치되며, 아암은 본체에 설치되어 수직 왕복 이동 및 자전 운동을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
증착 재료 응고물 제거 수단은 수평 이동하는 본체와, 본체에 설치되어 수직 왕복 및 자전 운동을 하는 아암의 결합체이다.