문맥 (context)
[청구항 32]
제 31 항에 있어서,상기 센서는 감광재료의 도포 불균일, 현상 불균일 및 노광장치의 결상측성 중 적어도 하나계측하는,리소그래피 시스템.
[청구항 33]
제 32 항에 있어서,상기 판정계는 상기 하나의 특성을 예정된 특성비교하는,리소그래피 시스템.
[청구항 34]
제 33 항에 있어서,상기 노광장치가 평가용 패턴의 이미지를 기판 상에 투영하는 투영계와 투영계에 의해 조명된 평가용 패턴의 조명시야를 제한하는 시야조리개를 구비하고,상기 제어계는 판정된 특성에 따라 상기 시야조리개제어하는,리소그래피 시스템.
[청구항 35]
제 31 항에 있어서,상기 센서가 노광장치설치되어 있는,리소그래피 시스템.
[청구항 36]
제 31 항에 있어서,상기 기판을 반송하는 반송계더 포함하는,리소그래피 시스템.
[청구항 37]
제 31 항에 있어서,상기 평가용 패턴이 감광재료의 도포 불균일, 현상 불균일 및 상기 노광장치의 결상특성을 각각 계측하기 위한 패턴포함하는,리소그래피 시스템.
[청구항 39]
제 38 항에 있어서,상기 조명계로부터의 조명광을 기판에 투영하는 투영계를 더 포함하고, 상기 판정계는 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서 중 적어도 일방을 이용하여 투영계의 결성특성평가하는,노광장치.
[청구항 40]
제 38 항에 있어서,상기 물리량이 감광재료의 두께이며, 상기 감광재료의 상태가 감광재료의 도포 불균일 및 현상 불균일포함하는,노광장치.
[청구항 41]
제 39 항에 있어서,상기 가변시야조리개를 제어하는 제어계를 더 구비하고, 상기 제어계는 기판 상의 감광재료의 상태가 평가될 때, 상기 가변시야조리개를 투영계의 결상특성이 관측될 때제어하는,노광장치.
[청구항 42]
제 39 항에 있어서,상기 제 2 센서는 투영계로부터의 조명광에 대한기판의얼라인먼트실행하는데이용되는,노광장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
리소그래피 시스템에서 판정계가 특성을 비교할 때, 센서가 계측할 수 있는 항목들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리소그래피 시스템의 센서가 계측할 수 있는 항목이 무엇인지 청구항 문맥에서 찾아 목록 형태로 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 32에서 센서가 계측하는 항목들에 대한 구체적인 명칭을 확인한다.
- 상기 센서는 감광재료의 도포 불균일, 현상 불균일 및 노광장치의 결상측성 중 적어도 하나계측하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 센서의 계측 항목인 '감광재료의 도포 불균일', '현상 불균일', '노광장치의 결상측성'을 선택한다.
- 감광재료의 도포 불균일, 현상 불균일 및 노광장치의 결상측성
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4논리 통합
logical_integration추출된 세 가지 항목을 질문의 요구사항인 리스트 형식으로 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation센서가 계측할 수 있는 항목은 감광재료의 도포 불균일, 현상 불균일, 노광장치의 결상측성임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 리스트 형식으로 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 센서는 감광재료의 도포 불균일, 현상 불균일 및 노광장치의 결상측성 중 적어도 하나계측하는
- 감광재료의 도포 불균일, 현상 불균일 및 노광장치의 결상측성
최종 답변 (final_answer)
감광재료의 도포 불균일, 현상 불균일, 노광장치의 결상측성
핵심 해석 (core_interpretation)
리소그래피 시스템 내 센서를 통해 감광재료의 상태(도포 및 현상 불균일)와 노광장치의 광학적 특성(결상측성)을 계측하여 시스템의 상태를 평가하는 기술에 관한 것이다.