문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼가 적재된 카세트가 삽입되는 클린배스 본체
상기 본체로 초순수를 공급하는 초순수공급탱크
상기 본체와 상기 초순수공급탱크를 연결하는 초순수라인; 및
상기 초순수라인상에 설치되어 상기 초순수라인을 통과하는 초순수를 순간적으로 가열하는 가열유닛
을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체용 세정설비
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 초순수라인은 초순수가 상기 가열유닛을 통과한 후, 상기 본체의 일측에 연결되어 상기 본체에 초순수공급탱크로부터 초순수를 공급하는 제1초순수라인;상기 본체의 하부에 연결되되 제1분사노즐을 통해 상기 본체의 하부에 초순수를 분사시키는 제2초순수라인; 및상기 본체의 상부에 설치되되 다수개의 제2분사노즐이 설치된 샤워라인과 연결되는제3초순수라인분기되는것을특징으로 하는반도체용 세정설비.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 가열유닛은 소정의 공간을 가지며 그 내부로 상기 초순수라인이 통과하는 하우징;상기 하우징의 내부에 설치되어 고주파를 발생시키는 마그네트론;상기 하우징을 통과하는 초순수라인의 출구측에 설치된 온도감지유닛; 및상기 온도감지유닛에서 감지된 초순수의 온도를 전송받아 상기 마그네트론의 고주파 발생을 조절하는제어유닛구성되는것을특징으로 하는반도체용 세정설비.
[청구항 4]
제 2항에 있어서,상기 하우징 내부를 관통하는 상기 초순수라인은 다수의 u자형을 이루도록 굴절부갖는것을특징으로 하는반도체용 세정설비.
[청구항 5]
제 3항에 있어서,상기 하우징의 내부에는 초순수리크감지유닛이추가구성된것을특징으로 하는반도체용 세정설비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체용 세정설비에서 가열유닛의 온도를 조절하기 위해 온도감지유닛이 수행하는 역할과 이를 제어하는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가열유닛의 온도를 조절하기 위한 온도감지유닛의 역할과 이를 제어하는 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 온도감지유닛의 설치 위치와 기능, 그리고 제어 관련 구성요소를 추출한다.
- 상기 온도감지유닛에서 감지된 초순수의 온도를 전송받아 상기 마그네트론의 고주파 발생을 조절하는제어유닛
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3근거 선택
evidence_selection온도감지유닛의 역할(온도 감지 및 전송)과 제어 구성요소(제어유닛)를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 온도감지유닛에서 감지된 초순수의 온도를 전송받아 상기 마그네트론의 고주파 발생을 조절하는제어유닛
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4논리 통합
logical_integration온도감지유닛은 초순수의 온도를 감지하여 전송하는 역할을 하며, 제어유닛이 이 정보를 받아 마그네트론의 고주파 발생을 조절함으로써 온도를 제어함을 파악한다.
- 상기 온도감지유닛에서 감지된 초순수의 온도를 전송받아 상기 마그네트론의 고주파 발생을 조절하는제어유닛
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5결론 도출
conclusion_formulation온도감지유닛의 역할은 초순수의 온도를 감지하여 전송하는 것이며, 이를 제어하는 구성요소는 제어유닛이다.
- 상기 온도감지유닛에서 감지된 초순수의 온도를 전송받아 상기 마그네트론의 고주파 발생을 조절하는제어유닛
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 온도감지유닛에서 감지된 초순수의 온도를 전송받아 상기 마그네트론의 고주파 발생을 조절하는제어유닛
근거 (evidence)
- 상기 온도감지유닛에서 감지된 초순수의 온도를 전송받아 상기 마그네트론의 고주파 발생을 조절하는제어유닛
최종 답변 (final_answer)
온도감지유닛은 초순수의 온도를 감지하여 전송하는 역할을 수행하며, 이를 제어하는 구성요소는 제어유닛이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 온도감지유닛이 감지한 초순수 온도를 제어유닛으로 전달하고, 제어유닛이 마그네트론의 고주파 발생량을 조절함으로써 가열유닛의 온도를 정밀하게 제어하는 기술을 포함한다.