단일 칩 ＦＢＡＲ 듀플렉서

[청구항 1] 안테나단과 송/수신단 사이에 구비되어 송신신호와 수신신호를 분리하는 fbar 듀플렉서에 있어서, 상기 안테나단과 송신단 사이에 직렬로 연결되는 다수의 시리즈 공진기와, 상기 다수의 시리즈 공진기의 임의 포인트에 각각 일단이 연결되는 다수의 션트 공진기와, 상기 다수의 션트 공진기를 소정의 인덕턴스를 통해 접지에 공통연결하여 고주파측 저지대역에 영점을 형성하는 인덕턴스 접지부로 구성되어 송신단으로부터 입력된 송신신호를 필터링하여 안테나단으로 전달하는 송신단 필터 상기 안테나단과 수신단 사이에 직렬로 연결되는 하나 이상의 시리즈 공진기와, 상기 시리즈 공진기와 접지사이에 구비되는 하나 이상의 션트 공진기로 이루어져 안테나단으로 부터 인가된 수신신호를 필터링하여 수신단으로 전달하는 수신단 필터; 및 상기 수신단 필터와 안테나단 사이에 구비되어 송신신호의 수신단 필터로의 유입을 저지하는 위상 변조기를 포함하고, 상기 송신단 필터와 수신단 필터에 구비된 다수의 공진기가 동일 웨이퍼상에 거의 유사한 두께조합으로 형성되는 것을 특징으로 하는 단일칩 fbar 듀플렉서 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 송신단 필터와 수신단 필터의 요구 대역폭은 각각에 구비된시리즈공진기와션트공진기간의공진주파수차이구현하는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 송신단 필터와 수신단 필터에 구비된 공진기는 동일 웨이퍼 상에 동일한 두께비로 하부전극/압전층/상부전극을 형성한 후, 상부전극의 두께를 건식식각에 의하여 조절함구현되는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 인덕턴스 접지부는 대략 1nh이하의인덕턴스갖는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 인덕턴스 접지부는 칩상에 형성된민더라인혹은나선형의도전성패턴구현되는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 인덕턴스 접지부는 패키지 혹은 기판 상에 이루어진도전성의임베드패턴구현되는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 인덕턴스 접지부는 다수 션트 공진기의 공통 단자와 기판의 접지단을 연결하는본딩와이어구현되는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 인덕턴스 접지부는 기판에 장착되는럼프소자구현되는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 송신단 필터는 안테나단과 송신단 사이에 직렬로 연결된 제1 내지 제4의 시리즈 공진기와, 상기 제1 내지 제2의 시리즈 공진기중 두 개의 시리즈 공진기가 연결된 접점에 각각 일단이 연결되고 타단은 서로 공통으로 연결된 제1 내지 제3의 션트 공진기와, 상기 제1 내지 제3의 션트 공진기의 공통단과 접지를 연결하는인덕턴스접지부구성되는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 송신단 필터는 안테나단과 송신단 사이에 직렬로 연결된 제1 내지 제4의 시리즈 공진기와, 상기 입력단자와 제1의 시리즈 공진기의 접점과, 상기 제2,3시리즈 공진기의 접점과, 제4시리즈공진기와 송신단의 접점에 각각 일단이 연결되고 타단은 상호 연결되는 제1~제3션트 공진기와, 상기 제1~제3션트 공진기의 공통단자를 접지시키는소정인덕턴스의인덕턴스접지부로이루어진것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 송신단 필터는 안테나단과 송신단 사이에 직렬로 연결된 제1 내지 제4의 시리즈 공진기와, 상기 제1,2의 시리즈 공진기의 접점과, 상기 제3,4시리즈 공진기의 접점에 각각 일단이 연결되고 타단은 상호 연결되는 제1,제2 션트 공진기와, 상기 제1,제2 션트 공진기의 공통단자를 접지시키는소정인덕턴스의인덕턴스접지부로이루어진것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 송신단 필터는 안테나단과 송신단 사이에 직렬로 연결된 제1 내지 제5의 시리즈 공진기와, 상기 제1 내지 제5의 시리즈 공진기중 두 개의 시리즈 공진기가 연결된 접점에 각각 일단이 연결되고 타단은 서로 공통으로 연결된 제1 내지 제4의 션트 공진기와, 상기 제1 내지 제4의 션트 공진기의 공통단과 접지를 연결하는인덕턴스접지부구성되는것을특징으로 하는단일칩 fbar 듀플렉서.