문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 관형 부재(11)의 길이를 따라 종방향으로 연장되는 제 3 종방향 브라켓(20c)과, 제 2 스퍼터링 표면(14) 및 제 2 후방 표면(16)을 형성하는 제 2 스퍼터링 물질을 포함하는 제 2 표적(12)을 포함하며, 상기 제 2 후방 표면(16)은 상기 제 2 스퍼터링 표면(14)에 대향하고 상기 관형 부재(11)의 외측 표면(18)과 면하도록 위치하며, 상기 제 2 종방향 브라켓(20b)과 제 3 종방향 브라켓(20c) 사이에 상기 제 2 표적(12)을 탈착가능하게 보지하여, 상기 제 2 표적(12)의 제 2 후방 표면(16)이 상기 관형 부재(11)의외측 표면접합되지않는회전 스퍼터링 캐소드.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 관형 부재(11)의 길이를 따라 종방향으로 연장되는 제 4 종방향 브라켓(20d)과, 제 3 스퍼터링 표면(14) 및 제 3 후방 표면(16)을 형성하는 제 3 반도성 물질을 포함하는 제 3 표적(12)을 포함하며, 상기 제 3 후방 표면(16)은 상기 제 3 스퍼터링 표면(14)에 대향하고 상기 관형 부재(11)의 외측 표면(18)에 면하도록 위치하며, 상기 제 3 종방향 브라켓(20c)과 제 4 종방향 브라켓(20d) 사이에 상기 제 3 표적(12)을 탈착가능하게 보지하여, 상기 제 3 표적(12)의 제 3 후방 표면(16)이 상기 관형 부재(11)의 외측 표면면하는회전 스퍼터링 캐소드.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 외측 표면(18)은 실질적으로 평면형인 표면형성하는회전 스퍼터링 캐소드.
[청구항5]
제 1 항에 있어서,상기 외측 표면(18)은 실질적으로 곡면형인 표면형성하는회전 스퍼터링 캐소드.
[청구항6]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 스퍼터링 표면(14)은 실질적으로 곡면형인 표면형성하는회전 스퍼터링 캐소드.
[청구항7]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 종방향 브라켓(20a) 및 제 2 종방향 브라켓(20b) 모두는 한 쌍의 오버행 플랜지형성하는회전 스퍼터링 캐소드.
[청구항8]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 종방향 브라켓(20a)은 노출된 표면을 형성하고, 상기 노출된 표면은 스퍼터링 물질포함하는회전 스퍼터링 캐소드.
[청구항9]
제 1 항에 있어서,상기 제 1 종방향 브라켓(20a)에 부착되어 스퍼터링 중 노출되는 제 1 브라켓 캡(32)과, 상기 제 2 종방향 브라켓(20b)에 부착되어 스퍼터링 중 노출되는 제 2 브라켓 캡더 포함하는회전 스퍼터링 캐소드.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제 2 표적(12)은 관형 부재(11)의 외측 표면(18)과 어떠한 방식으로 위치하며, 브라켓과는 어떻게 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation청구항 2에서 제 2 표적(12)의 관형 부재(11)와의 위치 관계 및 브라켓과의 결합 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction제 2 표적(12)의 구성 요소인 제 2 후방 표면(16)과 브라켓(20b, 20c) 정보를 추출한다.
- 제 2 표적(12)
- 제 2 후방 표면(16)
- 제 2 종방향 브라켓(20b)
- 제 3 종방향 브라켓(20c)
-
3근거 선택
evidence_selection표면의 위치 관계와 브라켓 사이의 배치 방식을 나타내는 문구를 선택한다.
- 상기 제 2 후방 표면(16)은 상기 제 2 스퍼터링 표면(14)에 대향하고 상기 관형 부재(11)의 외측 표면(18)과 면하도록 위치하며
- 상기 제 2 종방향 브라켓(20b)과 제 3 종방향 브라켓(20c) 사이에 상기 제 2 표적(12)을 탈착가능하게 보지하여
-
4논리 통합
logical_integration제 2 후방 표면이 관형 부재의 외측 표면과 면해 있다는 점과, 브라켓 사이에 탈착 가능하게 배치된다는 점을 결합한다.
- 상기 제 2 후방 표면(16)은 상기 제 2 스퍼터링 표면(14)에 대향하고 상기 관형 부재(11)의 외측 표면(18)과 면하도록 위치하며
- 상기 제 2 종방향 브라켓(20b)과 제 3 종방향 브라켓(20c) 사이에 상기 제 2 표적(12)을 탈착가능하게 보지하여
-
5결론 도출
conclusion_formulation제 2 표적의 후방 표면이 관형 부재의 외측 표면과 면하며, 제 2 및 제 3 종방향 브라켓 사이에 탈착 가능하게 위치함을 도출한다.
- 상기 제 2 후방 표면(16)은 상기 제 2 스퍼터링 표면(14)에 대향하고 상기 관형 부재(11)의 외측 표면(18)과 면하도록 위치하며
- 상기 제 2 종방향 브라켓(20b)과 제 3 종방향 브라켓(20c) 사이에 상기 제 2 표적(12)을 탈착가능하게 보지하여
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 제 2 표적(12)
- 제 2 후방 표면(16)
- 제 2 종방향 브라켓(20b)
- 제 3 종방향 브라켓(20c)
- 상기 제 2 후방 표면(16)은 상기 제 2 스퍼터링 표면(14)에 대향하고 상기 관형 부재(11)의 외측 표면(18)과 면하도록 위치하며
- 상기 제 2 종방향 브라켓(20b)과 제 3 종방향 브라켓(20c) 사이에 상기 제 2 표적(12)을 탈착가능하게 보지하여
최종 답변 (final_answer)
제 2 표적(12)의 제 2 후방 표면(16)은 관형 부재(11)의 외측 표면(18)과 면하도록 위치하며, 제 2 종방향 브라켓(20b)과 제 3 종방향 브라켓(20c) 사이에 탈착가능하게 배치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제 2 표적은 브라켓 사이에 탈착 가능하게 고정되면서, 그 후방 표면이 관형 부재의 외측 표면과 접촉(면함)하는 구조를 가진다.