프리프레그, 수지 기판, 금속 부착 적층판, 프린트 배선 기판, 및 반도체 장치

[청구항2] 청구항 1에 있어서,프리프레그를 230℃, 2시간 가열 처리하여 얻어지는 경화물에 대하여, 30℃부터 260℃까지 10℃/min으로 승온하는 과정과, 260℃에서 1시간 유지하는 과정을 갖는 열기계 분석 측정을 행했을 때에,상기 열기계 분석 측정 전의 상기 경화물의 세로 방향의 길이를 기준 길이 l0으로 하고, 상기 경화물의 상기 기준 길이 l0으로부터의 최대의 열팽창량을 l1로 하며, 상기 경화물을 260℃에서 1시간 유지 했을 때의 상기 기준 길이 l0으로부터의 열팽창량을 l2로 한 경우,100×(l1-l2)/l0으로 나타나는 치수 수축률이하인프리프레그. [청구항3] 청구항 1에 있어서,프리프레그를 230℃, 2시간 가열 처리하여 얻어지는 경화물에 대하여, 30℃부터 300℃까지 10℃/min으로 승온하는 과정과, 300℃부터 30℃까지 10℃/min으로 강온하는 과정을 갖는 압축 모드에서의 면방향의 열기계 분석 측정을 행했을 때,상기 열기계 분석 측정 전의 상기 경화물의 세로 방향의 길이를 기준 길이 l0으로 하고,상기 강온하는 과정에 있어서의 30℃에서의 상기 경화물의 세로 방향의 길이를 l1로 한 경우나타나는치수 변화율이, -0.20% 이상인 프리프레그. [청구항4] 청구항 1에 있어서,상기 경화물에 대하여,승온속도 5℃/min, 주파수 1hz의 조건에서 동적 점탄성 측정을 행했을 때에, 상기 경화물의 유리 전이 온도가, 260℃ 이상인 프리프레그. [청구항5] 청구항 1에 있어서,상기 경화물에 대하여, 동적 점탄성 측정을 행했을 때에, 상기 경화물의 250℃에서의 저장 탄성률 e'250에 대한 30℃에서의 저장 탄성률 e'30의 비(e'30/e'250)가, 1.05 이상75 이하인프리프레그. [청구항6] 청구항 1에 있어서,프리프레그의 두께가, 20μm 이상이하인프리프레그. [청구항7] 청구항 1에 있어서,상기 열경화성 수지 조성물이, 말레이미드 화합물 (a)와, 벤조옥사진 화합물 (b)와, 무기 충전재포함하는프리프레그. [청구항8] 청구항 7에 있어서,상기 말레이미드 화합물(a)가, 하기 식 (1)에 의하여 나타나는 말레이미드 화합물 (a1)을 포함하는 프리프레그.[화학식 1](상기 식 (1)에 있어서, n1은 0 이상 10 이하의 정수이고, x1은 각각 독립적으로 탄소수 1 이상 10 이하의 알킬렌기, 하기 식 (1a)로 나타나는 기, 식 "-so2-"로 나타나는 기, "-co-"로 나타나는 기, 산소 원자 또는 단결합이며, r1은 각각 독립적으로 탄소수 1 이상 6 이하의 탄화 수소기이고, a는 각각 독립적으로 0 이상 4 이하의 정수이며, b는 각각 독립적으로 0 이상 3 이하의 정수이다)[화학식 2](상기 식 (1a)에 있어서, y는 방향족환갖는탄소수 6 이상 30 이하의 탄화 수소기이며, n2는 0 이상의 정수이다) [청구항9] 청구항 7에 있어서,조옥사진 화합물(b)는 하기 식 (2)에 의하여 나타나는 화합물, 하기 식 (3)에 의하여 나타나는 화합물로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상을 포함하는 프리프레그.[화학식 3](상기 식 (2)에 있어서, x2는 각각 독립적으로 탄소수 1 이상 10 이하의 알킬렌기, 상기 식 (1a)로 나타나는 기, 식 "-so2-"로 나타나는 기, "-co-"로 나타나는 기, 산소 원자 또는 단결합이고, r2는 각각 독립적으로 탄소수 1~6의 탄화 수소기이며, c는 각각 독립적으로 0 이상 4 이하의 정수이다)[화학식 4](상기 식 (3)에 있어서, x3은 각각 독립적으로 탄소수 1 이상 10 이하의 알킬렌기, 상기 식 (1a)로 나타나는 기, 식 "-so2-"로 나타나는 기, "-co-"로 나타나는 기, 산소 원자 또는 단결합이고, r3은 각각 독립적탄소수 1~6의 탄화 수소기이며, d는 각각 독립적으로 0 이상 4 이하의 정수이다) [청구항10] 청구항 7에 있어서,상기 무기 충전재(c)가, 탈크, 알루미나, 유리, 실리카, 마이카, 베마이트, 수산화 알루미늄, 및 수산화 마그네슘으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상포함하는프리프레그. [청구항13] 청구항 12에 있어서,금속 부착 적층판을 135℃, 습도 85%rh의 환경하에 100시간 보관했을 때,상기 보관 전의 jis c-6481:1996에 준거하여 측정되는, 상기 프리프레그의 경화물과 상기 금속박 사이의 박리 강도를 p1로 하고,상기 보관 후의 jis c-6481:1996에 준거하여 측정되는, 상기 프리프레그의 경화물과 상기 금속박 사이의 박리 강도를 p2로 했을 때,100×(p1-p2)/p1로 나타나는 박리 강도 변화율이하인금속 부착 적층판.