문맥 (context)
[청구항1]
안착부를 구비하고 히터 코일이 내장된 히터 블록을 포함하는 발열부
상기 발열부의 안착부에 수납되는 것으로, 내부의 증착재가 배출되는 개구부를 갖는 도가니; 및
적어도 상기 발열부를 덮도록 구비되고, 내측에 중공부를 가지며, 상기 중공부가 상기 도가니의 개구부 가장자리에 대응되도록 구비된 오염방지 캡
을 포함하고,
상기 히터 블록의 상단부에는 상기 도가니를 지지하는 지지 플레이트가 구비된 증착 소스 유닛
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 발열부에는 상기 도가니를 지지하는지지플레이트더구비된것을특징으로 하는증착 소스 유닛.
[청구항3]
제 1항에 있어서,상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 오염방지 캡은상기격벽의적어도일단구비된것을특징으로 하는증착 소스 유닛.
제 1항에 있어서,상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 오염방지 캡은상기격벽의적어도일단구비된것을특징으로 하는증착 소스 유닛.
[청구항4]
제 1항에 있어서,상기 도가니는 상기 개구부 외측으로 연장된 플랜지부를 포함하고,상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경일치하는것을특징으로 하는증착 소스 유닛.
제 1항에 있어서,상기 도가니는 상기 개구부 외측으로 연장된 플랜지부를 포함하고,상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경대략일치하는것을특징으로 하는증착 소스 유닛.
[청구항5]
챔버와, 챔버 내에 이송되는 피증착체에 증착재를 증착시키는 증착 소스 유닛을 포함하는 증착장치로서, 상기 증착 소스 유닛은,
안착부를 구비하고 히터 코일이 내장된 히터 블록을 포함하는 발열부
상기 발열부의 안착부에 수납되는 것으로, 내부의 증착재가 배출되는 개구부를 갖는 도가니; 및
적어도 상기 발열부를 덮도록 구비되고, 내측에 중공부를 가지며, 상기 중공부가 상기 도가니의 개구부 가장자리에 대응되도록 구비된 오염방지 캡
을 포함하고,
상기 히터 블록의 상단부에는 상기 도가니를 지지하는 지지 플레이트가 구비된 증착 장치
[청구항6]
제 5항에 있어서,상기 발열부에는 상기 도가니를 지지하는지지플레이트더구비된것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항7]
제 5항에 있어서,상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 플랜지부는상기격벽의적어도일단구비된것을특징으로 하는증착 장치.
제 5항에 있어서,상기 발열부를 둘러싸도록 격벽이 더 구비되고,상기 오염방지 캡은상기격벽의적어도일단구비된것을특징으로 하는증착 장치.
[청구항8]
제 5항에 있어서,상기 도가니는 상기 개구부 외측으로 연장된 플랜지부를 포함하고,상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경대략일치하는것을특징으로 하는증착 장치.
제 5항에 있어서,상기 도가니는 상기 개구부 외측으로 연장된 플랜지부를 포함하고,상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경일치하는것을특징으로 하는증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
도가니의 플랜지부와 오염방지 캡의 중공부는 서로 어떠한 관계를 가지도록 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation도가니의 플랜지부와 오염방지 캡의 중공부 간의 구조적 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction도가니의 구성 요소인 플랜지부와 오염방지 캡의 구성 요소인 중공부에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 도가니는 상기 개구부 외측으로 연장된 플랜지부를 포함
- 내측에 중공부를 가지며
-
3근거 선택
evidence_selection두 구성 요소의 치수적 관계를 명시한 청구항 내용을 선택한다.
- 상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경일치하는것
-
4논리 통합
logical_integration플랜지부의 외경과 중공부의 내경이 일치한다는 점을 통해 두 부품이 결합되거나 대응되는 관계임을 도출한다.
- 상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경일치하는것
-
5결론 도출
conclusion_formulation도가니의 플랜지부 외경과 오염방지 캡 중공부 내경이 일치하도록 구성된다는 결론을 내린다.
- 상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경일치하는것
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경일치하는것
근거 (evidence)
- 상기 도가니는 상기 개구부 외측으로 연장된 플랜지부를 포함
- 내측에 중공부를 가지며
- 상기 오염방지 캡의 중공부 내경과,상기플랜지부의외경일치하는것
최종 답변 (final_answer)
도가니의 개구부 외측으로 연장된 플랜지부의 외경과 오염방지 캡의 내측에 있는 중공부의 내경이 일치하도록 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
도가니의 플랜지부 외경과 오염방지 캡 중공부 내경의 일치를 통한 구조적 대응 관계