문맥 (context)
[청구항17]
제16항에 있어서,상기 주사수단은 레이저빔의 경로가 변동하도록 진동 또는 스윙할 수 있는 거울로 이루어진 거울스캐너이고, 상기 목적물과 충돌하는 레이점빔은 단부부근의 한지점과 반대쪽 단부부근의 다른 지점 사이를 직선으로 횡단하는 것을 특징으로 하는 레이저융삭가공에 의한기판상으로의 막형성장치.
제16항에 있어서,상기 주사수단은 레이저빔의 경로가 변동하도록 진동 또는 스윙할 수 있는 거울로 이루어진 거울스캐너이고, 상기 목적물과 충돌하는 레이저빔은 단부부근의 한지점과 반대쪽 단부부근의 다른 지점사이를 직선으로 횡단하는 것을 특징으로 하는 레이저융삭가공에 의한기판상으로의 막형성장치.
[청구항18]
제16항에 있어서,상기 주사수단은 레이저빔경로가 통상 평행한 경로로 변경되도록 동시 이동할 수 있는 복수의 거울로 이루어진 거울스캐너인 것을 특징으로 하는 레이저융삭가공에 의한기판상으로의 막형성장치.
제16항에 있어서,상기 주사수단은 레이저빔경로가 통상 평행한 경로로 변경되도록 동시 이동할 수 있는 복수의 거울로 이루어진 거울스캐너인 것을 특징으로 하는 레이저융삭가공에 의한기판상으로의 막형성장치.
[청구항19]
제16항에 있어서,상기 주사수단과 상기 입구창 사이에 배치된 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈를 더 구비하고, 상기 렌즈는 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저융삭가공에 의한기판상으로의 막형성장치.
제16항에 있어서,상기 주사수단과 상기 입구창사이에 배치된 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈를 더 구비하고, 상기 렌즈는 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저융삭가공에 의한기판상으로의 막형성장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
레이저융삭가공에 의한 기판상으로의 막형성장치에서 주사수단과 입구창 사이에 배치되는 구성요소는 무엇이며, 해당 구성요소는 레이저빔의 주사에 대해 어떻게 동작하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation주사수단과 입구창 사이에 위치한 구성요소와 그 동작 특성을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 19에서 주사수단과 입구창 사이의 구성요소와 동작 방식을 추출한다.
- 상기 주사수단과 상기 입구창 사이에 배치된 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈를 더 구비하고
- 상기 렌즈는 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 구성요소(렌즈)와 동작 방식(동시 이동)에 해당하는 문구를 선택한다.
- 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈
- 상기 렌즈는 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는
-
4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 구성요소의 명칭과 동작 메커니즘을 연결한다.
- 상기 주사수단과 상기 입구창 사이에 배치된 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈
- 상기 렌즈는 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는
-
5결론 도출
conclusion_formulation구성요소는 렌즈이며, 레이저빔의 주사에 따라 동시 이동한다는 결론을 도출한다.
- 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈
- 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈
- 상기 렌즈는 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는
근거 (evidence)
- 상기 주사수단과 상기 입구창 사이에 배치된 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈를 더 구비하고
- 상기 렌즈는 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는
- 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈
- 상기 주사수단과 상기 입구창 사이에 배치된 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈
- 레이저빔의 주사에 대해 동시 이동할 수 있는
최종 답변 (final_answer)
주사수단과 입구창 사이에는 레이저빔을 포커싱하기 위한 렌즈가 배치되며, 이 렌즈는 레이저빔의 주사에 대하여 동시 이동할 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
청구항 19에 명시된 렌즈의 위치(주사수단과 입구창 사이), 기능(레이저빔 포커싱), 동작 특성(레이저빔 주사 시 동시 이동)을 기술함.