문맥 (context)
[청구항1]
내부에 공정기판을 처리하는 공간을 제공하는 챔버와
상기 챔버 내에서 공정기판을 지지하는 기판지지유닛과; 그리고
상기 공정기판으로 공정가스를 공급하는 가스공급유닛을 포함하되,
상기 기판지지유닛은,
상면에 기판 수용홈이 형성되는 서셉터와
상기 기판 수용홈에 삽입 가능하고, 상면에 상기 공정기판이 놓이는 원형의 안착홈이 형성되는 기판홀더와
상기 공정기판이 놓여진 상태에서 상기 안착홈의 노출 영역을 차단하는 차단판을 포함하는 기판처리장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 차단판은 상기 안착홈에 상기 공정기판이 놓여진 상태에서 상기 안착홈의 노출 영역에 대응되는 형상을 가지고, 상기 노출 영역위치되는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치의 기판지지유닛은 어떠한 구성요소들로 이루어져 있으며, 각 구성요소는 어떠한 구조적 특징을 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판지지유닛의 구성요소와 각 구성요소의 특징을 추출하는 과업을 수행한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 기판지지유닛에 포함된 구성요소들을 식별한다.
- 상면에 기판 수용홈이 형성되는 서셉터
- 기판홀더
- 차단판
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3근거 선택
evidence_selection각 구성요소의 상세 특징이 기술된 문구를 선택한다.
- 상면에 기판 수용홈이 형성되는 서셉터
- 상기 기판 수용홈에 삽입 가능하고, 상면에 상기 공정기판이 놓이는 원형의 안착홈이 형성되는 기판홀더
- 상기 공정기판이 놓여진 상태에서 상기 안착홈의 노출 영역을 차단하는 차단판
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4논리 통합
logical_integration추출된 구성요소와 특징을 결합하여 구조적 관계를 정리한다.
- 기판지지유닛은, 상면에 기판 수용홈이 형성되는 서셉터와 상기 기판 수용홈에 삽입 가능하고, 상면에 상기 공정기판이 놓이는 원형의 안착홈이 형성되는 기판홀더와 상기 공정기판이 놓여진 상태에서 상기 안착홈의 노출 영역을 차단하는 차단판을 포함하는
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5결론 도출
conclusion_formulation기판지지유닛의 구성요소 3가지와 각각의 특징을 정리하여 결론을 도출한다.
- 상면에 기판 수용홈이 형성되는 서셉터
- 상기 기판 수용홈에 삽입 가능하고, 상면에 상기 공정기판이 놓이는 원형의 안착홈이 형성되는 기판홀더
- 상기 공정기판이 놓여진 상태에서 상기 안착홈의 노출 영역을 차단하는 차단판
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상면에 기판 수용홈이 형성되는 서셉터
- 기판홀더
- 차단판
- 상기 기판 수용홈에 삽입 가능하고, 상면에 상기 공정기판이 놓이는 원형의 안착홈이 형성되는 기판홀더
- 상기 공정기판이 놓여진 상태에서 상기 안착홈의 노출 영역을 차단하는 차단판
- 기판지지유닛은, 상면에 기판 수용홈이 형성되는 서셉터와 상기 기판 수용홈에 삽입 가능하고, 상면에 상기 공정기판이 놓이는 원형의 안착홈이 형성되는 기판홀더와 상기 공정기판이 놓여진 상태에서 상기 안착홈의 노출 영역을 차단하는 차단판을 포함하는
최종 답변 (final_answer)
기판지지유닛은 다음과 같은 구성요소로 이루어져 있다.
1. 서셉터: 상면에 기판 수용홈이 형성되어 있다.
2. 기판홀더: 상기 기판 수용홈에 삽입 가능하며, 상면에 공정기판이 놓이는 원형의 안착홈이 형성되어 있다.
3. 차단판: 공정기판이 놓여진 상태에서 안착홈의 노출 영역을 차단한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판지지유닛은 서셉터, 기판홀더, 차단판의 세 가지 구성요소로 구성되며, 각 요소는 기판의 수용, 안착, 그리고 안착홈 노출 영역의 차단이라는 구조적 역할을 수행한다.