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화학기상 증착장치

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561ef36c-3d25-523f-96c5-1df5dd3bf50a
출원번호
1020110002463
출원연도
2011
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 회전부는상기 서셉터를 지지하는 회전축과,상기 회전축의 측방에 배치되는 회전용 회전모터와,상기 회전축과 상기 회전모터를 연결하는회전용벨트포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 회전부는상기 가열기와 별도로 상기 측벽지지판이 회전되도록 상기 가열기와 상기 측벽지지판을 각각 지지하는 회전축과,상기 회전축의 측방에 배치되는 회전용 회전모터와,상기 회전축과 상기 회전모터를 연결하는회전용벨트포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항3] 제 2항에 있어서,상기 승강부는상기 공정챔버의 하부벽에 회전가능하게 지지되는 주동스크류와,상기 주동스크류의 측방에 배치되는 승강용 회전모터와, 상기 주동스크류와 상기 승강용 회전모터를 연결하는 승강용 주동벨트와,상기 공정챔버의 하부벽으로부터 이격되고 중심부에 상기 회전축이 관통되며, 상기 주동스크류에 나사 결합되어 상기 주동스크류가 회전됨에 따라 상기 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 승강판과,상단이 개방되는 용기형상으로 마련되어 상기 승강판에 결합되며, 상기 회전축을 지지하는지지챔버포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 2항에 있어서,상기 승강부는상기 공정챔버의 하부벽에 회전가능하게 지지되는 주동스크류와,상기 주동스크류의 측방에 배치되는 승강용 회전모터와, 상기 주동스크류와 상기 승강용 회전모터를 연결하는 승강용 벨트와,상기 공정챔버의 하부벽으로부터 이격되고 중심부에 상기 회전축이 관통되며, 상기 주동스크류에 나사 결합되어 상기 주동스크류가 회전됨에 따라 상기 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 승강판과,상단이 개구되는 통체로 마련되어 상기 승강판에 결합되며, 상기 회전축을 지지하는지지챔버포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항4] 제 3항에 있어서,상기 공정챔버의 하부벽과 상기 승강판의 사이에 설치되는벨로우즈더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 공정챔버의 하부벽과 상기 승강판의 사이에 설치되는벨로우즈더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항5] 제 3항에 있어서,상기 회전용 회전모터는 상기 지지챔버의 외측에 배치되고, 상기 지지챔버에는 상기 회전용 벨트가 상기 회전축에 체결될 수 있도록 개구되는 관통홀이 형성되며, 상기 관통홀의 둘레를 감싸도록 상기 지지챔버에 결합되고, 상기 회전용 회전모터를 지지하는실링챔버더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 회전용 회전모터는 상기 지지챔버의 외측에 배치되고, 상기 지지챔버에는 상기 회전용 벨트가 상기 회전축에 체결될 수 있도록 개구되는 관통홀이 형성되며, 상기 관통홀의 둘레를 감싸도록 상기 지지챔버에 결합되고, 상기 회전용 회전모터를 지지하는실링챔버더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항6] 제 3항에 있어서,상기 승강부는상기 주동스크류의 말단에 결합되는 주동풀리와,상기 회전축을 기준으로 상기 주동스크류로부터 대칭되는 위치에 설치되는 종동스크류와,상기 종동스크류의 말단에 결합되는 종동풀리와,상기 주동풀리와 상기 종동풀리를 연결하는승강용종동벨트더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 승강부는상기 주동스크류의 말단에 결합되는 주동풀리와,상기 회전축을 기준으로 상기 주동스크류로부터 대칭되는 위치에 설치되는 종동스크류와,상기 종동스크류의 말단에 결합되는 종동풀리와,상기 주동풀리와 상기 종동풀리를 연결하는승강용종동벨트더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항7] 제 6항에 있어서,상기 회전용 벨트,상기승강용주동벨트및상기승강용종동벨트타이밍벨트인것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 6항에 있어서,상기 회전용 벨트,상기승강용주동벨트및상기승강용종동벨트타이밍벨트인것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항8] 제 6항에 있어서,상기 주동풀리와 상기 종동풀리의 사이에 배치되는아이들롤러더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 6항에 있어서,상기 주동풀리와 상기 종동풀리의 사이에 배치되는아이들롤러더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항9] 제 3항에 있어서,상기 승강판의 승강을 가이드하는가이드블록더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 승강판의 승강을 가이드하는가이드블록더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상 증착장치의 승강부는 어떠한 구성요소들로 이루어져 있으며, 주동스크류의 회전이 승강판의 승강으로 이어지는 메커니즘은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    청구항 3을 분석하여 승강부의 구성요소와 동작 원리를 파악해야 한다.

    • 제 3항에 있어서,상기 승강부는
  2. 2정보 추출information_extraction

    승강부의 구성요소인 주동스크류, 승강용 회전모터, 승강용 주동벨트, 승강판, 지지챔버를 추출한다.

    • 주동스크류
    • 승강용 회전모터
    • 승강용 주동벨트
    • 승강판
    • 지지챔버
  3. 3근거 선택evidence_selection

    주동스크류의 회전이 승강판의 움직임으로 변환되는 구체적인 결합 관계를 선택한다.

    • 상기 주동스크류와 상기 승강용 회전모터를 연결하는 승강용 주동벨트
    • 상기 주동스크류에 나사 결합되어 상기 주동스크류가 회전됨에 따라 상기 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 승강판
  4. 4논리 통합logical_integration

    승강용 회전모터가 벨트를 통해 주동스크류를 회전시키고, 나사 결합된 승강판이 회전에 따라 상하로 움직이는 과정을 통합한다.

    • 상기 주동스크류와 상기 승강용 회전모터를 연결하는 승강용 주동벨트
    • 상기 주동스크류에 나사 결합되어 상기 주동스크류가 회전됨에 따라 상기 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 승강판
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    승강부의 구성과 동작 메커니즘을 정리하여 답변을 구성한다.

    • 상기 승강부는상기 공정챔버의 하부벽에 회전가능하게 지지되는 주동스크류와,상기 주동스크류의 측방에 배치되는 승강용 회전모터와, 상기 주동스크류와 상기 승강용 회전모터를 연결하는 승강용 주동벨트와,상기 공정챔버의 하부벽으로부터 이격되고 중심부에 상기 회전축이 관통되며, 상기 주동스크류에 나사 결합되어 상기 주동스크류가 회전됨에 따라 상기 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 승강판과,상단이 개방되는 용기형상으로 마련되어 상기 승강판에 결합되며, 상기 회전축을 지지하는지지챔버포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 승강부는상기 공정챔버의 하부벽에 회전가능하게 지지되는 주동스크류와,상기 주동스크류의 측방에 배치되는 승강용 회전모터와, 상기 주동스크류와 상기 승강용 회전모터를 연결하는 승강용 주동벨트와,상기 공정챔버의 하부벽으로부터 이격되고 중심부에 상기 회전축이 관통되며, 상기 주동스크류에 나사 결합되어 상기 주동스크류가 회전됨에 따라 상기 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 승강판과,상단이 개방되는 용기형상으로 마련되어 상기 승강판에 결합되며, 상기 회전축을 지지하는지지챔버포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
근거 (evidence)
  • 제 3항에 있어서,상기 승강부는
  • 주동스크류
  • 승강용 회전모터
  • 승강용 주동벨트
  • 승강판
  • 지지챔버
  • 상기 주동스크류와 상기 승강용 회전모터를 연결하는 승강용 주동벨트
  • 상기 주동스크류에 나사 결합되어 상기 주동스크류가 회전됨에 따라 상기 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 승강판
  • 상기 승강부는상기 공정챔버의 하부벽에 회전가능하게 지지되는 주동스크류와,상기 주동스크류의 측방에 배치되는 승강용 회전모터와, 상기 주동스크류와 상기 승강용 회전모터를 연결하는 승강용 주동벨트와,상기 공정챔버의 하부벽으로부터 이격되고 중심부에 상기 회전축이 관통되며, 상기 주동스크류에 나사 결합되어 상기 주동스크류가 회전됨에 따라 상기 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 승강판과,상단이 개방되는 용기형상으로 마련되어 상기 승강판에 결합되며, 상기 회전축을 지지하는지지챔버포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
최종 답변 (final_answer)
화학기상 증착장치의 승강부는 공정챔버 하부벽에 회전 가능하게 지지되는 주동스크류, 주동스크류 측방의 승강용 회전모터, 주동스크류와 회전모터를 연결하는 승강용 주동벨트, 주동스크류에 나사 결합되어 승강되는 승강판, 그리고 회전축을 지지하며 승강판에 결합되는 지지챔버로 구성된다. 동작 메커니즘은 승강용 회전모터가 승강용 주동벨트를 통해 주동스크류를 회전시키면, 주동스크류에 나사 결합된 승강판이 회전에 따라 공정챔버의 하부벽에 대해 승강되는 방식이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
승강부는 회전모터-벨트-주동스크류-나사결합 승강판으로 이어지는 동력 전달 체계를 통해 회전 운동을 승강 운동으로 변환하는 구조를 가진다.