문맥 (context)
[청구항1]
확산로와 상기 확산로에 연결되며, 압력 센서와 진공 펌프를 구비한 주 배기라인과, 상기 주 배기 라인에 바이패스 방식으로 연결되는 소정의 에어 밸브를 갖는 벤트 라인을 포함하는 반도체 확산 설비의 배기 시스템에 있어서,
상기 벤트 라인 적소에 설치되어 확산로의 압력 조절시 고온의 n2를 함께 공급하기 위한 별도의 n2 공급 라인
상기 n2 공급 라인상에 설치되는 밸브 수단
상기 주 배기 라인의 압력 센서의 감지에 의해 벤트 라인의 에어 밸브와 상기 n2 공급 라인상의 밸브 수단을 동시에 개폐시키는 컨트롤러를 포함함을 특징으로 하는 반도체 확산 설비의 벤트 시스템
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기n2 공급 라인상에서 공급되는 n2의 온도특징으로 하는반도체 확산 설비의 벤트 시스템.
[청구항3]
제 1항에 있어서,상기 벤트 라인의 n2 공급 라인이 설치되는 부분의 선단에는 벤트 라인으로 유입되는 n2의 역류를 방지하기 위한체크밸브더설치됨을특징으로 하는반도체 확산 설비의 벤트 시스템.
[청구항4]
제 3항에 있어서,상기 체크 밸브는 내부에서 소정의 탄성 수단에 의해 지지받는 일정 직경의 볼베어링에 의해 상기 체크 밸브의 유입구를 선택적으로 폐쇄시키는 볼플런져방식적용됨을특징으로 하는반도체 확산 설비의 벤트 시스템.
[청구항5]
제 4항에 있어서,베어링을 가압하는 탄성 수단은 압축 코일 스프링특징으로 하는반도체 확산 설비의 벤트 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
주 배기 라인의 압력 센서가 변화를 감지했을 때, 컨트롤러는 벤트 라인 및 n2 공급 라인과 관련하여 어떠한 제어 동작을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation압력 센서 감지 시 컨트롤러의 제어 동작을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction컨트롤러의 구성 요소와 제어 대상인 밸브들을 추출한다.
- 주 배기 라인의 압력 센서
- 벤트 라인의 에어 밸브
- n2 공급 라인상의 밸브 수단
- 컨트롤러
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3근거 선택
evidence_selection컨트롤러의 동작 조건과 동작 내용을 명시한 문구를 선택한다.
- 상기 주 배기 라인의 압력 센서의 감지에 의해 벤트 라인의 에어 밸브와 상기 n2 공급 라인상의 밸브 수단을 동시에 개폐시키는 컨트롤러
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4논리 통합
logical_integration압력 센서의 감지가 컨트롤러의 동작을 유발하며, 그 동작은 두 개의 밸브를 동시에 제어하는 것임을 연결한다.
- 압력 센서의 감지에 의해
- 에어 밸브와 상기 n2 공급 라인상의 밸브 수단을 동시에 개폐시키는
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5결론 도출
conclusion_formulation컨트롤러는 압력 센서의 감지에 따라 벤트 라인의 에어 밸브와 n2 공급 라인의 밸브를 동시에 개폐한다.
- 상기 주 배기 라인의 압력 센서의 감지에 의해 벤트 라인의 에어 밸브와 상기 n2 공급 라인상의 밸브 수단을 동시에 개폐시키는 컨트롤러
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 주 배기 라인의 압력 센서
- 벤트 라인의 에어 밸브
- n2 공급 라인상의 밸브 수단
- 컨트롤러
- 상기 주 배기 라인의 압력 센서의 감지에 의해 벤트 라인의 에어 밸브와 상기 n2 공급 라인상의 밸브 수단을 동시에 개폐시키는 컨트롤러
- 압력 센서의 감지에 의해
- 에어 밸브와 상기 n2 공급 라인상의 밸브 수단을 동시에 개폐시키는
최종 답변 (final_answer)
주 배기 라인의 압력 센서가 압력을 감지하면, 컨트롤러는 벤트 라인에 있는 에어 밸브와 n2 공급 라인상에 설치된 밸브 수단을 동시에 개폐하는 동작을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
컨트롤러는 압력 센서의 신호를 바탕으로 벤트 라인의 에어 밸브와 n2 공급 라인의 밸브를 동시 제어한다.