씰링확인이 가능한 슬릿밸브

[청구항2] 청구항 1에 있어서,상기 체크밸브 어셈블리(300)는 상기 보텀플레이트(100)와 에어라인으로 연결되어 솔레노이브밸브(110)로부터 제공되는 에어를 공급받는 체크바디(310)와;상기 체크바디(310) 내부에 설치되어 체크바디(310) 내부에 공급된 에어가 내부에 유입되는 체크하우징(320)과;상기 체크하우징(320) 내부에 설치되어 체크하우징(320) 내부로 유입된 에어의 압력을 받는 제1압력부(331)와 제2압력부(332)가 일측과 타측에 각각 형성되되, 상기 제1압력부(331)의 단면이 제2압력부(332)의 단면보다 더 크게 형성되는 체크샤프트(330)와; 상기 체크샤프트(330)의 일측에 연결되는 푸쉬샤프트(340)와;상기 체크샤프트(330)의 타측에 연결되고, 마그넷블록(351)이 설치된 센서샤프트(350);로 구성되어, 상기 씰링패널(610)이 개폐구를 밀폐한 이후에 상기 솔레노이드밸브(110)로부터 공급되는 에어의 압력에 의해 제1압력부(331) 쪽으로 상기 체크샤프트(330)가 이동할 때 상기 센서샤프트(350)와 함께 이동하는 마그넷블록(351)을 상기 센서블록(120)이 감지하여 씰링패널(610)이 상기 트랜스퍼챔버와 프로세스챔버 사이의 개폐구를 밀폐하였음을 확인하는 것을 특징으로 하는 씰링확인가능한슬릿밸브. [청구항3] 청구항 1에 있어서,상기 무빙유닛(400)은 상기 보텀플레이트(100)의 상측에 위치되고, 상기 승강실린더(200)의 로드(200a) 끝단에 연결되어 로드(200a)가 승강될 때 함께 승강되는 승강플레이트(410)와;상기 보텀플레이트(100)의 상면에 직립 설치되되, 상기 승강플레이트(410)가 삽입되어 승강(昇降)될 수 있도록 하측부에 승강홀(421)이 형성되고, 제1승강홈(422)이 형성됨과 아울러 상단에 상부걸림홈(423a)이 형성된 제2승강홈(423)이 형성되며, 내벽에 하부걸림홈(424)이 형성된 사이드플레이트(420)와;상기 승강플레이트(410)의 상면에 직립 설치되되, 상기 제1승강홈(422)에 끼움되어 회전하는 다수의 회전돌기(431)가 구비되고, 일정각도 경사진 가이드홀(432)이 상하부에 형성되며, 상기 가이드홀(432) 사이에 안내홈(433)이 형성된 메인플레이트(430)와;상기 사이드플레이트(420)와 메인플레이트(430) 사이에 위치되되, 상기 제2승강홈(423)에 끼움되어 상승되다가 상기 상부걸림홈(423a)에 삽입되는 제1회전돌기(441)가 일면에 구비됨과 아울러 상기 안내홈(433)에 끼움되어 승강되는 제2회전돌기(442)가 타면에 구비되고, 상기 하부걸림홈(424)에 삽입되는 제3회전돌기(443)가 하단에 구비되며, 상하부에 삽입홈(444)이 형성된 서브플레이트(440)와;양측단에 구비된 회전축(451)이 하부에 형성된 상기 가이드홀(432)을 관통한 후 하부에 형성된 상기 삽입홈(444)에 끼움되고, 상기 메인샤프트(500)의 하단에 연결되는 로우플레이트(450)와;양측단에 구비된 회전축(461)이 상부에 형성된 상기 가이드홀(432)을 관통한 후 상부에 형성된 삽입홈(444)에 끼움되고, 상기 메인샤프트(500)에 의해 관통되는 탑플레이트(460);로 구성된 것을 특징으로 하는 씰링확인가능한슬릿밸브. [청구항4] 청구항 3에 있어서,상기 솔레노이드밸브(110)와 체크밸브 어셈블리(300)를 연결하는 에어라인 상에는 상기 승강플레이트(410)에 의해 눌러졌을 때 에어라인을 개방하여 에어가 체크밸브 어셈블리(300) 쪽으로 유동되도록 하는 푸쉬버튼(700)이 설치된 것을 특징으로 하는 씰링확인가능한슬릿밸브. [청구항5] 청구항 2에 있어서,상기 제1압력부(331)에는 x링(331a)이 설치되고, 상기 제2압력부(332)에는 u패킹(332a)이 설치되어, 상기 체크하우징(320)의 내측면과 상기 체크샤프트(330)의 외측면을 밀폐하는 것을 특징으로 하는 씰링확인가능한슬릿밸브. [청구항6] 청구항 1에 있어서,상기 씰플레이트 어셈블리(600) 내부에는 체크밸브(800)가 더 설치되되,상기 체크밸브(800)는 상기 씰플레이트 어셈블리(600)의 실린더(620) 사이에 설치되는 실린더 몸체(810)와; 상기 실린더 몸체(810) 내부에 설치되는 피스톤(820)과,상기 피스톤(820) 내부에 설치되고, 내부에 에어라인(831)이 형성된 피스톤 가이드(830)와;상기 피스톤 가이드(830) 내부에 설치되고, 상기 피스톤 가이드(830)의 에어라인(831)을 연결시키거나 단절시키는 오픈체크 샤프트(840)와; 상기 오픈체크 샤프트(840) 외측면에 설치되어 오픈체크 샤프트(840)에 탄성력을 제공하는 스프링(850);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 씰링확인가능한슬릿밸브.