화학기상 증착장치

[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 라이너는상기 서셉터의 외측벽에 밀착되는 제 1밀착부와,상기 챔버의 내측벽에 밀착되는 제 2밀착부와,상기 제 1밀착부로부터 상기 제 2밀착부로 만곡되는만곡부포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 라이너는상기 서셉터의 외측벽에 밀착되는 제 1밀착부와,상기 챔버의 내측벽에 밀착되는 제 2밀착부와,상기 제 1밀착부로부터 상기 제 2밀착부로 만곡되는만곡부포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항3] 제 2항에 있어서,상기 챔버의 일단을 향한 상기 제 2밀착부의 선단면은 상기 챔버의 일단면보다 상기 챔버의 내측으로함몰되게배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 2항에 있어서,상기 챔버의 일단을 향한 상기 제 2밀착부의 선단면은 상기 챔버의 일단면보다 상기 챔버의 내측으로함몰되게배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항4] 제 3항에 있어서,상기 차폐막은 상기 제 2밀착부의 내측면에 밀착되며,상기제2밀착부의선단면이격되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 차폐막은 상기 제 2밀착부의 내측면에 밀착되며,상기제2밀착부의선단면이격되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항5] 제 2항에 있어서,셉터는상기 기판을 지지하는 기판수용홈이 형성되어 회전되는 회전판과,상기 회전판이 회전가능하게 상기 회전판을 지지하는 지지몸체를 포함하며,상기 제 1밀착부는상기지지몸체의외측벽밀착되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 2항에 있어서,셉터는상기 기판을 지지하는 기판수용홈이 형성되어 회전되는 회전판과,상기 회전판이 회전가능하게 상기 회전판을 지지하는 지지몸체를 포함하며,상기 제 1밀착부는상기지지몸체의외측벽밀착되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항6] 제 2항에 있어서,상기 챔버의 측벽과 상기 제 1밀착부를 관통하여 상기 챔버의 내부에 연통되는배기관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 2항에 있어서,상기 챔버의 측벽과 상기 제 1밀착부를 관통하여 상기 챔버의 내부에 연통되는배기관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항7] 제 1항에 있어서,상기 챔버의 일단면에는 상기 차폐막의 두께와 동일한 깊이로 형성되는 차폐홈이 형성되며, 상기 차폐막은상기차폐홈수용되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 챔버의 일단면에는 상기 차폐막의 두께와 동일한 깊이로 형성되는 차폐홈이 형성되며, 상기 차폐막은상기차폐홈수용되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항8] 제1 항에 있어서,상기 라이너는석영으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제1 항에 있어서,상기 라이너는석영으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.