문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 장착/취출실의 내부 하측에 저온으로 제어된 플레이트로 이루어지는 상기 냉각수단을 설치함과 동시에 상기 내부의 상측에 상기 냉각수단과 간격을 두고 대향하는 히터 플레이트를 구비한 상기 기판가열수단을 설치하고, 상기 간격으로 반입된 상기 기판을 상기 플레이트에 접근 또는 접촉한 위치와 부상위치로 이동시키는승강장치설치한것을특징으로 하는진공 막형성장치.
제 1 항에 있어서,상기 장착/취출실의 내부의 일측에서 냉각된 플레이트로 이루어지는 상기 기판냉각수단을 설치함과 동시에 상기 내부의 다른 측에서 상기 기판냉각수단과 간격을 두고 대향하는 히터 플레이트를 구비한 상기 기판가열수단을 설치하고,상기 간격으로 반입된 상기 기판을 상기 플레이트에 접근 및 접촉한 위치 중 어느 한 측으로 이동시키는승강장치설치한것을특징으로 하는진공 막형성장치.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 장착/취출실의 내부를 2 실로 구획하고, 그 일측의 구획내에 저온으로 제어된 플레이트로 이루어지는 냉각수단을 설치하고, 또 일측의 구획내에기판가열수단설치한것을특징으로 하는진공 막형성장치.
제 1 항에 있어서,상기 장착/취출실의 내부를 2 실로 구획하고, 그 일측의 구획내에 냉각된 플레이트로 이루어지는 기판냉각수단을 설치하고,또 다른 일측의 구획내에기판가열수단설치한것을특징으로 하는진공 막형성장치.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 냉각수단은 그 내부에 유체통로를 구비한 플레이트로 구성하고, 상기 유체통로에 가열유체를 흘려 통과시켜기판가열수단으로하는것을특징으로 하는진공 막형성장치.
제 1 항에 있어서,상기 기판냉각수단은 그 내부에 유체통로를 구비한 플레이트로 구성하고, 상기 유체통로에 흐르는 저온유체의 온도를 제어하여 기판냉각수단으로 하는 동시에, 상기 유체통로에 가열유체를 유통시켜기판가열수단으로하는것을특징으로 하는진공 막형성장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 4의 내용을 참고할 때, 플레이트 내부의 유체통로를 활용하여 냉각수단과 기판가열수단을 구성하는 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation청구항 4를 분석하여 유체통로를 이용한 냉각 및 가열 구성 방식을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction냉각수단과 기판냉각수단이 유체통로를 가진 플레이트로 구성됨을 확인한다.
- 상기 냉각수단은 그 내부에 유체통로를 구비한 플레이트로 구성하고
- 상기 기판냉각수단은 그 내부에 유체통로를 구비한 플레이트로 구성하고
-
3근거 선택
evidence_selection유체통로에 흐르는 유체의 종류와 그에 따른 기능 변화를 나타내는 문구를 선택한다.
- 상기 유체통로에 가열유체를 흘려 통과시켜기판가열수단으로하는것
- 상기 유체통로에 흐르는 저온유체의 온도를 제어하여 기판냉각수단으로 하는 동시에, 상기 유체통로에 가열유체를 유통시켜기판가열수단으로하는것
-
4논리 통합
logical_integration유체통로에 저온유체를 흘리면 냉각수단이 되고, 가열유체를 흘리면 가열수단이 되는 구조임을 통합한다.
- 저온유체의 온도를 제어하여 기판냉각수단으로 하는 동시에
- 가열유체를 유통시켜기판가열수단으로하는것
-
5결론 도출
conclusion_formulation플레이트 내 유체통로에 흐르는 유체의 종류(저온유체 또는 가열유체)를 제어함으로써 냉각과 가열 기능을 수행할 수 있다는 결론을 도출한다.
- 상기 유체통로에 가열유체를 흘려 통과시켜기판가열수단으로하는것
- 저온유체의 온도를 제어하여 기판냉각수단으로 하는 동시에, 상기 유체통로에 가열유체를 유통시켜기판가열수단으로하는것
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 상기 유체통로에 가열유체를 흘려 통과시켜기판가열수단으로하는것
- 상기 유체통로에 흐르는 저온유체의 온도를 제어하여 기판냉각수단으로 하는 동시에, 상기 유체통로에 가열유체를 유통시켜기판가열수단으로하는것
근거 (evidence)
- 상기 냉각수단은 그 내부에 유체통로를 구비한 플레이트로 구성하고
- 상기 기판냉각수단은 그 내부에 유체통로를 구비한 플레이트로 구성하고
- 상기 유체통로에 가열유체를 흘려 통과시켜기판가열수단으로하는것
- 상기 유체통로에 흐르는 저온유체의 온도를 제어하여 기판냉각수단으로 하는 동시에, 상기 유체통로에 가열유체를 유통시켜기판가열수단으로하는것
- 저온유체의 온도를 제어하여 기판냉각수단으로 하는 동시에
- 가열유체를 유통시켜기판가열수단으로하는것
- 저온유체의 온도를 제어하여 기판냉각수단으로 하는 동시에, 상기 유체통로에 가열유체를 유통시켜기판가열수단으로하는것
최종 답변 (final_answer)
냉각수단 또는 기판냉각수단은 내부에 유체통로를 구비한 플레이트로 구성된다. 이 유체통로에 저온유체의 온도를 제어하여 흘려보내면 기판냉각수단으로 기능하며, 동시에 가열유체를 흘려 통과시키거나 유통시키면 기판가열수단으로 기능하도록 구성할 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
플레이트 내부의 유체통로에 흐르는 유체의 종류(저온유체 또는 가열유체)를 제어함으로써 동일한 구조에서 냉각과 가열 기능을 모두 수행할 수 있다.