문맥 (context)
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 측정 파장 대역은 파장에 따른 상기 윈도우를 통과하는 빛의 투과율의 변화가 1% 내지 20% 이내인파장 대역인것을특징으로 하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 측정 파장 대역은 900nm 내지 1700nm사이파장 대역인것을특징으로 하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
[청구항 14]
제 11 항에 있어서,상기 측정 파장 대역은 600nm 내지 3000nm사이파장 대역인것을특징으로 하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
[청구항 15]
제 11 항에 있어서,상기 측정 파장 대역은 파장에 따른 상기 윈도우를 통과하는 빛의 투과율 변화가 상기 윈도우에 증착되는 부산물들의 두께에 실질적으로 무관한파장 대역인것을특징으로 하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
[청구항 16]
제 11 항에 있어서,상기psi 추출부는 상기 측정 파장 대역에서 측정된 광 세기들을 소정의 기준 파장의 측정된 광 세기에 대한 비율로 변환하는제1처리부포함하는것을특징으로 하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기psi 추출부는 상기 측정 파장 대역에서 측정된 광 세기들을 파장-가중치 데이터(wavelength-weight data)와 내적(inner product)하는 제 2 처리부를 포함하되, 상기 파장-가중치 데이터는 파장에 따라 다른 가중치를 상기 측정된 광 세기들에 부여하도록 주성분 분석 기법 또는 다변량 분석 기법을 통해지는것을특징으로 하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
[청구항 18]
제 11 항에 있어서,상기 상태 판단부는 상기 추출된 공정 상태 지수를 상기 공정 상태 지수의 시간적 변화를 표현하는 공정 상태 추세 데이터와 비교하여 상기 플라즈마 챔버의 상태를 판단하도록구성되는것을특징으로 하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
[청구항 19]
제 18 항에 있어서,상기 추출된 공정 상태 지수와 상기 공정 상태 추세 데이터 사이의 차이가 소정의 임계값 이상인 경우, 공정 오류 발생 신호를 작업자에게 발송하는 사용자 인터페이스더 구비하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
[청구항 20]
제 19 항에 있어서,상기 상태 판단부는 공정 조건의 변화와 상기 공정 상태 지수의 변화 사이의 관계를 규정하는 조건-결과 데이터를 이용하여 공정 조건의 변화에 따른 공정 상태 지수의 변화를 무시하도록구성되는것을특징으로 하는플라즈마 챔버의 모니터링 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 챔버의 모니터링 시스템에서 psi 추출부가 측정된 광 세기들을 처리하는 방식과, 이때 사용되는 파장-가중치 데이터가 생성되는 구체적인 방법은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretationpsi 추출부가 측정된 광 세기를 처리하는 방식과 파장-가중치 데이터의 생성 방법을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 16과 17에서 psi 추출부의 제1처리부 및 제2처리부의 기능과 파장-가중치 데이터의 생성 기법을 추출한다.
- 상기psi 추출부는 상기 측정 파장 대역에서 측정된 광 세기들을 파장-가중치 데이터(wavelength-weight data)와 내적(inner product)하는 제 2 처리부를 포함
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3근거 선택
evidence_selection광 세기 처리 방식(비율 변환 및 내적)과 데이터 생성 방법(주성분 분석 또는 다변량 분석)에 관한 구절을 선택한다.
- 주성분 분석 기법 또는 다변량 분석 기법을 통해지는것
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4논리 통합
logical_integrationpsi 추출부는 제1처리부를 통해 광 세기를 기준 파장 대비 비율로 변환하고, 제2처리부를 통해 파장-가중치 데이터와 내적하여 처리한다. 이때 파장-가중치 데이터는 주성분 분석 또는 다변량 분석 기법으로 생성된다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 명시된 두 가지 핵심 요소(처리 방식, 데이터 생성 방법)를 결합하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기psi 추출부는 상기 측정 파장 대역에서 측정된 광 세기들을 파장-가중치 데이터(wavelength-weight data)와 내적(inner product)하는 제 2 처리부를 포함
- 주성분 분석 기법 또는 다변량 분석 기법을 통해지는것
최종 답변 (final_answer)
psi 추출부는 측정된 광 세기들을 처리하기 위해, 먼저 제1처리부를 통해 측정된 광 세기들을 소정의 기준 파장의 측정된 광 세기에 대한 비율로 변환하며, 이후 제2처리부를 통해 해당 광 세기들을 파장-가중치 데이터(wavelength-weight data)와 내적(inner product)한다. 이때 사용되는 파장-가중치 데이터는 파장에 따라 서로 다른 가중치를 측정된 광 세기에 부여할 수 있도록 주성분 분석 기법 또는 다변량 분석 기법을 통해 생성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 psi 추출부가 광 세기를 기준 파장 대비 비율로 변환하고 통계적 기법(주성분 분석 또는 다변량 분석)으로 생성된 파장-가중치 데이터와 내적함으로써 플라즈마 상태를 정밀하게 추출하는 기술을 포함한다.