문맥 (context)
[청구항1]
웨이퍼 또는 유리기판 등의 피처리물이 안착되어 화학 기상 증착이 이루어지는 일정 크기의 서셉터와, 상기 서셉터의 외측 가장자리에 안착되는 섀도우 프레임을 포함하여 이루어지는 서셉터와 섀도우 프레임 간의 아크 발생 방지 장치에 있어서,
상기 서셉터에는 상기 피처리물이 안착되는 수용부와, 상기 섀도우 프레임이 안착되는 거치부가 형성되고,
상기 수용부와 상기 거치부에 블라스팅 작업을 하여 조도(粗度)를 형성하는 것을 특징으로 하는 서셉터와 섀도우 프레임 간의 아크 발생 방지 장치
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 수용부와 상기 거치부에 형성된 조도는 그 거칠기의 정도가 서로 다르게 이루어져있는것을특징으로 하는서셉터와 섀도우 프레임 간의 아크 발생 방지 장치.
[청구항3]
제 1항에 있어서,셉터의 외측 가장자리에 일정 두께와 높이를 가지는 세라믹 가이드가 더 형성되고,상기 섀도우 프레임의 일측이상기세라믹 가이드거치되어있는것을특징으로 하는서셉터와 섀도우 프레임 간의 아크 발생 방지 장치.
[청구항4]
제 3항에 있어서,상기 세라믹 가이드는 상기 서셉터의 외측 가장자리에 대응하는 길이인 4개의 부재로 이루어져 이4개의부재서로결합되어있는것을특징으로 하는서셉터와 섀도우 프레임 간의 아크 발생 방지 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
서셉터의 수용부와 거치부에 형성되는 조도는 어떠한 방식으로 형성되며, 청구항 2에 명시된 조도의 구체적인 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation서셉터의 수용부와 거치부에 적용된 조도 형성 방법과 그 특성을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 조도 형성 방법을, 청구항 2에서 조도의 특징을 추출한다.
- 상기 수용부와 상기 거치부에 블라스팅 작업을 하여 조도(粗度)를 형성
- 상기 수용부와 상기 거치부에 형성된 조도는 그 거칠기의 정도가 서로 다르게 이루어져있는것
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3근거 선택
evidence_selection조도 형성 방식인 '블라스팅 작업'과 특징인 '거칠기 정도의 상이함'을 핵심 근거로 선택한다.
- 블라스팅 작업을 하여 조도(粗度)를 형성
- 거칠기의 정도가 서로 다르게 이루어져있는것
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4논리 통합
logical_integration블라스팅 작업을 통해 조도가 형성되며, 이때 수용부와 거치부의 조도 값(거칠기)은 서로 다르게 설정된다는 점을 결합한다.
- 블라스팅 작업을 하여 조도(粗度)를 형성
- 거칠기의 정도가 서로 다르게 이루어져있는것
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5결론 도출
conclusion_formulation서셉터의 수용부와 거치부는 블라스팅 작업을 통해 조도가 형성되며, 두 부위의 거칠기 정도는 서로 다르게 구성된다는 결론을 도출한다.
- 블라스팅 작업을 하여 조도(粗度)를 형성
- 거칠기의 정도가 서로 다르게 이루어져있는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 블라스팅 작업을 하여 조도(粗度)를 형성
- 거칠기의 정도가 서로 다르게 이루어져있는것
근거 (evidence)
- 상기 수용부와 상기 거치부에 블라스팅 작업을 하여 조도(粗度)를 형성
- 상기 수용부와 상기 거치부에 형성된 조도는 그 거칠기의 정도가 서로 다르게 이루어져있는것
- 블라스팅 작업을 하여 조도(粗度)를 형성
- 거칠기의 정도가 서로 다르게 이루어져있는것
최종 답변 (final_answer)
서셉터의 수용부와 거치부에는 블라스팅 작업을 수행하여 조도가 형성된다. 이때 형성된 조도는 수용부와 거치부 간의 거칠기 정도가 서로 다르게 이루어져 있는 것이 특징이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터의 특정 부위(수용부, 거치부)에 블라스팅 공법을 사용하여 서로 다른 거칠기를 가진 조도를 형성함.