문맥 (context)
[청구항12]
제 11 항에 있어서,상기 세정 헤드는, 상기 다수의 세정 부분 중 하나로부터 하향으로, 린싱 부분과 건조 부분포함하는,기판 세정 시스템.
청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 11 항에 있어서,상기 세정 헤드는, 상기 세정 부분으로부터 하향으로, 린싱 부분과 건조 부분포함하는,기판 세정 시스템.
[청구항13]
제 11 항에 있어서,상기 분산상과 상기 연속상은 공통 물리 상태가지는,기판 세정 시스템.
청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 11 항에 있어서,상기 세정 용액은, 단일의 물리 상태의 압력 하에서 상기 세정 용액 저장소에 저장되어, 다수의 물리 상태의 분위기 압력으로 상기 세정 헤드의 상기 세정 부분전달되는,기판 세정 시스템.
[청구항14]
제 11 항에 있어서,상기 세정 용액은, 단일의 물리 상태의 압력 하에서 상기 세정 용액 저장소에 저장되어, 다수의 물리 상태의 분위기 압력으로 상기 다수의 세정 부분 중 하나전달되는,기판 세정 시스템.
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 11 항에 있어서,상기 세정 헤드는 상기 기판에 대하여 고정 위치에 고정되고, 상기 세정 헤드에 대하여 이동가능한,기판 세정 시스템.
[청구항15]
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 11 항에 있어서,상기 세정 헤드는 상기 기판에 대하여 이동가능한,기판 세정 시스템.
제 11 항에 있어서,상기 세정 헤드는고정되는,기판 세정 시스템.
[청구항16]
제 11 항에 있어서,상기 세정 헤드는 상기 기판에 대하여 이동가능한,기판 세정 시스템.
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 11 항에 있어서,상기 세정 헤드는 적어도 2 개의 상기 세정 부분을 포함하고, 상기 세정 용액 저장고는 상기 적어도 2 개의 세정 부분 각각으로상기세정용액제공하도록연결된,기판 세정 시스템.
[청구항17]
제 11 항에 있어서,상기 세정 용액은 상기 다수의 세정 부분 중 2 개 이상의 세정 부분공급되는,기판 세정 시스템.
청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 11 항에 있어서,상기 제 2 불혼합 액체의 상기 복수의 드롭렛은, 상기 고체 입자가 상기 기판의 상기 표면 상에 존재하는 하나 이상의 오염물로부터 10 나노미터 이내가 되게 힘하는사이즈인, 기판 세정 시스템.
[청구항18]
제 11 항에 있어서,상기 세정 용액의 상기 분산상은, 상기 입자를 상기 기판상에 배치된 임의의 오염물에 근접하게 하기 위해 힘제공하는,기판 세정 시스템.
청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 11 항에 있어서,상기 세정 헤드는 상기 기판의 상기 표면과 상기 세정 헤드의 상기 세정 부분 사이에서상기세정용액의메니스커스형성하도록구성된,기판 세정 시스템.
[청구항19]
제 11 항에 있어서,상기 분산상은, 상기 입자를 임의의 오염물의 10 나노미터 내하는,기판 세정 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 세정 시스템에서 세정 헤드는 어떤 구성 요소를 포함하며, 세정 부분으로부터의 배치 방향은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation세정 헤드의 구성 요소와 세정 부분으로부터의 배치 방향을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 세정 헤드의 구성과 방향에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 세정 헤드는, 상기 다수의 세정 부분 중 하나로부터 하향으로, 린싱 부분과 건조 부분포함하는
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3근거 선택
evidence_selection세정 헤드가 린싱 부분과 건조 부분을 포함한다는 점과 하향 방향이라는 점을 선택한다.
- 린싱 부분과 건조 부분포함하는
- 상기 다수의 세정 부분 중 하나로부터 하향으로
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4논리 통합
logical_integration세정 헤드는 린싱 부분과 건조 부분을 포함하며, 이들은 세정 부분으로부터 아래쪽(하향)으로 배치된다.
- 린싱 부분과 건조 부분포함하는
- 상기 다수의 세정 부분 중 하나로부터 하향으로
-
5결론 도출
conclusion_formulation세정 헤드는 린싱 부분과 건조 부분을 포함하며, 세정 부분으로부터 하향으로 배치된다는 결론을 도출한다.
- 린싱 부분과 건조 부분포함하는
- 상기 다수의 세정 부분 중 하나로부터 하향으로
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 문장으로 최종 답변을 작성한다.
- 린싱 부분과 건조 부분포함하는
- 상기 다수의 세정 부분 중 하나로부터 하향으로
근거 (evidence)
- 상기 세정 헤드는, 상기 다수의 세정 부분 중 하나로부터 하향으로, 린싱 부분과 건조 부분포함하는
- 린싱 부분과 건조 부분포함하는
- 상기 다수의 세정 부분 중 하나로부터 하향으로
최종 답변 (final_answer)
세정 헤드는 린싱 부분과 건조 부분을 포함하며, 이들은 세정 부분으로부터 하향 방향으로 배치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
세정 헤드의 하부 구성 요소(린싱, 건조 부분)와 그 물리적 배치 방향(하향)을 정의함.