문맥 (context)
[청구항4]
제 2 용기로부터 추출되며 증착원 재료가 봉입된 제 1 용기를 탑재하는 다이 또는 상기 제 2 용기, 상기 제 1 용기가 설치되는 증착원 홀더 및 상기 제 1 용기를 반송하는 수단을 구비하는 설치실과,
상기 설치실을 진공으로 하는 수단과,
상기 설치실에 접하여 설치된 막형성실과,
상기 증착원 홀더와 상기 다이를 상기 설치실로부터 상기 막형성실로 이동시키는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치
[청구항5]
제 2 용기로부터 추출되며 증착원 재료가 봉입된 제 1 용기를 탑재하는 회전 다이, 상기 제 1 용기가 설치되는 증착원 홀더 및 상기 제 1 용기를 반송하는 수단을 구비하는 설치실과,
상기 설치실을 진공으로 하는 수단과,
상기 설치실에 접하여 설치된 막형성실과,
상기 증착원 홀더를 상기 설치실로부터 상기 막형성실로 이동시키는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치
[청구항7]
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 증착재료는 el재료인것을특징으로 하는증착장치.
[청구항9]
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 제 2 용기는상부와하부분리되는것을특징으로 하는증착장치.
[청구항11]
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 제 2 용기에는가스도입구가설치되어있는것을특징으로 하는증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증착장치의 설치실은 어떠한 구성요소들을 구비하고 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation증착장치의 설치실에 포함된 구성요소를 추출하는 과업을 수행한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 4와 5에서 설치실의 구성을 설명하는 문구를 추출한다.
- 제 2 용기로부터 추출되며 증착원 재료가 봉입된 제 1 용기를 탑재하는 다이 또는 상기 제 2 용기, 상기 제 1 용기가 설치되는 증착원 홀더 및 상기 제 1 용기를 반송하는 수단을 구비하는 설치실
-
3근거 선택
evidence_selection설치실이 구비한다고 명시된 구성요소들을 선별한다.
- 다이 또는 상기 제 2 용기
- 증착원 홀더
- 제 1 용기를 반송하는 수단
-
4논리 통합
logical_integration추출된 구성요소들을 설치실의 하위 구성으로 통합한다.
- 다이 또는 상기 제 2 용기, 상기 제 1 용기가 설치되는 증착원 홀더 및 상기 제 1 용기를 반송하는 수단을 구비하는 설치실
-
5결론 도출
conclusion_formulation설치실의 구성요소 리스트를 정리하여 결론을 도출한다.
- 다이 또는 상기 제 2 용기
- 증착원 홀더
- 제 1 용기를 반송하는 수단
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 제 2 용기로부터 추출되며 증착원 재료가 봉입된 제 1 용기를 탑재하는 다이 또는 상기 제 2 용기, 상기 제 1 용기가 설치되는 증착원 홀더 및 상기 제 1 용기를 반송하는 수단을 구비하는 설치실
- 다이 또는 상기 제 2 용기
- 증착원 홀더
- 제 1 용기를 반송하는 수단
- 다이 또는 상기 제 2 용기, 상기 제 1 용기가 설치되는 증착원 홀더 및 상기 제 1 용기를 반송하는 수단을 구비하는 설치실
최종 답변 (final_answer)
증착장치의 설치실은 제 2 용기로부터 추출되며 증착원 재료가 봉입된 제 1 용기를 탑재하는 다이 또는 상기 제 2 용기, 상기 제 1 용기가 설치되는 증착원 홀더, 그리고 상기 제 1 용기를 반송하는 수단을 구비한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
청구항 4와 5에 명시된 설치실의 물리적 구성요소(다이/제2용기, 증착원 홀더, 반송 수단)를 파악하는 것이다.