증착 장치

[청구항2] 제1항에 있어서,셉터가 승하강함으로써높이조절가능한것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항에 있어서,셉터가 승하강함으로써높이조절가능한것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 기판탑재부는 서셉터, 상기 서셉터에 결합된 제1 가이드 블록, 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 캐리지, 및 상기 캐리지에 결합된 제2 가이드 블록을 포함하고,상기 제1 가이드 블록은 돌출부를 포함하고, 상기 제2 가이드 블록은 상기 돌출부가 삽입될 수 있는 홈부를 포함하고,상기 제1 가이드 블록은 상기 돌출부가 상기 제2 가이드 블록의 홈부에 삽입되어 연결된 상태로 슬라이딩하면서 승강 또는 하강할 수있는것을특징으로 하는,증착 장치. 제2항에 있어서,상기 기판탑재부는 서셉터, 상기 서셉터에 결합된 제1 가이드 블록, 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 캐리지, 및 상기 캐리지에 결합된 제2 가이드 블록을 포함하고,상기 제1 가이드 블록은 돌출부를 포함하고, 상기 제2 가이드 블록은 상기 돌출부가 삽입될 수 있는 홈부를 포함하고,상기 제1 가이드 블록은 상기 돌출부가 상기 제2 가이드 블록의 홈부에 삽입되어 연결된 상태로 슬라이딩하면서 승강 또는 하강할 수있는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항4] 제3항에 있어서,상기 제1 가이드 블록은, 지면과 수직하게 배치되고 하부 말단이 상기 캐리지에 지지되는 서셉터 높이조절 볼트 및 상기 볼트가 삽입되며 볼트와의 접합면에 볼트의 수나사에 대응하는 암나사를 갖는볼트삽입구포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. 제3항에 있어서,상기 제1 가이드 블록은, 지면과 수직하게 배치되고 하부 말단이 상기 캐리지에 지지되는 서셉터 높이조절 볼트 및 상기 볼트가 삽입되며 볼트와의 접합면에 볼트의 수나사에 대응하는 암나사를 갖는볼트삽입구포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항5] 제3항 또는 제4항에 있어서,제1 가이드 블록 및 제2 가이드 블록은 서로 대향하는 체결구를 각각 포함하고, 상기 체결구에 보조볼트가 삽입됨으로써 제1 가이드 블록은 높이가 조절된 상태에서제2가이드블록견고히결합되는것을특징으로 하는,증착 장치. 제3항 또는 제4항에 있어서,제1 가이드 블록 및 제2 가이드 블록은 서로 대향하는 체결구를 각각 포함하고, 상기 체결구에 보조볼트가 삽입됨으로써 제1 가이드 블록은 높이가 조절된 상태에서제2가이드블록견고히결합되는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항6] 제3항 또는 제4항에 있어서,상기 캐리지는 연결부재를 포함하고, 상기 이송용 벨트는 일정 간격으로 이격되어 배치된 복수의 연결고리를 포함하고, 상기 연결부재가 상기 연결고리에 삽입됨으로써 상기 기판탑재부가상기이송용벨트연결되는것을특징으로 하는,증착 장치. 제3항 또는 제4항에 있어서,상기 캐리지는 연결부재를 포함하고, 상기 이송용 벨트는 일정 간격으로 이격되어 배치된 복수의 연결고리를 포함하고, 상기 연결부재가 상기 연결고리에 삽입됨으로써 상기 기판탑재부가상기이송용벨트연결되는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항7] 제3항 또는 제4항에 있어서,상기 캐리지는 이의 하부에 복수의 바퀴를 포함하고, 상기 가이드 레일은 복수의 가이드부재를 포함하며, 상기 바퀴는 상기 가이드부재와 접촉한상태회전하는것을특징으로 하는,증착 장치. 제3항 또는 제4항에 있어서,상기 캐리지는 이의 하부에 복수의 바퀴를 포함하고, 상기 가이드 레일은 복수의 가이드부재를 포함하며, 상기 바퀴는 상기 가이드부재와 접촉한상태회전하는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항8] 제7항에 있어서,상기 가이드부재가 돌출부를 포함하고, 상기 캐리지의 바퀴가 상기 가이드부재의 돌출부가 삽입되는 홈부를포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. 제7항에 있어서,상기 가이드부재가 돌출부를 포함하고, 상기 캐리지의 바퀴가 상기 가이드부재의 돌출부가 삽입되는 홈부를포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항9] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,셉터가 인접한 다른 서셉터와의 대향면에 돌출부를 갖고 상기 돌출부들 사이의 공간에 의해 1회 이상 굴곡하는유로형성되는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항10] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,셉터의 기판 안착면 원주에는 기판을 안정적이고 정확하게 안착시키기 위한가이드경사면존재하는것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,셉터의 기판 안착면 원주에는 기판을 안정적이고 정확하게 안착시키기 위한가이드경사면존재하는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항11] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,셉터에 안착되는 기판의 레벨링을 감지할 수 있는센서를추가포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,셉터에 안착되는 기판의 레벨링을 감지할 수 있는센서를추가포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항12] 제11항에 있어서,상기 센서가, 기판 표면상의 임의의 지점에 광을 조사/수광하여 각 지점에서의 거리를 측정함으로써 기판의 레벨링을 감지하는광센서인것을특징으로 하는,증착 장치. 제11항에 있어서,상기 센서가, 기판 표면상의 임의의 지점에 광을 조사/수광하여 각 지점에서의 거리를 측정함으로써 기판의 레벨링을 감지하는광센서인것을특징으로 하는,증착 장치.