문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 가스가불활성열가스인것을특징으로 하는장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 가스는아르곤인것을특징으로 하는장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 가스분산장치는 상기 플레튼 표면부의 주변에환상홈구비한것을특징으로 하는장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,플레튼에 연장하며 상기 가스분산장치로가스라인전체를추가구비하는것을특징으로 하는장치.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 가스라인은 상기 플레튼에 방사상 구멍등의 회로망 및 각각의 애눌러 위치에서 상기 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망구비하는것을특징으로 하는장치.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 구멍회로망의 구멍등은 상기 플레튼의 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며, 상기 구멍등의 하나는 외부가스원에 접속되도록 적응되고, 또 다른 구멍은 그들 각각의 외부개방에서플러그있는것을특징으로 하는장치.
[청구항8]
제1항에 있어서,상기 플레튼 표면부는 상기 플레튼의 표면의 디프레션부이며, 상기 기판 리테이너는상기디프레션부측벽인것을특징으로 하는장치.
[청구항9]
제8항에 있어서,상기 가스분산장치는 상기 측벽에 근접하여 상기 디프레션부에 배치된환상홈구비한것을특징으로 하는장치.
[청구항10]
제1항에 있어서,상기 기판 리테이너는 상기 플레튼 표면부의 엣지에서 각각의 위치로 부터 돌출한2개의핀구비한것을특징으로 하는장치.
[청구항11]
제10항에 있어서,상기 가스분산장치는 상기 핀에 근접하여 플레튼 표면부에 배치된환상홈구비한것을특징으로 하는장치.
[청구항14]
제12항에 있어서,상기 가스라인에 연결된가스원을추가구비한것을특징으로 하는장치.
[청구항15]
제13항에 있어서,상기 기판 전달장치의 아암nan은적어도하나가지로돌아가는것을특징으로 하는장치.
[청구항16]
제13항에 있어서,상기 기판 전달장치의 아암은 2개의 좁은 가지로 돌아가며, 상기 가지는 기판을 지지하기 위해이격되어떨어진것을특징으로 하는장치.
[청구항17]
제16항에 있어서,관통되어있는것을특징으로 하는장치.
[청구항21]
제19항에 있어서,상기 기판의 유지 단계는 상기 플레튼의 디프레션부내에 상기 기판을 배치시키는 단계를 구비하는데, 상기 후면 가스의 용적은 상기 디프레션부내의 플로어상에 상기 기판을 유지하도록선택하는것을특징으로 하는방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가스라인이 구비하는 구멍 회로망은 어떤 구조를 가지며, 구멍들은 각각 어떻게 처리되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스라인의 구멍 회로망 구조와 구멍의 연결/마감 특징을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6항과 7항에서 가스라인, 구멍 회로망, 구멍의 배치 및 연결 방식을 추출한다.
- 상기 가스라인은 상기 플레튼에 방사상 구멍등의 회로망 및 각각의 애눌러 위치에서 상기 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망구비하는것을특징으로 하는장치
- 상기 구멍회로망의 구멍등은 상기 플레튼의 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며
- 상기 구멍등의 하나는 외부가스원에 접속되도록 적응되고
- 또 다른 구멍은 그들 각각의 외부개방에서플러그있는것
-
3근거 선택
evidence_selection회로망의 구성 요소(방사상 구멍, 환상홈 교차 구멍), 배치(주변에서 중심부로), 연결(외부가스원 접속), 마감(플러그)에 관한 문구를 선택한다.
- 방사상 구멍등의 회로망
- 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망
- 플레튼의 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며
- 하나는 외부가스원에 접속
- 또 다른 구멍은 그들 각각의 외부개방에서플러그있는것
-
4논리 통합
logical_integration가스라인은 방사상 구멍과 환상홈 교차 구멍으로 구성된 회로망을 가지며, 이 구멍들은 주변에서 중심부로 모이는 구조이다. 또한 하나는 가스원에 연결되고 나머지는 플러그로 막혀 있다.
- 방사상 구멍등의 회로망 및 각각의 애눌러 위치에서 상기 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망구비
- 플레튼의 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며
- 하나는 외부가스원에 접속되도록 적응되고, 또 다른 구멍은 그들 각각의 외부개방에서플러그있는것
-
5결론 도출
conclusion_formulation가스라인의 구멍 회로망은 방사상 구멍 및 환상홈 교차 구멍으로 이루어져 있으며, 주변에서 중심부로 모이는 형태를 띠고, 일부는 외부가스원에 접속되고 나머지는 플러그로 마감되어 있다.
- 방사상 구멍등의 회로망 및 각각의 애눌러 위치에서 상기 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망
- 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며
- 하나는 외부가스원에 접속되도록 적응되고, 또 다른 구멍은 그들 각각의 외부개방에서플러그있는것
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 완성한다.
- 방사상 구멍등의 회로망 및 각각의 애눌러 위치에서 상기 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망
- 플레튼의 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며
- 하나는 외부가스원에 접속되도록 적응되고, 또 다른 구멍은 그들 각각의 외부개방에서플러그있는것
근거 (evidence)
- 상기 가스라인은 상기 플레튼에 방사상 구멍등의 회로망 및 각각의 애눌러 위치에서 상기 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망구비하는것을특징으로 하는장치
- 상기 구멍회로망의 구멍등은 상기 플레튼의 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며
- 상기 구멍등의 하나는 외부가스원에 접속되도록 적응되고
- 또 다른 구멍은 그들 각각의 외부개방에서플러그있는것
- 방사상 구멍등의 회로망
- 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망
- 플레튼의 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며
- 하나는 외부가스원에 접속
- 방사상 구멍등의 회로망 및 각각의 애눌러 위치에서 상기 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망구비
- 하나는 외부가스원에 접속되도록 적응되고, 또 다른 구멍은 그들 각각의 외부개방에서플러그있는것
- 방사상 구멍등의 회로망 및 각각의 애눌러 위치에서 상기 환상홈을 교차하는구멍등의상기회로망
- 주변에서 시작하여 상기 플레튼의 중심부에 한점으로 모이며
최종 답변 (final_answer)
가스라인은 플레튼에 방사상 구멍 등의 회로망과 애눌러 위치에서 환상홈을 교차하는 구멍 등의 회로망을 구비한다. 이 구멍 회로망의 구멍들은 플레튼의 주변에서 시작하여 중심부의 한 점으로 모이는 구조를 가지며, 구멍 중 하나는 외부가스원에 접속되고, 다른 구멍들은 각각의 외부 개방부에 플러그가 설치되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스라인의 구멍 회로망은 방사상 및 환상홈 교차 구멍으로 구성되며, 주변에서 중심부로 모이는 배치와 가스원 접속 및 플러그 마감이라는 연결 특징을 가진다.