문맥 (context)
[청구항1]
각각의 일면이 서로 대면하는 서셉터 그리고 백킹플레이트와, 각각의 일면이 서로 대면하도록 상기 서셉터와 백킹플레이트 일면에 각각 지지되는 기판 그리고 타겟과, 상기 백킹플레이트 타면을 가로지르도록 배열되어 길이방향에 수직하게 왕복운동하는 마그네틱 바를 포함하는 스퍼터장치에 있어서,
상기 타겟 타면은,
상기 마그네틱바 왕복운동의 시작점과 반환점 부분에 각각 대응되는 제 1 평면부와
상기 제 1 평면부 사이에 위치되고, 상기 제 1 평면부보다 작은 두께를 가지도록 상기 타겟 일면 방향으로 인입된 요입부
를 포함하는 스퍼터장치
[청구항2]
청구항 1에 있어서,상기 백킹플레이트 일면은,상기 제 1 평면부에 밀착되는 제 2 평면부와;상기 요입부를 따라 밀착되도록 돌출된 돌출부포함하는스퍼터장치
[청구항4]
청구항 1에 있어서,인듐-틴-옥사이드재질인스퍼터장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스퍼터장치에서 타겟의 요입부와 백킹플레이트의 구성 요소는 어떠한 구조적 대응 관계를 가지는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation타겟의 요입부와 백킹플레이트 구성 요소 간의 구조적 대응 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction타겟은 제 1 평면부와 그 사이에 위치한 요입부를 포함하며, 백킹플레이트 일면은 제 2 평면부와 돌출부를 포함한다.
- 제 1 평면부와
- 제 1 평면부 사이에 위치되고, 상기 제 1 평면부보다 작은 두께를 가지도록 상기 타겟 일면 방향으로 인입된 요입부
- 제 2 평면부와;상기 요입부를 따라 밀착되도록 돌출된 돌출부
-
3근거 선택
evidence_selection타겟의 요입부와 백킹플레이트의 돌출부, 그리고 제 1 평면부와 제 2 평면부의 대응 관계를 나타내는 문구를 선택한다.
- 제 1 평면부에 밀착되는 제 2 평면부
- 상기 요입부를 따라 밀착되도록 돌출된 돌출부
-
4논리 통합
logical_integration타겟의 제 1 평면부에는 백킹플레이트의 제 2 평면부가 밀착되고, 타겟의 요입부에는 백킹플레이트의 돌출부가 밀착되는 구조임을 도출한다.
- 제 1 평면부에 밀착되는 제 2 평면부
- 상기 요입부를 따라 밀착되도록 돌출된 돌출부
-
5결론 도출
conclusion_formulation타겟의 형상에 맞춰 백킹플레이트가 돌출부와 평면부를 통해 밀착되는 대응 구조를 가진다.
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6답변 생성
answer_generation분석된 대응 관계를 정리하여 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 제 1 평면부와
- 제 1 평면부 사이에 위치되고, 상기 제 1 평면부보다 작은 두께를 가지도록 상기 타겟 일면 방향으로 인입된 요입부
- 제 2 평면부와;상기 요입부를 따라 밀착되도록 돌출된 돌출부
- 제 1 평면부에 밀착되는 제 2 평면부
- 상기 요입부를 따라 밀착되도록 돌출된 돌출부
최종 답변 (final_answer)
타겟의 제 1 평면부에는 백킹플레이트 일면의 제 2 평면부가 밀착되며, 타겟의 요입부에는 백킹플레이트 일면의 돌출부가 요입부를 따라 밀착되는 구조적 대응 관계를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
타겟의 요입부 형상에 대응하여 백킹플레이트가 돌출부를 가짐으로써 두 구성 요소가 밀착되도록 설계된 구조이다.