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분할 마스크

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630e4f30-b970-5bb5-acd0-cc060e46ce4c
출원번호
1020160114309
출원연도
IPC
C23C 14/04
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 적어도 하나의 개구 패턴을 포함하는 본체부; 및 상기 본체부의 양단에 배치되는 클램핑부 를 포함하고, 상기 클램핑부는 상기 본체부와 멀어질수록 더 넓은 폭을 갖고, 상기 본체부에서 연장되어 적어도 하나의 더미 패턴을 포함하는 팬아웃부, 및 상기 팬아웃부에서 멀어질수록 더 작은 폭을 갖는 적어도 하나의 가지부를 포함하는 분할 마스크 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 가지부는 상기 본체부의 외측면과 평행한 외측면을 갖는 단부포함하는분할 마스크. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 가지부는제1가지부제2가지부를포함하는분할 마스크. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 제 1 가지부는 상기 제 2 가지부와 좌우대칭인분할 마스크. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 제 1 가지부의 내측단과 상기 제 2 가지부의 내측단사이의 폭상기 본체부의 폭보다 큰 분할 마스크. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 제 1 가지부 및 제 2 가지부는 상기 본체부와 각각 135°이상 180°미만의 각도갖는분할 마스크. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 더미 패턴nan은상기개구패턴동일한형태인분할 마스크. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,체부 및 상기 클램핑부는금속으로 이루어진분할 마스크. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,체부와 상기 클램핑부 사이에 배치되는 접합부더 포함하는분할 마스크. [청구항 10] 개구 패턴을 포함하는 본체부; 및 상기 본체부의 양단에 배치되고, 더미 패턴을 포함하는 클램핑부 를 포함하고, 상기 본체부는 본체부의 중앙에 위치한 중앙부를 포함하고, 상기 중앙부로부터 양단에 가까워질수록 더 넓은 폭을 갖는 분할 마스크 [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 클램핑부는제1가지부제2가지부를포함하는분할 마스크. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 제 1 가지부는 상기 제 2 가지부와 좌우대칭인분할 마스크. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 제 1 가지부 및 상기 제 2 가지부는 상기 본체부와 각각 135°이상 180°미만의 각도갖는분할 마스크.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1에 따른 분할 마스크에서 클램핑부의 구성 요소인 팬아웃부와 가지부의 폭 변화 양상은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    청구항 1에 기재된 클램핑부의 구성 요소인 팬아웃부와 가지부의 폭 변화 양상을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1에서 팬아웃부와 가지부의 폭에 관한 설명을 추출한다.

    • 상기 클램핑부는 상기 본체부와 멀어질수록 더 넓은 폭을 갖고, 상기 본체부에서 연장되어 적어도 하나의 더미 패턴을 포함하는 팬아웃부, 및 상기 팬아웃부에서 멀어질수록 더 작은 폭을 갖는 적어도 하나의 가지부를 포함하는 분할 마스크
  3. 3근거 선택evidence_selection

    팬아웃부의 폭 변화와 가지부의 폭 변화를 나타내는 직접적인 구절을 선택한다.

    • 상기 클램핑부는 상기 본체부와 멀어질수록 더 넓은 폭을 갖고, 상기 본체부에서 연장되어 적어도 하나의 더미 패턴을 포함하는 팬아웃부, 및 상기 팬아웃부에서 멀어질수록 더 작은 폭을 갖는 적어도 하나의 가지부를 포함하는 분할 마스크
  4. 4논리 통합logical_integration

    팬아웃부는 본체부로부터 멀어질수록 폭이 증가하고, 가지부는 팬아웃부로부터 멀어질수록 폭이 감소하는 상반된 변화 양상을 가짐을 통합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    팬아웃부는 본체부에서 멀어질수록 폭이 넓어지며, 가지부는 팬아웃부에서 멀어질수록 폭이 좁아진다는 결론을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대하여 추출된 정보를 바탕으로 완성된 문장으로 답변을 생성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 클램핑부는 상기 본체부와 멀어질수록 더 넓은 폭을 갖고, 상기 본체부에서 연장되어 적어도 하나의 더미 패턴을 포함하는 팬아웃부, 및 상기 팬아웃부에서 멀어질수록 더 작은 폭을 갖는 적어도 하나의 가지부를 포함하는 분할 마스크
최종 답변 (final_answer)
팬아웃부는 본체부로부터 멀어질수록 폭이 더 넓어지는 양상을 보이며, 가지부는 팬아웃부로부터 멀어질수록 폭이 더 작아지는 양상을 보인다.
핵심 해석 (core_interpretation)
분할 마스크의 클램핑부 구성 요소인 팬아웃부와 가지부가 본체부 및 팬아웃부로부터의 거리에 따라 각각 폭이 증가하거나 감소하는 구조적 특징을 나타낸다.