ＣＶＤ 장치

[청구항3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반송실에 제 1 퍼지가스의 도입부를 형성하고, 상기 링척과 상기 지지부재간에 형성된 상기 틈새에 의하여 상기 반송실에서 상기 성막실 또는 상기 배기실에 상기 제 1 퍼지가스가 흐르는구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반송실에 제 1 퍼지가스의 도입부를 형성하고, 상기 링척과 상기 지지부재간에 형성된 상기 틈새에 의하여 상기 반송실에서 상기 성막실 또는 상기 배기실에 상기 제 1 퍼지가스가 흐르는구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항4] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 링척과 상기 지지부재의 대향하는 부분에, 적어도 일부분이 서로 깊게 합치는요철형성하는것을특징으로 하는cvd 장치. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 링척과 상기 지지부재의 대향하는 부분에, 적어도 일부분이 서로 깊게 합치는요철형성하는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항5] 제 3 항에 있어서,상기 가열홀더의 내부에 상기 제 1 퍼지가스의 공급로를 복수개 형성하고, 상기 제 1 퍼지가스를 축대칭으로 상기 반송실로취출하구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 가열홀더의 내부에 상기 제 1 퍼지가스의 공급로를 복수개 형성하고, 상기 제 1 퍼지가스를 축대칭으로 상기 반송실로취출하구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 링척은 내주연의 하부에 테이퍼부가 형성되고, 상기 테이퍼부에 의하여 상기 기판을 눌러 고정시킴과 동시에, 상기 테이퍼부에 형성된 제 2 퍼지가스의 출구에서 상기 기판 외주부에 상기 제 2 퍼지가스를 방출하는구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 링척은 내주연의 하부에 테이퍼부가 형성되고, 상기 테이퍼부에 의하여 상기 기판을 눌러 고정시킴과 동시에, 상기 테이퍼부에 형성된 제 2 퍼지가스의 출구에서 상기 기판 외주부에 상기 제 2 퍼지가스를 방출하는구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항7] 제 6 항에 있어서,상기 제 2 퍼지가스의 출구는 상기 링척의 내주를 따라서형성되어있는것을특징으로 하는cvd 장치. 제 6 항에 있어서,상기 제 2 퍼지가스의 출구는 상기 링척의 내주를 따라서형성되어있는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항8] 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 제 2 퍼지가스의 출구는 상기 기판과의 접촉부보다내주측위치하는것을특징으로 하는cvd 장치. 제 6 항에 있어서,상기 제 2 퍼지가스의 출구는 상기 기판과의 접촉부보다내주측위치하는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항9] 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 퍼지가스의 출구는 상기 퍼지가스가 상기 기판면에 대하여 거의 수직으로 방출되도록구성한것을특징으로 하는cvd 장치. 제 6 항에 있어서,상기 제 2 퍼지가스의 출구는 상기 퍼지가스가 상기 기판면에 대하여 거의 수직으로 방출되도록구성한것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항10] 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 링척에 상기 제 2 퍼지가스의 도입구 및 이것과 연통되는 가스공급구를 복수개 형성하고, 상기 복수의 가스공급로가 상기 내주측에 형성된 환형상 공급로를 통하여상기제2퍼지가스의출구연결되어있는것을특징으로 하는cvd 장치. 제 6 항에 있어서,상기 링척에 상기 제 2 퍼지가스의 도입구 및 이것과 연통되는 가스공급로를 복수개 형성하고, 상기 복수의 가스공급로가 상기 내주측에 형성된 환형상 공급로를 통하여상기제2퍼지가스의출구연결되어있는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항11] 제 10 항에 있어서,상기 가열홀더에 상기 제 2 퍼지가스의 공급로와 이것에 연통되는 취출구가 복수개 형성되고, 상기 복수의 취출구를 상기 링척의 상기 복수의 제 2 퍼지가스의 도입구에 대응하는 위치에 형성하고, 상기 제 2 퍼지가스의 상기 취출구에서 취출된 상기 제 2 퍼지가스가 상기 링척의 상기 제 2 퍼지가스의 도입구로 보내지는구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. 제 10 항에 있어서,상기 가열홀더에 상기 제 2 퍼지가스의 공급로와 이것에 연통되는 취출구가 복수개 형성되고, 상기 복수의 취출구를 상기 링척의 상기 복수의 제 2 퍼지가스의 도입구에 대응하는 위치에 형성하고, 상기 제 2 퍼지가스의 상기 취출구에서 취출된 상기 제 2 퍼지가스가 상기 링척의 상기 제 2 퍼지가스의 도입구로 보내지는구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항12] 제 11 항에 있어서,상기 가열홀더의 상기 제 2 퍼지가스의 상기 취출구부와 상기 링척의 상기 제 2 퍼지가스의 상기 도입구부가 서로 깊게 합치도록요철관계에있는것을특징으로 하는cvd 장치. 제 11 항에 있어서,상기 가열홀더의 상기 제 2 퍼지가스의 취출구부와 상기 링척의 상기 제 2 퍼지가스의 도입구부가 서로 깊게 합치도록요철관계에있는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항13] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 가스도입부의 내부를 배기하기 위한제2의배기기구형성하는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항14] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 링척은 상기 반송실과 상기 성막실 및/또는 상기 배기실과의 압력차에 의하여 이동하지 않는중량구성인것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항15] 제 14 항에 있어서,상기 링척은 상기 기판을 균등하게 가중하는구조로한것을특징으로 하는cvd 장치. 제 14 항에 있어서,상기 링척은 상기 기판을 균등하게 가중하는구조로한것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항17] 제 16 항에 있어서,상기 퍼지가스의 출구는 상기 링척의 내주를 따라서형성되어있는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항18] 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,상기 퍼지가스의 출구는 상기 기판과의 접촉부보다내주측위치하는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항19] 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 퍼지가스의 출구는 상기 퍼지가스가 상기 기판면에 대하여 거의 수직으로 방출되도록구성한것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항20] 제 16 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 링척에 상기 퍼지가스의 도입구 및 이것과 연통되는 가스공급구를 복수개 형성하고, 상기 복수의 가스공급로가 내주측에 형성된 환형상 공급로를 통하여상기제2퍼지가스의상기출구연통되어있는것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항21] 제 20 항에 있어서,상기 가열홀더에 상기 퍼지가스의 상기 공급로와 이것에 연통되는 취출구가 복수개 형성되고, 상기 복수의 취출구를 상기 링척의 상기 복수의 퍼지가스의 도입구에 대응하는 위치에 형성하고, 상기 퍼지가스의 취출구에서 취출된 퍼지가스가 상기 링척의 상기 퍼지가스의 도입구로 보내어지는구성으로한것을특징으로 하는cvd 장치. [청구항22] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,의 박막형성에사용하는것을특징으로 하는cvd 장치. 제 1 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,의 박막형성에사용하는것을특징으로 하는cvd 장치.