실리콘 기판 제조 장치

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 제 1 도가니부의 재질은흑연인것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 제 2 도가니부의 재질은쿼츠인것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 제 1 도가니부는 실리콘카바이드(sic)또는질화실리콘코팅되는것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 5] 제 1항에 있어서,제 2 도가니부의 제 2 경사부는 마주하는 상기 제 1 도가니부의 측면부보다 하 방향으로 길이가 긴 것특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 주조부는 상기 제 1 주조부와 상기 제 2 주조부 사이에 실리콘 기판이 형성되는주조공간갖는것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 도가니부 및 상기 주조부가 내부에 수용되는 메인 챔버;상기 메인 챔버의 외측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바; 상기 더미바에 체결 가능한 더미바 체결부; 및상기 메인 챔버 일측에 배치되고, 상기 더미바 체결부 외측을 감싸며 상기 더미바의 길이 방향을 따라 늘어나거나 줄어드는 차폐부더 포함하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 차폐부의 재질은 스테인레스강 또는 알루미늄합금인것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 9] 제 7항에 있어서,상기 더미바 체결부가 상기 주조부의 길이방향으로 이동 가능하도록 구동력을 부여하는 구동부더 포함하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 10] 제 1항에 있어서,밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버를 더 포함하고,상기 도가니부는 상기 메인 챔버 내에 설치되며, 상측을 관통하는 원료 주입구를 갖는 원료 주입부 및 상기 원료 주입구와 소정 간격으로 이격되며 상측을 관통하는 가스 주입구를 갖는 가스 주입부를 포함하고, 상기 메인 챔버 상측에 배치되며 실리콘 원료물질이 저장되는 원료 공급몸체부, 상기 원료 공급몸체부와 상기 원료 주입부를 연결하는 원료 공급관 및 상기 원료 공급관의 개폐를 제어하는 제 1 밸브를 포함하는 원료 공급부; 및상기 비활성 가스를 상기 도가니부 내에 공급하는 가스 공급부더 포함하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 가스 공급부에서 비활성 가스를 공급하여 상기 메인 챔버와 상기 도가니부를동시가압하는것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 12] 제 10항에 있어서,상기 가스 공급부는상기 비활성 가스를 발생시키거나 비활성 가스를 저장하는 공간을 제공하는 가스 발생부;상기 가스 발생부 및 상기 가스 주입부와 연결하는 가스 공급관; 및상기 가스 발생부와 상기 가스 공급관 사이에 배치되는 제 2 밸브포함하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 주조부는 상기 제 1 주조부와 상기 제 2 주조부 사이에 실리콘 기판이 형성되는주조공간갖는것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 15] 제 13항에 있어서,상기 주조부의 외측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바; 상기 더미바에 체결 가능한 더미바 체결부; 및상기 주조 공간에서 액상의 실리콘 용탕이 외부의 대기가 접촉하는 것을 방지하도록 상기 더미바 및 상기 더미바 체결부의 외측을 밀폐시키는 차폐부더 포함하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 16] 제 13항에 있어서,상기 주조부에 일측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바를 더 포함하고,상기 더미바의 재질은단결정물질인것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 17] 제 13항에 있어서,밀폐된 공간을 제공하는 메인 챔버를 더 포함하고,상기 도가니부는 상기 도가니부의 상측을 관통하는 주입구를 갖는 주입부 포함하고,상기 주입부에 실리콘 원료를 공급하는 원료 공급부; 및상기 주입부에 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하고,상기 원료 공급부 또는 상기 가스 공급부는 상기 도가니부의 주입부와 연결되는 하나의 공급관을 동시포함하는실리콘 기판 제조 장치. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 주조부의 일측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바를 더 포함하고,상기 더미바의 재질은 단결정물질인실리콘 기판 제조 장치. [청구항 20] 제 18항에 있어서,상기 도가니부는 상측을 관통하는 주입구를 갖는 주입부를 갖고,상기 주입부에 실리콘 원료를 공급하는 원료 공급부; 및 상기 주입부에 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하고,상기 주입부에 상기 실리콘 원료와 상기 가스가선택적공급되는것을특징으로 하는실리콘 기판 제조 장치.