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반도체 소자 테스트 장치 및 이를 이용한 테스트 완료된반도체 소자 이송 방법

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출원번호
1020070049584
출원연도
2007
IPC
H01L 21/66
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 반도체 소자의 양/부를 테스트 하는 반도체 소자 테스트 장치에 있어서, 테스트 트레이에 복수개로 안착된 상기 반도체 소자를 테스트하는 테스터 테스트된 상기 반도체 소자가 테스트 결과 등급에 따라 분류 적재되는 언로드부 상기 테스터로부터 배출된 상기 테스트 트레이의 고정 위치와 상기 언로드부 사이에 배치되는 언로드 버퍼 상기 테스트 트레이로부터 복수개의 반도체 소자들을 픽업하고, 상기 테스트 결과 등급이 1 등급인 반도체 소자만을 선별하여 상기 언로드 버퍼의 일부 영역에 정렬 배치한 후, 나머지 반도체 소자들을 상기 언로드 버퍼의 나머지 영역에 그대로 적재하는 제1언로드 피커; 및 상기 언로드 버퍼로부터 상기 일부 영역의 상기 1 등급 반도체 소자들은 그대로 픽업하여 상기 언로드부에 전달하고, 상기 나머지 영역의 나머지 등급의 반도체 소자들에 대해서는 픽업한 후 상기 테스트 결과 등급에 따라 선별적으로 분류하여 상기 언로드 부에 전달하는 제2언로드 피커 를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제2언로드 피커는 픽업된 상기 반도체 소자를 상기 테스트 결과 등급에 따라 각각 상이한커스터머트레이전달하는것을특징으로 하는상기 반도체 소자 테스트 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,로드 버퍼가 상기 테스트 트레이의 고정 위치와 상기 언로드부 사이를 이동할 수구비되어있는것을특징으로 하는상기 반도체 소자 테스트 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,로드 버퍼nan가2개이상구비된것을특징으로 하는상기 반도체 소자 테스트 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 제1언로드 피커가 상기 테스트 트레이로부터 상기 2개 이상의 언로드 버퍼 하나에 상기 반도체 소자를 적재하는 동안, 상기 제2언로드 피커가 상기 2개 이상의 언로드 버퍼중 나머지 하나로부터 상기 언로드부의 커스터머 트레이에상기반도체 소자적재하는것을특징으로 하는상기 반도체 소자 테스트 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 소자 테스트 장치에서 제1언로드 피커와 제2언로드 피커가 언로드 버퍼 내의 반도체 소자들을 처리하는 방식의 차이는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제1언로드 피커와 제2언로드 피커가 언로드 버퍼 내의 반도체 소자를 처리하는 방식의 차이점을 분석한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    제1언로드 피커는 1등급 소자를 특정 영역에 정렬 배치하고 나머지는 그대로 적재하며, 제2언로드 피커는 1등급은 그대로 픽업하고 나머지는 등급별로 분류하여 전달한다.

    • 상기 테스트 트레이로부터 복수개의 반도체 소자들을 픽업하고, 상기 테스트 결과 등급이 1 등급인 반도체 소자만을 선별하여 상기 언로드 버퍼의 일부 영역에 정렬 배치한 후, 나머지 반도체 소자들을 상기 언로드 버퍼의 나머지 영역에 그대로 적재하는 제1언로드 피커; 및 상기 언로드 버퍼로부터 상기 일부 영역의 상기 1 등급 반도체 소자들은 그대로 픽업하여 상기 언로드부에 전달하고, 상기 나머지 영역의 나머지 등급의 반도체 소자들에 대해서는 픽업한 후 상기 테스트 결과 등급에 따라 선별적으로 분류하여 상기 언로드 부에 전달하는 제2언로드 피커
  3. 3근거 선택evidence_selection

    두 피커의 동작 방식이 기술된 청구항 1의 핵심 구절을 선택한다.

    • 제1언로드 피커; 및 상기 언로드 버퍼로부터 상기 일부 영역의 상기 1 등급 반도체 소자들은 그대로 픽업하여 상기 언로드부에 전달하고, 상기 나머지 영역의 나머지 등급의 반도체 소자들에 대해서는 픽업한 후 상기 테스트 결과 등급에 따라 선별적으로 분류하여 상기 언로드 부에 전달하는 제2언로드 피커
  4. 4논리 통합logical_integration

    제1언로드 피커는 테스트 트레이에서 소자를 가져와 버퍼에 '적재'하는 역할을 수행하고, 제2언로드 피커는 버퍼에 적재된 소자를 '전달'하는 역할을 수행함을 파악한다. 또한 제1피커는 버퍼 내 정렬/적재를 수행하고, 제2피커는 1등급은 그대로 픽업하고 나머지는 분류하여 전달하는 차이가 있다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    제1언로드 피커는 테스트 트레이에서 소자를 픽업하여 1등급은 정렬 배치하고 나머지는 그대로 적재하는 방식으로 버퍼에 배치하며, 제2언로드 피커는 버퍼의 1등급 소자는 그대로 픽업하고 나머지 등급은 분류하여 언로드부에 전달하는 방식으로 처리한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 두 피커의 동작 차이를 명확히 기술하여 답변을 생성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 테스트 트레이로부터 복수개의 반도체 소자들을 픽업하고, 상기 테스트 결과 등급이 1 등급인 반도체 소자만을 선별하여 상기 언로드 버퍼의 일부 영역에 정렬 배치한 후, 나머지 반도체 소자들을 상기 언로드 버퍼의 나머지 영역에 그대로 적재하는 제1언로드 피커; 및 상기 언로드 버퍼로부터 상기 일부 영역의 상기 1 등급 반도체 소자들은 그대로 픽업하여 상기 언로드부에 전달하고, 상기 나머지 영역의 나머지 등급의 반도체 소자들에 대해서는 픽업한 후 상기 테스트 결과 등급에 따라 선별적으로 분류하여 상기 언로드 부에 전달하는 제2언로드 피커
  • 제1언로드 피커; 및 상기 언로드 버퍼로부터 상기 일부 영역의 상기 1 등급 반도체 소자들은 그대로 픽업하여 상기 언로드부에 전달하고, 상기 나머지 영역의 나머지 등급의 반도체 소자들에 대해서는 픽업한 후 상기 테스트 결과 등급에 따라 선별적으로 분류하여 상기 언로드 부에 전달하는 제2언로드 피커
최종 답변 (final_answer)
제1언로드 피커는 테스트 트레이로부터 반도체 소자들을 픽업하여 1등급 소자는 언로드 버퍼의 일부 영역에 정렬 배치하고, 나머지 소자들은 나머지 영역에 그대로 적재하는 방식으로 처리한다. 반면, 제2언로드 피커는 언로드 버퍼의 일부 영역에 있는 1등급 소자들은 그대로 픽업하여 언로드부에 전달하고, 나머지 영역의 소자들은 픽업 후 테스트 결과 등급에 따라 선별적으로 분류하여 언로드부에 전달하는 방식으로 처리한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제1언로드 피커를 통해 테스트 트레이의 소자를 등급별로 구분하여 언로드 버퍼에 효율적으로 적재하고, 제2언로드 피커를 통해 버퍼 내 소자를 등급별로 분류하여 언로드부에 전달함으로써 반도체 소자의 분류 및 이송 공정을 최적화하는 기술이다.