역압대응형 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항3] 제1항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 피크 스토퍼의 외벽에서 상기 다수의 볼트공을 향해 관통되어상기다수의볼트공내의잔류공기제거하는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제2항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 피크 스토퍼의 외벽에서 상기 다수의 볼트공을 향해 관통되어상기다수의볼트공내의잔류공기제거하는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항4] 제2항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공 모두에연통되게일체마련되는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공 모두에연통되게일체마련되는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항5] 제2항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공에하나씩대응되게마련되는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공에하나씩대응되게마련되는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항6] 제1항에 있어서,상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 상기 피크 스토퍼의 표면은 경사진경사면형성하는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 상기 피크 스토퍼의 표면은 경사진경사면형성하는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항7] 제1항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시 및 풀 겸용 실린더(push or pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시 및 풀 겸용 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항8] 제7항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제7항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항9] 제8항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제8항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항11] 제10항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제10항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항12] 제11항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. 제11항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는역압대응형 게이트 밸브. [청구항14] 제13항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. 제13항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항15] 제14항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 피크 스토퍼의 외벽에서 상기 다수의 볼트공을 향해 관통되어상기다수의볼트공내의잔류공기제거하는것을특징으로 하는진공처리장치. 제14항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 피크 스토퍼의 외벽에서 상기 다수의 볼트공을 향해 관통되어상기다수의볼트공내의잔류공기제거하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항16] 제14항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공 모두에연통되게일체마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. 제14항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공 모두에연통되게일체마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항17] 제13항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. 제13항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시 및 풀 겸용 실린더(push or pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시 및 풀 겸용 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항18] 제17항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. 제17항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항19] 제18항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. 제18항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항21] 제20항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. 제20항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항22] 제21항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. 제21항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항23] 제13항 또는 제20항에 있어서,상기 제1 진공챔버와 상기 제2 진공챔버는 oled(organic light emitting diodes) 제작을 위한진공챔버인것을특징으로 하는진공처리장치. 제13항 또는 제20항에 있어서,상기 제1 진공챔버와 상기 제2 진공챔버는 oled(organic light emitting diodes) 제작을 위한진공챔버인것을특징으로 하는진공처리장치.