문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 제 1가스챔버에 연통되어 상기 제 1가스를 상기 제1 가스챔버로 공급하는 제 1공급관과,상기 제 1가스챔버에 연통되어 상기 제 1가스를 상기 제1 가스챔버로 공급하는제1공급관더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 제 1공급관 또는 상기 제 2공급관은선단부가 확관되어 상기 제 1가스챔버와또는상기제1가스챔버의내부위치하는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항 4]
제1 항에 있어서,상기 본체는제 1판과,상기 제 1판의 테두리에 결합되는 외벽과,상기 제 1판으로부터 이격되어 상기 외벽에 결합되는 제 2판과,상기 제 1가스챔버와 상기 제 2가스챔버의 사이에 배치되는 격벽을 포함하며, 상기 제 1가스챔버 및 상기 제 2가스챔버는 상기 제 1판에 의해개폐되는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항 5]
제4 항에 있어서,상기 제 2판과 상기 외벽과 상기 격벽은 일체이며, 상기 제 1가스챔버와 상기 제 1판의 사이 및 상기 제 2가스챔버와 상기 제 1판의 사이에 각각 설치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항 6]
제4 항에 있어서,상기 제 2판으로부터 이격되고 테두리가 상기 외벽에 결합되어 냉각챔버를 형성하는 제 3판을 더 포함하며, 상기 제 3판에는 상기 제 1토출공 또는 상기 제 2토출공과 동축을 이루는제3토출공형성되는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항 7]
제6 항에 있어서,상기 제 1토출공과 제 3토출공에 삽입되고, 상기 제 2토출공과 상기 제3 토출공에 삽입되며, 일단부가 상기 제 1가스챔버 또는 상기 제 2가스챔버에 개방되며, 타단부가 상기 본체의 외부로 개방되는토출관더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항 9]
제 8항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 제 1가스챔버에 연통되어 상기 제 1가스를 상기 제1 가스챔버로 공급하는 제 1공급관과,상기 제 1가스챔버에 연통되어 상기 제 1가스를 상기 제1 가스챔버로 공급하는제1공급관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 10]
제 8항에 있어서,상기 제 1공급관 또는 상기 제 2공급관은선단부가 확관되어상기제1가스챔버또는상기제1가스챔버의내부위치하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 11]
제 8항에 있어서,상기 본체는제 1판과,상기 제 1판의 테두리에 결합되는 외벽과,상기 제 1판으로부터 이격되어 상기 외벽에 결합되는 제 2판과,상기 제 1가스챔버와 상기 제 2가스챔버의 사이에 배치되는 격벽을 포함하며, 상기 제 1가스챔버 및 상기 제 2가스챔버는 상기 제 1판에 의해개폐되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 12]
제 11항에 있어서,상기 제 2판과 상기 외벽과 상기 격벽은 일체이며, 상기 샤워헤드는 상기 제 1가스챔버와 상기 제 1판의 사이 및 상기 제 2가스챔버와 상기 제 1판의 사이에 각각 설치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 13]
제 11항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 제 2판으로부터 이격되고 테두리가 상기 외벽에 결합되어 냉각챔버를 형성하는 제 3판을 더 포함하며, 상기 제 3판에는 상기 제 1토출공 또는 상기 제 2토출공과 동축을 이루는제3토출공형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 14]
제 13항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 제 1토출공과 제 3토출공에 삽입되고, 상기 제 2토출공과 상기 제3 토출공에 삽입되며, 일단부가 상기 제 1가스챔버 또는 상기 제 2가스챔버에 개방되며, 타단부가 상기 본체의 외부로 개방되는토출관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 15]
제 13항에 있어서,셉터를 지지하고, 상기 서셉터를 회전되도록 하는회전축더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 16]
제 15항에 있어서,상기 제 1가스챔버 또는 상기 제 2가스챔버 중어느 하나는상기본체의중심부배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 17]
제 8항에 있어서,상기 제 1가스챔버와 상기 제 2가스챔버는상기 본체의 중심부로부터방사형배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 18]
제 8항에 있어서,상기 제 1가스챔버와 상기 제 2가스챔버는 상기 서셉터가 회전되는 방향으로 회전되는형태의회오리형태배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항 19]
제 17항, 또는 제 18항에 있어서,상기 제 1가스챔버와 상기 제 2가스챔버는 서로 이웃하는 가스챔버가 다른가스챔버배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
샤워헤드의 본체 구성 중 제 2판, 외벽, 격벽이 일체로 이루어진 경우, 제 1가스챔버와 제 2가스챔버의 기밀을 유지하기 위해 추가로 포함되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 2판, 외벽, 격벽이 일체인 조건에서 제 1가스챔버와 제 2가스챔버의 기밀 유지를 위해 추가되는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5(또는 청구항 12)에서 제 2판, 외벽, 격벽이 일체인 경우에 대한 기술 내용을 추출한다.
- 상기 제 2판과 상기 외벽과 상기 격벽은 일체이며, 상기 제 1가스챔버와 상기 제 1판의 사이 및 상기 제 2가스챔버와 상기 제 1판의 사이에 각각 설치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드
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3근거 선택
evidence_selection일체형 구성 시 기밀 유지를 위해 설치되는 구성 요소인 '기밀부재'를 확인한다.
- 상기 제 1가스챔버와 상기 제 1판의 사이 및 상기 제 2가스챔버와 상기 제 1판의 사이에 각각 설치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드
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4논리 통합
logical_integration제 2판, 외벽, 격벽이 일체로 구성되면 가스챔버와 제 1판 사이의 기밀을 위해 기밀부재가 추가로 필요함을 파악한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation추가되는 구성 요소는 '기밀부재'이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 '기밀부재'를 도출한다.
근거 (evidence)
- 상기 제 2판과 상기 외벽과 상기 격벽은 일체이며, 상기 제 1가스챔버와 상기 제 1판의 사이 및 상기 제 2가스챔버와 상기 제 1판의 사이에 각각 설치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드
- 상기 제 1가스챔버와 상기 제 1판의 사이 및 상기 제 2가스챔버와 상기 제 1판의 사이에 각각 설치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는샤워헤드
최종 답변 (final_answer)
기밀부재를 추가 구성 요소로 포함한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
샤워헤드 본체의 일부 구성(제 2판, 외벽, 격벽)이 일체형으로 제작될 경우, 가스챔버와 제 1판 사이의 기밀성을 확보하기 위해 별도의 기밀부재를 배치하는 기술적 구성을 나타낸다.