증착 장치

[청구항 1] 진공 챔버 내에 증착원 유닛을 갖는 증착 장치로서, 상기 증착원 유닛은, 증발재를 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 개구부에 설치된 노즐과, 상기 도가니를 둘러싸고, 히터를 수용하는 히터실과, 고정구를 갖고, 상기 도가니의 내벽과 상기 히터실 사이에는, 상기 도가니에서 용융된 상기 증발재 또는 상기 증발재의 증기가 상기 히터실에 침입하는 것을 저지하는 절결을 갖는 것을 특징으로 하는 증착원 유닛을 갖는 증착 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 노즐은 상기 고정구보다도 상방으로 밀려나와 있는구조인것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 노즐의 개구는횡방향인것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 증발원 유닛의 축은 비스듬히 배치되고, 상기 노즐의 개구는횡방향인것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 노즐에 보조 히터를 구비하고, 상기 노즐이상기증발원의융점이상가열되는것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 보조 히터가 도가니 내에 매립된구조인것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 7] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 히터실은, 상기 도가니와 상기 도가니를 둘러싸는 외부 통의 공간에 형성되고, 상기 도가니의 턱이 상기 외부 통의 외부 측면으로까지 신장하는 도가니 외연부를 가지며, 또한, 도가니 외연부 단부가상기고정구측면단부신장되어있는것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 도가니 외연부를 갖는 증발원은 상기 외부 통을 냉각하는냉각 기구를상기외부통외부에갖는것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 도가니 외연부를 갖는 증발원은 상기 외부 통을 냉각하는냉각 기구를외부통자체내부에갖는것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 10] 진공 챔버 내에 증착원 유닛을 갖는 증착 장치로서, 상기 증착원 유닛은, 증발재를 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 개구부에 설치된 노즐과, 상기 도가니를 둘러싸고, 히터를 수용하는 히터실과, 고정구를 갖고, 상기 도가니는 턱을 갖고, 상기 도가니 턱의 상방으로 대향하여 고정구가 존재하고, 상기 도가니의 내측 단부보다도 상기 고정구의 내측 단부가 외측에 존재하는 것을 특징으로 하는 증착 장치 [청구항 11] 진공 챔버 내에 증착원 유닛을 갖는 증착 장치로서, 상기 증착원 유닛은, 증발재를 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 개구부에 설치된 노즐과, 상기 도가니를 둘러싸고, 히터를 수용하는 히터실과, 고정구를 갖고, 상기 도가니는 턱을 갖고, 상기 노즐은 상기 도가니에 설치되고, 상기 노즐의 개구부를 포함하는 평면에는 대향하는 부재가 존재하지 않는 것을 특징으로 하는 증착 장치 [청구항 12] 제10항 또는 제11항에 있어서,상기 노즐은, 상기 도가니의 턱을 포함하는 평면에 대하여 수직 방향 외측으로 돌출되어형성되어있는것을특징으로 하는증착 장치. [청구항 13] 진공 챔버 내에 증착원 유닛을 갖는 증착 장치로서, 상기 증착원 유닛은, 증발재를 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 개구부에 설치된 노즐과, 상기 도가니를 둘러싸고, 히터를 수용하는 히터실과, 고정구를 갖고, 상기 도가니는 턱을 갖고, 상기 노즐의 하단부는 상기 도가니의 내벽에 존재하고 있고, 상기 노즐은 평판이고, 상기 노즐의 외측 대향 부분에는 다른 부재가 존재하지 않는 것을 특징으로 하는 증착 장치 [청구항 14] 진공 챔버 내에 증착원 유닛을 갖는 증착 장치로서, 상기 증착원 유닛은, 증발재를 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 개구부에 설치된 노즐과, 상기 도가니를 둘러싸고, 히터를 수용하는 히터실과, 고정구를 갖고, 상기 도가니는 턱을 갖고, 상기 노즐의 하단부는 상기 도가니의 내벽에 존재하고 있고, 상기 노즐은 통 형상이며, 상기 도가니의 턱을 포함하는 평면에 대하여 수직 방향 외측으로 돌출하고 있고, 상기 노즐의 선단부는 평면으로 되어 있고, 상기 평면에 개구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 증착 장치