정전흡인 구동장치

[청구항 1] 이동방향을 따라 연장 설치된 고정자와, 상기 고정자에 대향 배치된 가동자와, 상기 고정자에 설치되고, 또한 상기 가동자에 대향하는 고정자 대향면으로부터 상기 가동자방향으로 수직으로 돌출함과 동시에, 상기 이동방향으로 정렬된 고정자측 전극과, 상기 가동자측에 설치되고, 또한 상기 고정자 대향면에 대향하는 가동자 대향면으로부터 상기 고정자방향으로 수직으로 돌출함과 동시에, 상기 이동방향에 대하여 정렬된 가동자측 전극을 가지고, 상기 고정자측 전극과 가동자측 전극이, 상기 이동방향과 직교하고, 또한 상기양 대향면끼리 대향하는 방향과 직교하는 폭방향을 향하여 서로 대향 배치되어 있고, 상기 고정자측 전극과 가동자측 전극과의 대향부분에 발생하는 정전 흡인력에 의하여 상기 가동자가 상기 이동방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 정전흡인 구동장치 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 고정자 대향면에는 복수의 고정자측 전극이 상기 이동방향 및 상기 폭방향을 따라 소정의 간격으로 규칙 바르게 배치되고, 상기 가동자 대향면에는 복수의 가동자측 전극이 상기 고정자측 전극과는 겹치지 않는 위치에규칙배치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 폭방향으로 늘어서는 복수의 상기 고정자측 전극을 도통 접속하여 형성한 복수의 전극군이, 상기 이동방향으로 간격을 두고 평행하게 늘어서 있고, 2상 이상의 전기신호가 하나하나의 전극군에 주어짐으로써상기가동자구동되는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 가동자가, 소정의 저항을 거쳐접지되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 가동자와 접지전위와의 사이의 전기적인 접속의 상태가,소정의타이밍변환되는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 6] 고정자측 전극이 설치된 고정자와, 가동자측 전극을 가짐과 동시에, 상기 고정자에 대향하면서 이동방향으로 이동하는 가동자를 구비하고, 상기 고정자측 전극과 가동자측 전극과의 대향부분에 발생하는 정전 흡인력에 의하여 상기 가동자가 이동되는 정전흡인 구동장치에 있어서, 상기 가동자를 상기 이동방향으로 안내하는 가이드수단이, 상기 고정자와 가동자의 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 정전흡인 구동장치 [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 가이드수단이, 상기 고정자와 가동자의 한쪽의 대향면에 상기 이동방향을 따라 직선형상으로 형성된 안내홈과, 다른쪽의 대향면에 설치되고, 또한 상기 안내홈으로 들어간 상태에서 상기 이동방향을 따라 자유롭게 이동하는슬라이딩볼록부형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 8] 제 6항에 있어서,상기 가이드수단이, 상기 고정자와 가동자의 한쪽의 대향면에 전동 자유롭게 설치된 전동체와, 다른쪽의 대향면에 상기 전동체의 구름방향을 이동방향으로 안내하는직선형상의안내홈형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 한쪽의 대향면에는 상기 안내홈에 대향하여 연장되는유지홈형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 10] 제 7항에 있어서,상기 홈은, 제 1 사면과 상기 제 1 사면에 소정의 끼인각을 거쳐 대향하는 제2 사면을 가지는 v 자홈또는사다리꼴홈형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 11] 제 8항에 있어서,상기 홈은, 제 1 사면과 상기 제 1 사면에 소정의 끼인각을 거쳐 대향하는 제2 사면을 가지는 v 자홈또는사다리꼴홈형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 12] 제 8항에 있어서,상기 전동체는,구체또는원주체형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 13] 제 8항에 있어서,상기 전동체로서, 제 1 원주체와 제 2 원주체가 설치되어 있고, 상기 제 1 원주체의 회전축과 상기 제 2 원주체의 회전축이 다른 방향으로 경사져설치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 14] 제 8항에 있어서,상기 한쪽의 대향면에는 상기 안내홈에 대향하여 연장되는 유지홈이 형성되어 있고, 상기 구체가 상기 안내홈과 유지홈과의 사이에전동자유설치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 유지홈의 양측에는 상기 이동방향을 따라 연장되는벽부형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 16] 제 8항에 있어서,상기 한쪽의 대향면에는 정사각형상으로 이루어지는 유지구멍이 형성되어 있고, 상기 유지구멍에 상기 구체가전동자유설치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 17] 제 8항에 있어서,상기 가동자의 대향면에는 이동방향을 따라 평행하게 연장되는 깊이치수가 다른 1쌍의 평행홈과 상기 평행홈의 양쪽 끝끼리를 연결하는 1쌍의 u 자홈으로 형성된 대략 o자형상의 순환홈과, 상기 순환홈 내를 자유롭게 이동하는 복수의 구체가 설치되어 있고, 상기 고정자에는 상기 1쌍의 평행홈 중 깊이치수가 얕은 홈에 대향하는 안내홈이 상기 이동방향을 따라형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 19] 고정자측 전극이 설치된 고정자와, 가동자측 전극을 가짐과 동시에, 상기 고정자에 대향하면서 이동방향으로 이동 가능하게 지지된 가동자와, 상기 고정자측 전극에 소정의 전압신호를 주는 신호원을 구비하고, 상기 가동자가 상기 고정자측 전극과 상기 가동자측 전극과의 대향부분에 발생하는 정전 흡인력에 의하여 이동되는 정전흡인 구동장치에 있어서, 상기 가동자가, 도전체 또는 저저항체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전흡인 구동장치 [청구항 20] 제 19항에 있어서,상기 가동자가,저저항의실리콘형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 21] 제 19항에 있어서,상기 가동자측 전극 및 가동자의 전체가, 도전성 수지에 저저항체 재료를 혼련시킨수지형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 22] 제 19항에 있어서,상기 가동자의 저항치가, 1ω 이상 1kω이하의범위형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 23] 제 19항에 있어서,상기 가동자측 전극 및 고정자측 전극이, 상기 가동자 또는 고정자의 한쪽의 대향면으로부터 다른쪽의 대향면을 향하여 수직으로 돌출함과 동시에, 상기 이동방향으로 평행이 되는 1쌍의 긴 변부와 상기 이동방향의 양쪽 끝에 설치되는 1쌍의 짧은 변부를 가지고 있고, 상기 1쌍의 짧은 변부가 상기 이동방향으로 볼록해지는곡면형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 24] 제 19항에 있어서,상기 가동자와 그라운드 전위와의 사이에제전수단설치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 25] 이동방향을 따라 연장 설치된 고정자와, 상기 고정자에 대향 배치된 가동자와, 상기 고정자에 설치되고, 또한 상기 가동자에 대향하는 고정자 대향면으로부터 상기 가동자방향으로 수직으로 돌출함과 동시에 상기 이동방향으로 정렬된 고정자측 전극과, 상기 가동자측에 설치되고, 또한 상기 고정자 대향면에 대향하는 가동 자 대향면으로부터 상기 고정자 방향으로 수직으로 돌출함과 동시에, 상기 이동방향에 대하여 정렬된 가동자측 전극을 가지고, 상기 고정자측 전극과 가동자측 전극이, 상기 이동방향과 직교하고, 또한 상기 양 대향면끼리가 대향하는 방향과 직교하는 폭방향을 향하여 서로 대향 배치되어 있고, 상기 고정자측 전극과 가동자측 전극과의 대향부분에 발생하는 정전 흡인력에 의하여 상기 가동자가 상기 이동방향으로 이동되는 정전흡인 구동장치에 있어서, 상기 가동자를 상기 이동방향으로 안내하는 가이드수단이, 상기 고정자와 가동자의 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 정전흡인 구동장치 [청구항 26] 제 25항에 있어서,상기 가이드수단이, 상기 고정자와 가동자의 한쪽의 대향면에 상기 이동방향을 따라 직선형상으로 형성된 안내홈과, 다른쪽의 대향면에 설치되고, 또한 상기 안내홈 내로 들어간 상태에서 상기 이동방향을 따라 자유롭게 이동하는슬라이딩볼록부형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 27] 제 25항에 있어서,상기 가이드수단이, 상기 고정자와 가동자의 한쪽의 대향면에 전동 자유롭게 설치된 전동체와, 다른쪽의 대향면에 상기 전동체의 구름방향을 이동방향으로 안내하는직선형상의안내홈형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 28] 제 27항에 있어서,상기 한쪽의 대향면에는 상기 안내홈에 대향하여 연장되는유지홈형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 29] 제 26항에 있어서,상기 홈은 제 1 사면과 상기 제 1 사면에 소정의 끼인각을 거쳐 대향하는 제 2 사면을 가지는 v자홈또는사다리꼴홈형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 30] 제 27항에 있어서,상기 홈은, 제 1 사면과 상기 제 1 사면에 소정의 끼인각을 거쳐 대향하는 제2 사면을 가지는 v 자홈또는사다리꼴홈형성되어있는것을특징으로 하는정전 흡인구동장치. [청구항 31] 제 27항에 있어서,상기 전동체는,구체또는원주체형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 32] 제 27항에 있어서,상기 전동체로서, 제 1 원주체와 제 2 원주체가 설치되어 있고, 상기 제 1 원주체의 회전축과 상기 제 2 원주체의 회전축이 다른 방향으로 경사져설치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 33] 제 27항에 있어서,상기 한쪽의 대향면에는 상기 안내홈에 대향하여 연장되는 유지홈이 형성되어 있고, 상기 구체가 상기 안내홈과 유지홈과의 사이에전동자유설치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 34] 제 33항에 있어서,상기 유지홈의 양측에는 상기 이동방향을 따라 연장되는벽부형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 35] 제 27항에 있어서,상기 한쪽의 대향면에는 정사각형상으로 이루어지는 유지구멍이 형성되어 있고, 상기 유지구멍 내에 상기 구체가전동자유설치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 36] 제 27항에 있어서,상기 가동자의 대향면에는, 이동방향을 따라 평행하게 연장되는 깊이치수가 다른 1쌍의 평행홈과 상기 평행홈의 양쪽 끝끼리를 연결하는 1쌍의 u 자홈으로 형성된 대략 o자 형상의 순환홈과, 상기 순환홈 내를 자유롭게 이동하는 복수의 구체가 설치되어 있고, 상기 고정자에는 상기 1쌍의 평행홈 중 깊이치수가 얕은 홈에 대향하는 안내홈이 상기 이동방향을 따라형성되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치. [청구항 37] 제 32항에 있어서,표면이 도전막으로 덮힌 상기 고정자측의 안내홈과, 마찬가지로 표면이 도전막으로 덮힌 가동자측의 유지홈과, 상기 안내홈과 유지홈과의 사이를 자유롭게 전동하는 도전성의 구체와, 상기 고정자측의 도전막에 접속된 저항과, 소정의 신호에 따라 상기 저항과 그라운드와의 사이를 도통상태와 비도통상태로 변환하는 스위치부재로 이루어지는제전수단설치되어있는것을특징으로 하는정전흡인 구동장치.