문맥 (context)
[청구항1]
구리배선을 형성하기 위한 구리의 에칭액에 있어서,
상기 에칭액은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물, 산(酸) 및 산화성 금속 이온을 포함하는 수용액이고,
상기 산은 염산으로서, 염산의 농도는 5 내지 180 g/l이며,
상기 지방족헤테로고리 화합물은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리 화합물 a, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 지방족헤테로고리 화합물 b로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 에칭액
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 산은염산인것을특징으로 하는에칭액.
[청구항3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 지방족헤테로고리 화합물은 피롤리딘계 화합물, 피페리딘계 화합물, 피페라진계 화합물, 호모피페라진계 화합물 및 헥사히드로-1,3,5-트리아진계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는1종이상인것을특징으로 하는에칭액.
제1항에 있어서,상기 지방족헤테로고리 화합물은 피롤리딘계 화합물, 피페리딘계 화합물, 피페라진계 화합물, 호모피페라진계 화합물 및 헥사히드로-1,3,5-트리아진계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는1종이상인것을특징으로 하는에칭액.
[청구항4]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 산화성 금속 이온은 제2구리이온인것을특징으로 하는에칭액.
제1항에 있어서,상기 산화성 금속 이온은 제2구리이온인것을특징으로 하는에칭액.
[청구항5]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 산의 농도가 5~180 g/l이고, 상기 산화성 금속 이온의 농도가 10~250 g/l이고,상기지방족헤테로고리 화합물의농도인것을특징으로 하는에칭액.
제1항에 있어서,상기 산화성 금속 이온의 농도가 10~250 g/l이고,상기지방족헤테로고리 화합물의농도인것을특징으로 하는에칭액.
[청구항6]
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,6원환의 헤테로방향고리를 가지는헤테로방향족화합물더포함하는것을특징으로 하는에칭액.
제1항에 있어서,6원환의 헤테로방향고리를 가지는헤테로방향족화합물더포함하는것을특징으로 하는에칭액.
[청구항7]
제1항, 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항의 에칭액을 연속 또는 반복하여 사용할 때, 상기 에칭액에 첨가하는 보급액에 있어서,상기 보급액은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물과, 산을 포함하는 수용액이고, 상기 지방족헤테로고리 화합물은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리 화합물 a, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환되는 지방족헤테로고리 화합물 b로 이루어진 군으로부터 선택되는1종이상인것을특징으로 하는보급액.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 에칭액을 연속 또는 반복하여 사용할 때, 상기 에칭액에 첨가하는 보급액에 있어서,상기 보급액은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물과, 산을 포함하는 수용액이고, 상기 지방족헤테로고리 화합물은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리 화합물 a, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환되는 지방족헤테로고리 화합물 b로 이루어진 군으로부터 선택되는1종이상인것을특징으로 하는보급액.
[청구항8]
제 7항에 있어서,상기 염산의 농도가 5~360g/l이며,상기 지방족헤테로고리화합물의 농도인,보급액.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
에칭액에 포함되는 지방족헤테로고리 화합물은 어떠한 구성 특징을 가지며, 구체적으로 어떤 화합물들이 선택될 수 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation에칭액 내 지방족헤테로고리 화합물의 구성 특징과 구체적인 화합물 종류를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 화합물의 기본 구조와 분류를, 청구항 3에서 구체적인 화합물 군을 추출한다.
- 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물
- 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리 화합물 a, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 지방족헤테로고리 화합물 b
- 피롤리딘계 화합물, 피페리딘계 화합물, 피페라진계 화합물, 호모피페라진계 화합물 및 헥사히드로-1,3,5-트리아진계 화합물
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3근거 선택
evidence_selection구성 특징(5~7원환, 질소 헤테로원자, a 및 b 분류)과 구체적 종류(피롤리딘계 등)에 해당하는 문구를 선택한다.
- 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리
- 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리 화합물 a, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 지방족헤테로고리 화합물 b
- 피롤리딘계 화합물, 피페리딘계 화합물, 피페라진계 화합물, 호모피페라진계 화합물 및 헥사히드로-1,3,5-트리아진계 화합물
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4논리 통합
logical_integration화합물의 구조적 특징을 먼저 정의하고, 그 분류(a, b)와 구체적인 예시를 연결하여 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation지방족헤테로고리 화합물은 질소만을 헤테로원자로 갖는 5~7원환 구조이며, a와 b로 분류되고, 피롤리딘계 등을 포함한다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 구성한다.
근거 (evidence)
- 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물
- 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리 화합물 a, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 지방족헤테로고리 화합물 b
- 피롤리딘계 화합물, 피페리딘계 화합물, 피페라진계 화합물, 호모피페라진계 화합물 및 헥사히드로-1,3,5-트리아진계 화합물
- 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리
최종 답변 (final_answer)
지방족헤테로고리 화합물은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리 구조를 가진다. 구체적으로는 질소를 2개 이상 가지는 '지방족헤테로고리 화합물 a'와 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 '지방족헤테로고리 화합물 b'로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함한다. 또한, 이 화합물은 피롤리딘계 화합물, 피페리딘계 화합물, 피페라진계 화합물, 호모피페라진계 화합물 및 헥사히드로-1,3,5-트리아진계 화합물 중에서 선택될 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
에칭액 내 지방족헤테로고리 화합물의 구조적 특징(5~7원환, 질소 헤테로원자), 분류 체계(a, b), 그리고 구체적인 화합물 예시를 규정함.