스테이지 장치 및 이 스테이지 장치를 이용한 카메라의손흔들림 보정 장치

[청구항 1] 고정 지지 부재, 가동 지지 부재 및 한 쌍의 x-방향 판 스프링을 포함하여 자유상태에서 대체로 직사각형을 형성하는 y-방향 변형체; 그리고 상기 y-방향 변형체 내에 위치되어 있으며, 연결 부재, 지지 부재 및 한 쌍의 y-방향 판 스프링을 포함하여 자유상태에서 대체로 직사각형을 형성하는 x-방향 변형체 를 포함하고 있고, 상기 y-방향 변형체의 상기 고정 지지 부재 및 상기 가동 지지 부재와 상기 x-방향 변형체의 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링은 특정의 y-방향으로 뻗어 있고, 상기 고정 지지 부재는 고정체에 고정되어 있고 상기 y-방향 변형체의 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링과 상기 x-방향 변형체의 상기 연결 부재 및 상기 지지 부재는 상기 y-방향에 직교하는 x-방향으로 뻗어있고 상기 x-방향 변형체의 상기 지지 부재는 상기 y-방향 변형체의 상기 가동 지지 부재에 상기 지지 부재를 접속하는 지지 부재 접속부를 포함하고 있으며; 그리고 상기 x-방향 변형체와 상기 y-방향 변형체는 합성 수지에 의해 상기 지지 부재 접속부와 일체로 성형되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기y-방향 변형체의 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링 각각의 상기 y-방향의 두께가 상기 y-방향 변형체의 상기 고정 지지 부재 및 상기 가동 지지 부재 각각의 상기 x-방향의 두께보다 얇은 것특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기x-방향 변형체의 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링 각각의 상기 x-방향의 두께가 상기 x-방향 변형체의 상기 지지 부재 및 상기 연결 부재 각각의 상기 y-방향의 두께보다 얇은 것특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,쌍의 x-방향 판 스프링 각각은 그 양 단부에, 상기 x-방향 및 상기 y-방향에 대하여 직교하는 z-방향으로 뻗어있는2개의홈포함하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,쌍의 y-방향 판 스프링 각각은 그 양 단부에, 상기 x-방향 및 상기 y-방향에 대하여 직교하는 z-방향으로 뻗어있는2개의홈포함하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,쌍의 x-방향 판 스프링의 양 단부가, 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링의 중심부보다 상기 y-방향의 두께가 더 얇은 것특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,쌍의 y-방향 판 스프링의 양 단부가, 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링의 중심부보다 상기 x-방향의 두께가 더 얇은 것특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기x-방향 변형체와 상기 y-방향 변형체가 사출 성형에 의하여일체성형되어있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 스테이지 장치가 손흔들림 보정 장치를 포함하고 있고, 상기 손흔들림 보정 장치는,상기 연결 부재에 고정된 코일 기판;상기 코일 기판에 장착되어 있으며, 상기 x-방향 및 상기 y-방향에서의 상기 코일 기판의 위치를 검출하는 적어도 하나의 위치 센서; 그리고상기 고정체에 고정된 2 개의 고정 자석의 자기장 내에 각각 위치되도록 상기 코일 기판에 장착되어 있는 x-방향 구동용 평면 코일 및 y-방향구동용평면코일포함하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 고정 지지 부재로부터 돌출된 적어도 하나의 돌출부가상기고정체고정되어있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 스테이지 장치가카메라내장되는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 코일 기판이 상기 x-방향 및 상기 y-방향의 양 방향에 직교하는 z-방향에 수직인 평면에 놓여있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,소자가상기코일기판장착되어있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 14] 청구항 9에 따른 상기 스테이지 장치를 이용하는 카메라의 손흔들림 보정 장치로서, 상기 스테이지 장치를 포함하는 카메라 상기 카메라의 촬영 광학 시스템의 후방에 배치되어 있으며, 상기 촬영 광학 시스템의 결상 위치 상에 위치된 촬상면을 가지고 있고, 상기 x-방향 변형체의 상기 연결 부재와 함께 이동될 수 있는 촬상 소자 상기 카메라의 손흔들림을 검출하는 카메라의 손흔들림 검출 센서; 그리고 상기 촬영 광학 시스템을 통하여 상기 촬상 소자의 상기 촬상면에 결상되어 있는 피사체상을 안정화시키기 위해, 상기 카메라의 손흔들림 검출 센서에 의해 검출된 상기 카메라의 손흔들림에 따라 상기 x-방향 구동용 평면 코일 및 상기 y-방향 구동용 평면 코일에 전압을 인가하는 제어 장치 를 포함하는 것을 특징으로 하는 카메라의 손흔들림 보정 장치 [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 제어 장치가 상기 전압을 상기 x-방향 구동용 평면 코일 및 상기 y-방향 구동용 평면 코일에 인가하여 상기 카메라의 손흔들림 검출 센서에 의해 검출된 상기 카메라의 손흔들림량과 상기 위치 센서에 의해 검출된상기연결부재의이동량사이의차이감소시키는것을특징으로 하는카메라의 손흔들림 보정 장치. [청구항 16] 청구항 9에 따른 상기 스테이지 장치를 이용하는 카메라의 손흔들림 보정 장치로서, 상기 스테이지 장치를 포함하는 카메라 상기 카메라의 촬영 광학 시스템의 결상면의 전방에 배치되어 있으며, 광축이 상기 촬영 광학 시스템의 광축과 일치하도록 위치되어 있고, 상기 x-방향 변형체의 상기 연결 부재와 함께 이동될 수 있는 보정 렌즈 상기 카메라의 손흔들림을 검출하는 카메라의 손흔들림 검출 센서; 그리고 상기 촬영 광학 시스템을 통하여 촬상 소자의 촬상면에 결상되어 있는 피사체상을 안정화시키기 위해, 상기 카메라의 손흔들림 검출 센서에 의해 검출된 상기 카메라의 손흔들림에 따라 상기 x-방향 구동용 평면 코일 및 상기 y-방향 구동용 평면 코일에 전압을 인가하는 제어 장치 를 포함하는 것을 특징으로 하는 카메라의 손흔들림 보정 장치 [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 제어 장치가 상기 전압을 상기 x-방향 구동용 평면 코일 및 상기 y-방향 구동용 평면 코일에 인가하여 상기 카메라의 손흔들림 검출 센서에 의해 검출된 상기 카메라의 손흔들림량과 상기 위치 센서에 의해 검출된상기연결부재의이동량사이의차이감소시키는것을특징으로 하는카메라의 손흔들림 보정 장치. [청구항 18] 고정 지지 부재, 가동 지지 부재 및 한 쌍의 x-방향 판 스프링을 포함하여 자유상태에서 대체로 직사각형을 형성하는 y-방향 변형체; 그리고 상기 y-방향 변형체 내에 위치되어 있으며, 연결 부재, 지지 부재 및 한 쌍의 y-방향 판 스프링을 포함하여 자유상태에서 대체로 직사각형을 형성하는 x-방향 변형체 를 포함하고 있고, 상기 y-방향 변형체의 상기 고정 지지 부재 및 상기 가동 지지 부재와 상기 x-방향 변형체의 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링은 특정의 y-방향으로 뻗어 있고, 상기 고정 지지 부재는 고정체에 고정되어 있고 상기 y-방향 변형체의 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링과 상기 x-방향 변형체의 상기 연결 부재 및 상기 지지 부재는 상기 y-방향에 직교하는 x-방향으로 뻗어있고 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링과 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링 중의 적어도 한 쌍은 금속으로 되어 있고 상기 x-방향 변형체의 상기 지지 부재는 상기 y-방향 변형체의 상기 가동 지지 부재에 상기 지지 부재를 접속하는 지지 부재 접속부를 포함하고 있으며; 그리고 금속으로 되어 있는 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링과 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링 중의 상기 적어도 한 쌍을 제외하면, 상기 x-방향 변형체와 상기 y-방향 변형체는 합성 수지에 의해 상기 지지 부재 접속부와 일체로 성형되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치 [청구항 19] 제 18 항에 있어서,쌍의 x-방향 판 스프링 각각의 길이방향의 중심부에 고정되어 있는 x-방향 보강 요소를 더 포함하여 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링 각각의 상기 중심부의 굽힘 강도 및 비틀림 강도가 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링 각각의 나머지 부분의 굽힘 강도 및 비틀림강도있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기x-방향 보강 요소가합성수지있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 21] 제 19 항에 있어서,쌍의 x-방향 판 스프링이 금속으로 되어 있고; 그리고상기 x-방향 보강 요소가 상기 x-방향 및 상기 y-방향에 직교하는 z-방향으로 그 양 단부로부터 돌출하도록 프레스 성형에 의해 상기 한 쌍의 x-방향 판 스프링의 각각에 일체로 형성되어 있는 한 쌍의 x-방향보강돌출부포함하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 22] 제 18 항에 있어서,쌍의 y-방향 판 스프링 각각의 길이방향의 중심부에 고정되어 있는 y-방향 보강 요소를 더 포함하여 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링 각각의 상기 중심부의 굽힘 강도 및 비틀림 강도가 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링 각각의 나머지 부분의 굽힘 강도 및 비틀림강도있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기y-방향 보강 요소가합성수지있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 24] 제 22 항에 있어서,쌍의 y-방향 판 스프링이 금속으로 되어 있고; 그리고상기 y-방향 보강 요소가 상기 x-방향 및 상기 y-방향에 직교하는 z-방향으로 그 양 단부로부터 돌출하도록 프레스 성형에 의해 상기 한 쌍의 y-방향 판 스프링의 각각에 일체로 형성되어 있는 한 쌍의 y-방향보강돌출부포함하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 25] 제 21 항에 있어서,쌍의 x-방향 보강 돌출부 각각은단면형상인것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 26] 제 24 항에 있어서,쌍의 y-방향 보강 돌출부 각각은단면형상인것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 27] 제 1 항에 있어서,쌍의 x-방향 판 스프링이 금속으로 되어 있으며 u-자형상스프링의2개의판스프링부형성되어있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 28] 제 1 항에 있어서,쌍의 y-방향 판 스프링이 금속으로 되어 있으며 u-자형상스프링의2개의판스프링부형성되어있는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 29] 제 14 항에 있어서,상기 스테이지 장치가,상기 연결 부재에 고정된 코일 기판;상기 코일 기판에 장착되어 있으며, 상기 x-방향 및 상기 y-방향에서의 상기 코일 기판의 위치를 검출하는 적어도 하나의 위치 센서; 그리고상기 고정체에 고정된 2 개의 고정 자석의 자기장 내에 각각 위치되도록 상기 코일 기판에 장착되어 있는 x-방향 구동용 평면 코일 및 y-방향구동용평면코일포함하는것을특징으로 하는스테이지 장치. [청구항 30] 청구항 29에 따른 상기 스테이지 장치를 이용하는 카메라의 손흔들림 보정 장치로서, 상기 스테이지 장치를 포함하는 카메라 상기 카메라의 촬영 광학 시스템의 후방에 배치되어 있으며, 상기 촬영 광학 시스템의 결상 위치 상에 위치된 촬상면을 가지고 있고, 상기 x-방향 변형체의 상기 연결 부재와 함께 이동될 수 있는 촬상 소자 상기 카메라의 손흔들림을 검출하는 카메라의 손흔들림 검출 센서; 그리고 상기 촬영 광학 시스템을 통하여 상기 촬상 소자의 상기 촬상면에 결상되어 있는 피사체상을 안정화시키기 위해, 상기 카메라의 손흔들림 검출 센서에 의해 검출된 상기 카메라의 손흔들림에 따라 상기 x-방향 구동용 평면 코일 및 상기 y-방향 구동용 평면 코일에 전압을 인가하는 제어 장치 를 포함하는 것을 특징으로 하는 카메라의 손흔들림 보정 장치 [청구항 31] 제 30 항에 있어서,상기 제어 장치가 상기 전압을 상기 x-방향 구동용 평면 코일 및 상기 y-방향 구동용 평면 코일에 인가하여 상기 카메라의 손흔들림 검출 센서에 의해 검출된 상기 카메라의 손흔들림량과 상기 위치 센서에 의해 검출된상기연결부재의이동량사이의차이감소시키는것을특징으로 하는카메라의 손흔들림 보정 장치. [청구항 32] 청구항 29에 따른 상기 스테이지 장치를 이용하는 카메라의 손흔들림 보정 장치로서, 상기 스테이지 장치를 포함하는 카메라 상기 카메라의 촬영 광학 시스템의 결상면의 전방에 배치되어 있으며, 광축이 상기 촬영 광학 시스템의 광축과 일치하도록 위치되어 있고, 상기 x-방향 변형체의 상기 연결 부재와 함께 이동될 수 있는 보정 렌즈 상기 카메라의 손흔들림을 검출하는 카메라의 손흔들림 검출 센서; 그리고 상기 촬영 광학 시스템을 통하여 상기 촬상 소자의 상기 촬상면에 결상되어 있는 피사체상을 안정화시키기 위해, 상기 카메라의 손흔들림 검출 센서에 의해 검출된 상기 카메라의 손흔들림에 따라 상기 x-방향 구동용 평면 코일 및 상기 y-방향 구동용 평면 코일에 전압을 인가하는 제어 장치 를 포함하는 것을 특징으로 하는 카메라의 손흔들림 보정 장치 [청구항 33] 제 32 항에 있어서,상기 제어 장치가 상기 전압을 상기 x-방향 구동용 평면 코일 및 상기 y-방향 구동용 평면 코일에 인가하여 상기 카메라의 손흔들림 검출 센서에 의해 검출된 상기 카메라의 손흔들림량과 상기 위치 센서에 의해 검출된상기연결부재의이동량사이의차이감소시키는것을특징으로 하는카메라의 손흔들림 보정 장치.